公开(公告)号：KR20180025236A

公开(公告)日：2018-03-08

申请号：KR20170108574

申请日：2017-08-28

申请人： ROHM & HAAS ELECT MATERIALS KOREA LTD

发明人： RYU EUI HYUN ,  JANG MIN KYUNG ,  KIM JUNG WOO ,  CHOI KWANG MO ,  JEON HYUN ,  LEE WOO HYUNG ,  KIM MYUNG YEOL

IPC分类号： C08G63/21 ,  C07C69/65 ,  C08G63/682 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/038 ,  C07C69/21 ,  C07C69/54 ,  C07C69/63 ,  C07C69/653 ,  C08F220/28 ,  C08F2220/283 ,  G03F7/091 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/327 ,  G03F7/38

摘要： 하나의바람직한구현예에서, 하기식 (I)의구조를포함하는폴리머가제공된다:그와같은폴리머를포함하는포토레지스트가또한제공된다.

摘要翻译： 还提供了包含这种聚合物的光致抗蚀剂。