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公开(公告)号:KR1020140089165A
公开(公告)日:2014-07-14
申请号:KR1020130001055
申请日:2013-01-04
申请人: 주식회사 엘지화학
摘要: According to the present invention, an aromatic iodide compound is prepared by using an aromatic compound; and iodine or an iodine compound as raw materials, passing a zeolite catalyst layer in a gas phase, and additionally inserting iodine or an iodine compound in the middle of the zeolite catalyst layer. Thus, the productivity of a diiodine compound and the selectivity of a para diiodine compound can be increased, and unreacted iodine and aromatic material can be minimized.
摘要翻译: 根据本发明,通过使用芳族化合物制备芳族碘化合物; 以碘或碘化合物为原料,使气相中的沸石催化剂层通过,另外在沸石催化剂层的中央附加碘或碘化合物。 因此,可以增加二碘化合物的生产率和对二碘化合物的选择性,并且可以使未反应的碘和芳族物质最小化。
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公开(公告)号:KR1019960004874B1
公开(公告)日:1996-04-16
申请号:KR1019890700593
申请日:1988-08-03
申请人: 이스트만 케미칼 컴파니
IPC分类号: C07C25/22
CPC分类号: C07B39/00 , C07C17/156 , C07C25/00
摘要: 내용 없음.
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公开(公告)号:KR101920112B1
公开(公告)日:2018-11-19
申请号:KR1020150155219
申请日:2015-11-05
申请人: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
IPC分类号: C07C211/64 , C07C211/63 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039
CPC分类号: G03F7/0397 , C07C25/00 , C07C25/02 , C07C69/76 , C07C69/78 , C07C381/12 , C07D203/14 , C07D205/04 , C07D207/04 , C07D211/06 , C07D213/79 , C07D223/04 , C07D225/02 , C07D233/02 , C07D241/04 , C07D263/04 , C07D265/30 , C07D277/04 , C07D279/12 , C07D295/112 , C07D295/155 , C07D295/26 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/11 , G03F7/168 , G03F7/2037 , G03F7/2041 , G03F7/30 , G03F7/322 , G03F7/325 , G03F7/38
摘要: [해결수단] 일반식(1)로표시되는오늄염화합물.(R, R, R, R, R및 R은수소원자또는 1가탄화수소기를나타내고, j는 0 또는 1이다. Z는일반식(a)로표시되는술포늄양이온또는일반식(b)로표시되는요오도늄양이온을나타낸다.)(R, R및 R은 1가탄화수소기를나타낸다. R및 R은 1가탄화수소기를나타낸다.) [효과] 본발명의레지스트조성물에포함되는오늄염화합물은, 산확산제어제로서양호하게기능하고, 결과적으로 MEF 및 LWR이작으며, 초점심도가우수하여고해상인패턴프로파일을구축할수 있다.
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公开(公告)号:KR1020160055074A
公开(公告)日:2016-05-17
申请号:KR1020150155219
申请日:2015-11-05
申请人: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
IPC分类号: C07C211/64 , C07C211/63 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039
CPC分类号: G03F7/0397 , C07C25/00 , C07C25/02 , C07C69/76 , C07C69/78 , C07C381/12 , C07D203/14 , C07D205/04 , C07D207/04 , C07D211/06 , C07D213/79 , C07D223/04 , C07D225/02 , C07D233/02 , C07D241/04 , C07D263/04 , C07D265/30 , C07D277/04 , C07D279/12 , C07D295/112 , C07D295/155 , C07D295/26 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/11 , G03F7/168 , G03F7/2037 , G03F7/2041 , G03F7/30 , G03F7/322 , G03F7/325 , G03F7/38
摘要: [해결수단] 일반식(1)로표시되는오늄염화합물.(R, R, R, R, R및 R은수소원자또는 1가탄화수소기를나타내고, j는 0 또는 1이다. Z는일반식(a)로표시되는술포늄양이온또는일반식(b)로표시되는요오도늄양이온을나타낸다.)(R, R및 R은 1가탄화수소기를나타낸다. R및 R은 1가탄화수소기를나타낸다.) [효과] 본발명의레지스트조성물에포함되는오늄염화합물은, 산확산제어제로서양호하게기능하고, 결과적으로 MEF 및 LWR이작으며, 초점심도가우수하여고해상인패턴프로파일을구축할수 있다.
摘要翻译: 本发明涉及由通式(1)表示的鎓化合物。 在通式(1)中,R 11,R 22,R 33,R 44,R 55和R 10是氢原子或一价烃基; j表示0或1; Z 1 +表示由通式(a)表示的锍阳离子或通式(b)表示的碘鎓阳离子。 在通式(a)和(b)中,R 100,R 102和R 300表示一价烃基,R 400和R 500表示一价烃基。 抗蚀剂组合物中所含的鎓盐化合物适当地用作酸扩散控制剂,从而具有低掩模误差因子(MEF)和线宽粗糙度(LWR); 并具有优异的对焦深度,从而建立了高分辨率的图案。
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公开(公告)号:KR1019960001700B1
公开(公告)日:1996-02-03
申请号:KR1019880701544
申请日:1988-03-16
申请人: 이스트만 케미칼 컴파니
IPC分类号: C07C25/02
CPC分类号: C07C25/22 , C07C17/156 , C07C17/358 , C07C25/02 , C07C25/18 , C07C25/00
摘要: 내용 없음.
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公开(公告)号:KR1019960001688B1
公开(公告)日:1996-02-03
申请号:KR1019880701543
申请日:1988-03-16
申请人: 이스트만 케미칼 컴파니
IPC分类号: C03C25/22
CPC分类号: C07C25/22 , C07C17/156 , C07C17/358 , C07C25/00
摘要: 내용 없음.
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