公开(公告)号：KR102210293B1

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：KR1020180123148

申请日：2018-10-16

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 하타케야마준 ,  사사미다케시 ,  오하시마사키

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  C07C309/24

摘要： 산불안정기를갖는반복단위를포함하는베이스수지, 및술폰산의금속염을포함하는레지스트재료는고감도및 고해상성을나타내고, 노광후의패턴형상이양호하며최소 LWR 또는개선된 CDU을갖는다.

公开(公告)号：KR102156465B1

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：KR1020160058686

申请日：2016-05-13

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 오하시마사키

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/32 ,  G03F7/20 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  C08F20/38 ,  C08L33/06 ,  C08L33/16 ,  C08F20/22

公开(公告)号：KR102155401B1

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：KR1020160138153

申请日：2016-10-24

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 하타케야마준 ,  오하시마사키

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/38 ,  G03F7/06 ,  G03F7/20

公开(公告)号：KR102154888B1

公开(公告)日：2020-09-10

申请号：KR1020160133512

申请日：2016-10-14

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 하타케야마준 ,  오하시마사키

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/038 ,  G03F7/32 ,  G03F7/20 ,  G03F1/22

公开(公告)号：KR102032019B1

公开(公告)日：2019-10-14

申请号：KR1020160095365

申请日：2016-07-27

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 오하시마사키 ,  하타케야마준 ,  후쿠시마마사히로 ,  후지와라다카유키

IPC分类号： C07C309/02 ,  C07D493/06 ,  C07D493/14 ,  C08F20/38 ,  G03F7/004 ,  G03F7/32 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F1/22

公开(公告)号：KR102019555B1

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：KR1020170123927

申请日：2017-09-26

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 하타케야마준 ,  이와부치모토아키 ,  오하시마사키 ,  구로다야스요시

IPC分类号： C09J11/06 ,  C09J9/02 ,  C09J183/04 ,  C09J133/00 ,  C09J175/04 ,  C09J11/04 ,  C07C211/62 ,  A61B5/0408 ,  H01B1/12

公开(公告)号：KR102019554B1

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：KR1020170120456

申请日：2017-09-19

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 하타케야마준 ,  이와부치모토아키 ,  오하시마사키 ,  구로다야스요시

IPC分类号： C09J11/06 ,  C09J9/02 ,  C09J183/04 ,  C09J11/04 ,  C09J133/00 ,  C09J157/00 ,  A61B5/0245 ,  A61B5/0408 ,  A61B5/0478 ,  A61B5/0492 ,  C08K3/04 ,  C08K3/22 ,  C08K5/42

公开(公告)号：KR101960604B1

公开(公告)日：2019-03-20

申请号：KR1020170098577

申请日：2017-08-03

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 마스나가게이이치 ,  와타나베사토시 ,  고타케마사아키 ,  야마다겐지 ,  오하시마사키

IPC分类号： G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F1/50 ,  G03F7/20

公开(公告)号：KR101920165B1

公开(公告)日：2018-11-19

申请号：KR1020170119730

申请日：2017-09-18

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 하타케야마준 ,  오하시마사키

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0045 ,  C07C69/753 ,  C07C69/76 ,  C07C69/78 ,  C07C303/32 ,  C07C309/04 ,  C07C309/06 ,  C07C309/09 ,  C07C309/17 ,  C07C309/19 ,  C07C309/24 ,  C08F212/02 ,  C08F220/22 ,  C08F220/24 ,  C08F220/38 ,  C08F224/00 ,  C08F228/02 ,  C08F2220/282 ,  C08F2220/283 ,  C08F2220/303 ,  C08F2220/382 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/16 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/2006 ,  G03F7/2037 ,  G03F7/30 ,  G03F7/38

摘要： 본발명은, 증감효과가높고, 산확산을억제하는효과도가지며, 해상성, LWR, CDU가양호한레지스트재료및 이것을이용하는패턴형성방법을제공하는것을목적으로한다. 상기과제는, 베이스폴리머와, 요오드화방향족기를갖는카르복실산의, 2,5,8,9-테트라아자-1-포스파비시클로[3.3.3]운데칸염, 비구아니드염 또는포스파젠염을포함하는레지스트재료에의해해결된다.

公开(公告)号：KR101894621B1

公开(公告)日：2018-09-03

申请号：KR1020150115311

申请日：2015-08-17

申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

发明人： 오하시마사키 ,  하타케야마준 ,  후쿠시마마사히로

IPC分类号： C07D209/04 ,  C07C381/12 ,  C07D231/56 ,  C07D215/02 ,  C07D241/36 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0045 ,  C07D209/04 ,  C07D209/08 ,  C07D209/18 ,  C07D209/42 ,  C07D209/60 ,  C07D209/62 ,  C07D215/06 ,  C07D215/14 ,  C07D215/48 ,  C07D215/50 ,  C07D231/06 ,  C07D231/12 ,  C07D231/56 ,  C07D233/18 ,  C07D235/06 ,  C07D235/08 ,  C07D241/44 ,  C07D249/18 ,  C07D249/20 ,  C07D261/20 ,  C07D263/56 ,  C07D263/58 ,  C07D275/06 ,  C07D277/64 ,  C07D277/68 ,  C07D277/74 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/2053 ,  G03F7/32 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40

摘要： 식 (1)로표시되는오늄염화합물.[Z는식 (a)로표시되는술포늄양이온또는식 (b)로표시되는요오도늄양이온.는, 질소원자를개재하는탄소수 2∼5의환상구조를나타낸다. 식 (1)에있어서는, 치환기 -L-CO(L은단결합또는 2가탄화수소기)를반드시하나갖는다.]본발명의레지스트조성물에포함되는오늄염화합물은, 산확산제어제로서양호하게기능하고, 결과적으로 MEF 및 LWR이작으며, 초점심도가우수하여고해상인패턴프로파일을구축할수 있다.