摘要:
PURPOSE: A perfluorinated sulfonic salt resin is able to express the high degree of sensitivity, the high resolution, the high reproducibility of mask pattern and the low line edge roughness by regularly including the region that has a mine file generation function and the region in which the solubility to the developing solution is changed by the reaction of acid. CONSTITUTION: A perflorinated sulfonic salt resin has the repetitive unit of following chemical formula 3. In the chemical formula 3, A is hydrogen, fluoride, or trifluoromethyl group, n is integer ranged from 1 to 10, W is a linker with two functional group, R^1 is acid labile group, M^+ is a cation with one functional group. The resist composition includes the perfluorinated sulfonate salt resin and a solvent. A pattern producing method comprises a process that spreads the resist composition on a circuit board; a process that exposes the resist composition in the light after heating treatment; and a process that developes the heated material after treating the light exposed material with heat when it is needed.
摘要:
가공 성형성이 우수하며, 내열성이 높고, SiC 파워 반도체의 몰딩 수지로서 사용 가능할 정도록 높은 Tg를 가지는 경화물을 얻을 수 있는 경화성 조성물, 및 그 경화물을 제공한다. (A) 성분으로서, 하기 일반식(1)으로 표시되는 부분 구조를 분자 중에 적어도 2개 가지는 화합물 100 질량부, (B) 성분으로서 열라디칼 발생제 0.5∼3 질량부 및 (C) 성분으로서, 다른 라디칼 반응성 화합물 0∼50 질량부를 함유하는 경화성 조성물.
(식 중, 환 A는 벤젠환 또는시클로헥실환을 나타내고, R 1 은 탄소수 1∼6의 알킬렌기를 나타내고, R 2 는 탄소수 1∼4의 알킬기를 나타내고, a는 0 또는 1의 수를 나타내고, b는 0∼3의 정수를 나타내고, c는 1 또는 2의 수를 나타낸다.)
摘要:
패턴 형성 후에 러프니스가 발생하거나, 패턴 자체를 잘 그릴 수 없는 등의 결함을 방지하기 위하여, 수지 중에 광산 발생 기능을 포함시킨 레지스트 수지로서, 「산의 작용에 의해 현상액에 대한 용해성이 변화되는 부위」와 「광산 발생 기능을 가지는 부위」가 규칙적으로 배치된 레지스트 수지를 제공한다. 하기 일반식 (3)으로 나타내어지는 반복 단위를 가지는 함불소 술폰산염 수지. [화학식 1]
(식 중, A는 각각 독립적으로 수소 원자, 불소 원자 또는 트리플루오로메틸기를 나타낸다. n은 1~10의 정수를 나타낸다. W는 2가의 연결기를 나타낸다. R 1 은 산불안정기를 나타낸다. M + 는, 1가의 카티온을 나타낸다.)
摘要:
PURPOSE: An optical material and an optical element using the same are provided to ensure high transmittance, low optic scattering property, high refractivity, low Abbe's number(vd), high secondary scattering property(θg, F) and low brittleness. CONSTITUTION: An optical material comprises a polymer of a mixture of: a sulfur-containing compound containing, in a molecule, at least one kind of group selected from the group consisting of a sulfide group, a sulphone group, a sulfoxide group, a thiol group, and a thioester group; a fluorene compound at least having a fluorene skeleton; and an energy polymerization initiator, wherein the polymer of the mixture has a refractive index of 1.65 or more to less than 1.92 and an Abbe constant of 15 or more to less than 22; and a difference Δθg, F between a secondary dispersion property(θg, F) of the polymer of the mixture and a secondary dispersion property(θg, F) expressed by the following expression is 0.05 or more to less than 0.13, θg, F=0.6438-0.001682 vd, where vd is an Abbe constant.