기체공급시스템을지원하거나보충하기위한방법및장치

    公开(公告)号:KR100404802B1

    公开(公告)日:2004-03-24

    申请号:KR1019980016244

    申请日:1998-05-07

    IPC分类号: F17D1/00 G05D11/02

    摘要: 본 발명은 최종 적용에 압력이 최소이고 주요 성분을 포함하는 조성을 갖는 기체를 제공하는 방법에 관한 것으로, 상기 방법은 하기의 a) 내지 f) 단계를 포함한다:
    a) 최종 적용에 제 1 농도의 주요 성분을 갖는 제 1 기체를 제공하는 단계;
    b) 최종 적용에 운반되는 제 1 기체의 압력을 측정하는 수단을 제공하는 단계;
    c) 제 1 농도를 초과하는 제 1 기체의 주요 성분의 제 2 농도를 갖는 제 2 기체를 제공하는 단계;
    d) 제 1 농도 미만인 제 1 기체의 주요 성분의 제 3 농도를 갖는 제 3 기체를 제공하는 단계;
    e) 제 2 기체 및 제 3 기체를 혼합하여 적어도 최소 압력에서 제 4 기체를 생성시키며 제 4 농도의 주요 성분을 갖는 수단을 제공하는 단계; 및
    f) 최종 적용에서 수용되는 제 1 기체의 압력을 측정하는 수단이 최소 압력에 대해 결함을 검출하는 경우, 이 결함을 제 4 기체의 첨가에 의해 상쇄시키는 단계.

    摘要翻译: 本发明涉及一种向最终应用提供具有最小压力的气体和包含主要组分的组合物的方法,所述方法包括以下步骤:a)提供第一气体,所述第一气体的第一浓度为 所述最终应用; b)提供用于测量输送到所述最终应用的所述第一气体的压力的装置; c)提供具有超过所述第一浓度的所述第一气体的所述主要组分的第二浓度的第二气体; d)提供具有小于所述第一浓度的所述第一气体的所述主要组分的第三浓度的第三气体; e)提供用于混合所述第二和所述第三气体以便以至少所述最小压力产生第四气体并具有第四浓度的所述主要组分的装置; 其中,f)当所述用于测量在所述最终应用处接收的所述第一气体的压力的所述装置检测到相对于所述最小压力的不足时,通过添加所述第四气体来抵消所述不足。 <图像>