公开(公告)号：KR101873194B1

公开(公告)日：2018-08-02

申请号：KR1020137014796

申请日：2011-12-08

申请人： 리모 게엠베하

发明人： 미하일로프알렉쎄이

IPC分类号： G02B27/09 ,  G02B27/00

CPC分类号： G02B27/123 ,  G02B5/001 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/095

摘要： 이발명은레이저방사선(21)을 M-프로파일을갖는레이저방사선으로변환하는장치로서, 적어도섹션별로또는부분적으로상이한방향으로이동되거나또는서로오프셋되어배치된적어도 2개의부분빔(22, 23)으로레이저방사선을분리할수 있는분리수단(34) 및적어도 2개의부분빔(22, 23)을작동면으로도입할수 있고및/또는적어도 2개의부분빔(22, 23)을작동면에서적어도부분적으로중첩할수 있는광학수단(38)을포함하고, 이경우분리수단(34)은적어도 2개의렌즈(40, 42)를가진렌즈어레이(39, 41)를포함한다.

公开(公告)号：KR101871107B1

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：KR1020170029355

申请日：2017-03-08

申请人： 주식회사 옵트론텍 ,  에이치디티 주식회사

发明人： 김재범 ,  탁상준 ,  박찬영 ,  원석재 ,  송영호 ,  장병조 ,  오준호

IPC分类号： G02B27/09 ,  G01N23/04 ,  G02B13/18 ,  G02B9/64

CPC分类号： G02B27/0927 ,  G01N23/043 ,  G02B9/64 ,  G02B13/18

摘要： 본발명은촬상렌즈광학계에관한것으로, 촬상렌즈광학계는물체측으로부터순서대로, 정(+)의굴절력을가지며, 물체측면이오목하고상측면이볼록한매니스커스(meniscus) 형태로이루어진제1렌즈; 부(-)의굴절력을가지고상측면이오목한매니스커스형태의제2렌즈; 정(+)의굴절력을가지는제3렌즈; 정(+)의굴절력을가지며양볼록한제4렌즈; 부(-)의굴절력을가지며양오목한제5렌즈; 부(-)의굴절력을가지고양오목한제6렌즈; 정(+)의굴절력을가지며양볼록한제7렌즈; 정(+)의굴절력을가지며양볼록한제8렌즈; 및부(-)의굴절력을가지는제9렌즈;를포함하며, 상기제4 및제5렌즈는접합되어정(+)의굴절력을나타내고, 상기제6 및제7렌즈는접합되어정(+)의굴절력을나타낸다.

公开(公告)号：KR101862298B1

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：KR1020177023993

申请日：2016-01-27

申请人： 프레시텍 게엠베하 운트 코 카게

发明人： 루돌프,안드레아스 ,  쇤레버,마틴

IPC分类号： G02B27/09 ,  B23K26/21 ,  B23K26/38

CPC分类号： G02B27/0972 ,  B23K26/067 ,  B23K26/21 ,  B23K26/38 ,  B29C65/1635 ,  F21V5/02 ,  F21V7/05 ,  F21V13/04 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0938 ,  G02B27/4255 ,  H01L33/58

摘要： 본발명은레이저빔을피가공물상으로포커싱하기위한결상광학계(15)와상기피가공물에레이저빔을포커싱하기위한적어도 2개의레이저빔을포함하는강도분포를조정하는조정광학계(20)를포함하고, 원주방향으로서로회전가능한레이저빔(14)의빔 경로내에하나씩차례로배열되고각각원형패턴을갖는표면을갖는판-형광학소자(10) 둘레방향으로각각의플레이트평면에대해교대로기울어지는섹트-형면을포함한다.

公开(公告)号：KR1020170088844A

公开(公告)日：2017-08-02

申请号：KR1020177013398

申请日：2015-11-16

申请人： 니폰 제온 가부시키가이샤

发明人： 미우라,타쿠야 ,  히라노,마사야

IPC分类号： B23K26/38 ,  B23K26/046 ,  B32B27/32 ,  B23K103/00 ,  B23K103/16

CPC分类号： B23K26/073 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/38 ,  G02B1/00 ,  G02B5/3033 ,  G02B27/0927

摘要： 유리제의지지체(311), 및상기지지체상에형성된수지층을갖는적층체(310)에대해, 레이저광을조사하여상기수지층을절단하는절단공정을포함하고, 상기절단공정에있어서상기레이저광의조사를, 상기레이저광의빔의에너지분포가평탄상이되고, 상기레이저광의초점(331)과상기수지층의레이저광을수용하는표면에있어서의상기레이저광의수용점(338)의거리또는상기레이저광의출력 P 및주사속도 V의비 P/V가특정범위가되도록실시하는것으로, 지지체(311)에데미지를주는일 없이, 수지층의절단을원활하게실시할수 있고, 그에의해고품질의광학필름편광판을효율적으로제조할수 있다.

摘要翻译： 用于玻璃中的支撑件311的，并具有形成在基板上的树脂层的层压体310中，用激光照射包括切割树脂层，在上述切断工序中的激光的切断工序 调查时，激光光束的能量分布和平坦的相位，激光在表面331髁上的骑手的用于接收树脂层容纳激光光点338的Li或激光的光输出的激光光束的焦点 通过实施这样的P和扫描速度V UIBI P / V是在特定的范围，而未考虑到支撑311，数一损坏，并且能够顺利地进行在树脂层的切割，有效的高品质的光学膜偏振器，从而 可以制造。

公开(公告)号：KR1020170086594A

公开(公告)日：2017-07-26

申请号：KR1020177016682

申请日：2015-11-16

申请人： 트룸프 레이저-운트 시스템테크닉 게엠베하

发明人： 플람다니엘 ,  그로스만다니엘 ,  카이저미리암 ,  클라이너요나스 ,  쿰카르말테

IPC分类号： G02B27/09 ,  G02B5/18 ,  B23K26/064

CPC分类号： B23K26/064 ,  B23K26/0057 ,  B23K26/53 ,  B23K2203/54 ,  G02B5/1871 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0944

摘要： 전파방향(5)으로세장형인초점구역(7) 내의특히투과성재료(9)를개질함으로써상기재료(9)를가공하기위한레이저빔(3)을빔 정형하기위한광학시스템(1)은, 횡방향입력강도프로파일(41)을갖는레이저빔(3)을수용하고, 횡방향입력강도프로파일(41)에걸친빔 정형위상분포(43)를레이저빔(3) 상에부여하도록구성되는빔 정형요소(31)를포함한다. 광학시스템(1)은빔 정형요소(31)의하류에빔 정형거리(Dp)로배열되고, 레이저빔(3)을초점구역(7) 내로포커싱하도록구성되는근거리장광학기기(33B)를추가로포함하며, 부여된위상분포(43)는세장형초점구역(7)의가상광학이미지(53)가레이저빔(3)에할당되도록하고, 광학이미지(53)는빔 정형요소(31) 이전에위치된다. 또한, 빔정형거리(Dp)는부여된위상분포(43)가횡방향입력강도프로파일(41)을근거리장광학기기(33B)의영역에서의횡방향출력강도프로파일(51)로변환하는레이저빔(3)의전파길이에대응하고, 횡방향출력강도프로파일(51)은, 입력강도프로파일(41)과비교하여, 빔축(45)의외측에놓이는극대값(49)을갖는다.

摘要翻译： 用于通过特别改变在传播方向5上延伸的聚焦区7中的透射材料9来对用于处理材料9的激光束3进行光束成形的光学系统1， 一种光束整形元件（4），其被配置为接收具有输入强度分布（41）的激光束（3）并且在横向输入强度分布（41）上施加光束整形相位分布（43） 31）一个。 光学系统1还包括近场光学装置33B，该近场光学装置33B布置在光束成形元件31下游的光束成形距离Dp处，并被配置为将激光束3聚焦到聚焦区7中 赋予的相位分布43允许将细长聚焦区7的虚拟光学图像53分配给激光束3，并且光学图像53位于光束成形元件31之前 。 光束成形距离Dp也由激光束3确定，该激光束3将所施加的相位分布43转换成横向输入强度分布41和近场光学装置33B的区域中的横向输出强度分布51。 与输入强度分布41相比，横向输出强度分布51具有位于光束轴45外侧的最大值49。

公开(公告)号：KR1020160137679A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：KR1020167032647

申请日：2008-10-23

申请人： 가부시키가이샤 니콘

发明人： 타니츠오사무

IPC分类号： G02B27/09 ,  G02B27/10 ,  G03F7/20 ,  G02B26/08

CPC分类号： G02B27/0927 ,  F21V9/14 ,  F21V13/02 ,  F21V14/003 ,  G02B27/0938 ,  G02B27/1086 ,  G02B27/126 ,  G02B27/286 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70566

摘要： 조명광학장치는광학유닛(3)을구비한다. 광학유닛은, 입사광속을 2개의광속으로분할하는광 분할기(35)와, 제 1 광속의광로에배치될수 있는제 1 공간광 변조기(33)와, 제 2 광속의광로에배치될수 있는제 2 공간광 변조기(34)와, 제 1 공간광 변조기를통과한광속과제 2 공간광 변조기를통과한광속을합성하는광 합성기(36)를구비하며, 제 1 공간광 변조기및 제 2 공간광 변조기는, 이차원적으로배열되며개별적으로제어되는복수의광학요소(33a, 34a)를각각갖는다.

摘要翻译： 照明光学设备具有光学单元（3）。 光学单元包括用于将入射光束分成两个光束的分光器35，可以布置在第一光通量的光路中的第一空间光调制器33以及可以布置在第二光通量的光路中的第二空间光调制器33。 以及光合成器（36），用于合成穿过空间光调制器（34）的光通量和通过第一空间光调制器的光通量任务2空间光调制器，其中第一空间光调制器和第二空间光调制器 以及二维排列的多个独立可控光学元件33a，34a。

公开(公告)号：KR1020160073376A

公开(公告)日：2016-06-24

申请号：KR1020167010029

申请日：2014-10-16

申请人： 쌩-고벵 글래스 프랑스

发明人： 뒤보스브리스 ,  미뭉엠마뉘엘 ,  슈바이처장-필립

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/067 ,  B23K26/073 ,  G02B27/09 ,  H01S5/40

CPC分类号： G02B27/0961 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/0738 ,  G02B3/0006 ,  G02B3/005 ,  G02B3/0081 ,  G02B3/06 ,  G02B27/09 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/0911 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0966 ,  H01S5/4012 ,  H01S5/4025

摘要： 본발명은각각작업평면(6) 상에레이저선을발생시키는복수의레이저모듈을포함하고, 상기레이저모듈들은모듈들에의해발생된레이저선들이단일레이저선으로조합되도록병렬배치된레이저장치에관한것이다. 또한, 레이저장치는, 각레이저모듈에의해발생된최종레이저선이작업평면(6) 상에서끝이뾰족한최상부(1a, 1b, 1c, 1d)를갖는출력밀도프로파일을갖도록하는마이크로렌즈들의제1 정렬(1), 수렴렌즈(2) 및수렴렌즈(2)의초점평면에놓인마이크로렌즈들의제2 정렬(3)을포함한다. 레이저모듈들은각 레이저모듈에의해발생된레이저선들이 1.2 m 초과의총 길이를갖는단일레이저선(3)으로조합되도록병렬배치된다.

摘要翻译： 激光装置包括多个激光模块，每个激光模块在工作平面中产生激光线。 激光模块并置，使得由模块生成的激光线组合成单个激光线。 每个激光模块包括至少一个激光线发生器和激光线整形器。 激光线整形器包括微透镜阵列，使得由每个激光模块产生的最终激光线在工作平面中具有宽度（L90）为最大功率密度的90％和宽度（L10）的功率密度分布 ）为最大功率密度的10％。 L90 / L10的比例在1/15和⅕之间。

公开(公告)号：KR1020160049036A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：KR1020167010152

申请日：2009-06-05

申请人： 리모 파텐트페어발퉁 게엠베하 운트 코. 카게

发明人： 미트라토마스 ,  아쉬케루츠 ,  바르토쉐프스키다니엘

IPC分类号： G02B27/09 ,  G02B19/00 ,  H01S3/00

CPC分类号： G02B27/0905 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0961 ,  H01S3/005 ,  H01S2301/206 ,  G02B27/0966 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0052 ,  G02B19/0095

摘要： 이발명은적어도 2개의레이저광원(1a, 1b, 1c) 및광학수단을포함하는빔 형성장치에관한것으로서, 상기레이저광원들은레이저방사선(2a, 2b, 2c)을방출할수 있고, 상기광학수단은레이저방사선(2a, 2b, 2c)이하나의작동면(7)에서적어도하나의방향과관련해서적어도부분적으로탑-햇(top-hat) 분포에상응하는강도분포(8)를갖도록상기레이저방사선(2a, 2b, 2c)에영향을줄 수있다. 레이저방사선(2a, 2b, 2c)은적어도전파방향(Z)에대해수직인방향(X)과관련해서싱글-모드레이저방사선이다.

公开(公告)号：KR101591610B1

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：KR1020147002581

申请日：2009-02-06

申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

发明人： 딩거,우도 ,  엔드레스,마틴 ,  베르버,아민 ,  뮐뵈르거,노베르트 ,  바흐,플로리안

IPC分类号： G02B5/09 ,  G02B26/08 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/702 ,  G02B5/09 ,  G02B26/06 ,  G02B26/0816 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/0927 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116

摘要： 마이크로리소그래피용투영노광장치에서다발-가이드광학부품으로서패킷미러가사용되게된다. 패싯미러는복수의분리미러들(21)을갖는다. 입사조명광의개별적인편향을위해, 이분리미러들(21)이각각의경우에, 그것들이적어도하나의틸트축(x, y)에대해틸트될수 있도록, 액츄에이터에연결된다. 액츄에이터에연결되는제어디바이스는, 각각의경우에적어도 2개의분리미러들(21)을포함하는분리미러그룹들(19)로그룹화될수 있도록, 구성된다. 그결과는, 투영노광장치내에설치될때, 투영노광장치에의해조명될오브젝트필드의다양한조명기하학적구조를설정하기위한변화성을향상시키는패싯미러이다. 패싯미러들을형성하기위한분리미러들의다양한실시예들이기술된다.

公开(公告)号：KR1020150143436A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：KR1020157024995

申请日：2014-03-04

申请人： 리모 파텐트페어발퉁 게엠베하 운트 코. 카게

发明人： 미트라,토마스

IPC分类号： G02B27/09 ,  H01S3/136

CPC分类号： G02B27/123 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0961 ,  G02B27/0966

摘要： 본발명은레이저방사선(100)을균일화하기위한장치에관한것이며, 상기장치는, 레이저방사선(100)이관통해서제 1 렌즈어레이(1) 내로입사될수 있도록하는제 1 광학기능경계면(10)과레이저방사선(100)이관통해서제 1 렌즈어레이(1)에서출사될수 있도록하는제 2 광학기능경계면(11)을구비하고, 두광학기능경계면(10, 11) 중적어도하나는레이저방사선(100)을복수의부분빔(101, 102, 103)으로분할하기에적합한복수의렌즈수단(3)을구비하는, 제 1 렌즈어레이(1)와; 부분빔들(101, 102, 103)이관통해서제 2 렌즈어레이(1) 내로입사될수 있도록하는제 1 광학기능경계면(20)과부분빔들(101, 102, 103)이관통해서제 2 렌즈어레이(2)에서출사될수 있도록하는제 2 광학기능경계면(21)을구비하고, 빔경로에서제 1 렌즈어레이(1)의하류에배열되며, 두광학기능경계면(20, 21) 중적어도하나는부분빔들(101, 102, 103)을굴절시킬수 있는복수의렌즈수단(4)을구비하는, 제 2 렌즈어레이(2)를; 포함하며, 제 1 렌즈어레이(1)의렌즈수단들(3)은, 부분빔들(101, 102, 103)이제 2 렌즈어레이(2)의렌즈수단들(4)을실질적으로균일한방식으로조명할수 있는방식으로레이저방사선(100)을복수의부분빔(101, 102, 103)으로분할할수 있으면서그렇게되도록상기복수의부분빔을형성할수 있도록형성된다.