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公开(公告)号：KR102476934B1
公开(公告)日：2022-12-14
申请号：KR1020227016479
申请日：2014-12-22
IPC分类号： C09K13/00 , H01L21/311 , H01J37/32 , C23C16/44 , C23G5/00
摘要： 본발명은, 특히활성화된기체혼합물을사용함으로써화학증착챔버의내부로부터표면침착물을제거하는방법을포함하는식각응용에있어서, CVD 반도체제조용기체로서유용한플루오로올레핀조성물, 및반도체표면의식각방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR102400322B1
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：KR1020167017394
申请日：2014-12-22
IPC分类号： C09K13/00 , C23C16/44 , H01L21/311 , H01L21/3065 , C23G5/00
摘要： 본발명은, 특히활성화된기체혼합물을사용함으로써화학증착챔버의내부로부터표면침착물을제거하는방법을포함하는식각응용에있어서, CVD 반도체제조용기체로서유용한플루오로올레핀조성물, 및반도체표면의식각방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR102353219B1
公开(公告)日：2022-01-20
申请号：KR1020210106239
申请日：2021-08-11
摘要： 본발명에의하면, 산세공정에서발생한폐염산을열을이용하여가수분해하는열분해기; 상기열분해기로부터배출되는가스에포함된염화수소를이용하여염산을생산하고농축하는염산농축부; 및상기염산농축부로부터가스를배출시키는배기팬을포함하며, 상기염산농축부는, 상기염화수소를용매에녹여염산을생산하고가스를배출시키는염산생산조와, 상기염산생산조에서생산된염산을상기용매로서상기염산생산조에순환공급하는염산순환공급부를구비하며, 상기염산생산조의내부공간에는, 상기염화수소를포함하는가스가유입되는생산조흡기구와연통되는생산조가스도입공간과, 가스가배출되는생산조배기구와연통되고염산생산부가설치되는생산조가스배출공간과, 상기생산조가스도입공간과상기생산조가스배출공간을아래에서연통시키는생산조연결공간이형성되며, 상기배기팬의작동에의해상기생산조흡기구를통해상기염산생산조의내부공간으로유입된가스는상기생산조가스도입공간, 상기생산조연결공간, 상기생산조가스배출공간을차례대로유동하여상기생산조배기구를통해배출되며, 상기염산생산부는, 상기염산생산부의내부공간을생산조하부공간과상기용매를수용하는생산조상부공간으로분할하는바닥판과, 상기생산조하부공간으로유입된가스를상기생산조상부공간으로위를향해분사하는생산조가스분사노즐과, 상기생산조가스분사노즐의위에배치되어서상기생산조가스분사노즐로부터분사된가스가충돌하는생산조충돌판을구비하는, 마이크로버블을활용한산화철제거및 폐염산재생설비가제공된다.
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公开(公告)号：KR102331826B1
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：KR1020197036862
申请日：2018-05-31
摘要： 불연성이고인화의위험성이나화재시의위험이낮아소방법상의비위험물이며위험물창고불요및 보관량에법적인제한이없고저독성이며오존층파괴등의환경부하가작고고인화점의제품이나수계제품에서는미달인종래제품과동등이상의세정성을가지고적당한건조성을실현하며고무나수지에대한침식을방지하면서세정제조성물로오물성분을습윤시켜씻어내어떨어뜨리고일정정도떨어진거리에서분사가능함으로써기계화에대응할수 있는, 새로운자동차, 이륜자동차, 자전거, 건설기계, 농기계, 항공기, 철도차량, 선박등의각종차량·탈것·수송기관의세정용에어졸조성물을제공하기위해이 세정용에어졸조성물을 (Z)-1-클로로-3,3,3-트리플루오로프로펜과 N2, 압축공기, CO2, 아르곤또는이들을 2개이상혼합한것인분사가스를함유하는것으로한다.
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公开(公告)号：KR102311820B1
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：KR1020190115021
申请日：2019-09-18
摘要： 직류역극성을이용한산화피막클리닝장치및 방법에대해개시되어있다. 이개시된대상물에형성된산화피막을제거하는산화피막클리닝장치에있어서, 직류전원을인가하는것으로, 양전극단자와, 음전극단자를구비한전원부와; 대상물에대해통전가능하게설치되며, 음전극단자와전기적으로연결된음전극과; 산화피막에대해소정간격이격배치되며양전극단자와전기적으로연결되는양전극을구비하며, 대상물에대해상대적으로이동가능하게설치된토치;를포함하여, 음전극과양전극을통하여대상물에역극성직류전원을인가함으로써, 대상물에형성된산화피막을제거할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020210114370A
公开(公告)日：2021-09-23
申请号：KR1020210121005
申请日：2021-09-10
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/768 , C23G5/00
摘要： 부분적으로가공된반도체기판 (substrate) 의전기적접촉경계면 (electrical contact interface) 로부터오염물들을제거하기위한세정방법이개시된다. 상기방법은, 상기프로세싱챔버내로할로겐-함유종들 (halogen-containing species) 을도입하는단계, 상기전기적접촉경계면및/또는그 위의상기오염물들의상단부 (atop) 에흡착-제한된층 (adsorption-limited layer) 을형성하는단계로서, 상기흡착-제한된층은상기할로겐-함유종들로부터의할로겐을포함하는, 상기흡착-제한된층을형성하는단계를포함할수도있다. 상기방법은, 이후상기프로세싱챔버로부터비-흡착된할로겐-함유종들을제거하는단계및 상기전기적접촉경계면상에존재하는상기오염물들및 상기흡착-제한된층의할로겐간의반응을활성화하는단계를더 포함할수도있다. 그렇다면상기반응은상기전기적접촉경계면으로부터의상기오염물들의적어도부분의제거를야기할수도있다. 일부실시예들에서, 표면상에흡착되고반응된할로겐은불소일수도있다. 또한, 이러한전기적접촉경계면세정기술들을구현하기위한제어기들을갖는장치들이본 명세서에개시된다.
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公开(公告)号：KR102290319B1
公开(公告)日：2021-08-19
申请号：KR1020210053477
申请日：2021-04-26
摘要： 본발명은각종선재코일의표면에생성된산화성스케일을진동기를이용하여효율적으로제거할수 있는진동기를갖는산세장치에관한것이다. 이러한본 발명은, 산수용액이담긴침적조, 상기침적조에담긴산 수용액으로선재코일을걸어서침적시키도록후크및 가로대를갖는후크부재, 상기후크부재를승강시키는캐리어, 상기캐리어에의해승강되는상기후크부재의양 단부를가이드하도록후크가이드를갖는서포트부재, 상기서포트부재로지지되는후크부재의가로대를진동시키는진동기를포함하는산세장치에있어서, 상기진동기의진동발생시 상기가로대와상기서포트부재사이의접촉면을자기장에의해부착하도록설치되는전자석및 전기자를포함하는것을기술사상으로한다. 따라서, 본발명은전자석과전기자에의해후크부재가서포트부재에부착된후 진동기에의해가로대가진동하므로마찰로인한소음발생을감쇄시킬뿐만아니라인접된다른설비로전달되지않도록방지할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR102241741B1
公开(公告)日：2021-04-19
申请号：KR1020190089424
申请日：2019-07-24
申请人： 주식회사 코리아카플링
发明人： 최인영
摘要： 본발명은커플링세척장치에관한것으로서, 더욱상세하게는전체세척공정을자동으로진행하도록함으로써, 세척공정을줄일수 있고세척시간을절감할수 있을뿐만아니라, 알칼리이온수를세척수로사용하도록하여환경오염을방지할수 있는커플링세척장치에관한것이다. 상기한목적을달성하기위한본 발명은세척물을준비하는작업세팅부와, 상기작업세팅부의후부에위치하여세척물을세척하는세척부와, 상기세척부의후부에위치하여세척물에방청작업을진행하는방청부를포함하여이루어지며, 상기작업세팅부, 세척부, 방청부를관통하도록이송레일이구비되고, 상기이송레일의상부에는세척물을작업세팅부, 세척부, 방청부로이송하기위한이송대차가구비되는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR102221419B1
公开(公告)日：2021-03-03
申请号：KR1020180157100
申请日：2018-12-07
申请人： 인하대학교 산학협력단
摘要： 본발명에따른전해가공장치는, 전원공급부로부터양의전압을인가받는가공물을전해액에침지시켜가공하는전해가공장치에있어서, 상기가공물의일측에이격되어설치되고, 상기전원공급부로부터음의전압을인가받아상기가공물을가공하는전극부; 상기전극부의일측에연결되고, 상기전극부를상기가공물의일측면에맞닿도록이송시키는이송부; 및상기이송부의일측에설치되어, 상기이송부를통해상기전극부와연결되며, 상기전극부를상기가공물로부터기 설정된가공간극만큼이격시키는간극제어부를포함한다. 본발명에따른연속전해연마장치에의하면, 롤투롤방식으로금속박판이이송되어기계가공, 전해연마, 세정, 건조공정을하나의장치에서연속적으로수행할수 있어, 공정효율을향상시킬수 있다. 또한펀칭가공된금속박판을전해가공함으로써발생된미세버를효과적으로제거가능하며금속박판의표면상태가개선되어제품의품질이향상될수 있으며, 금속박판이이송되는과정중에전해연마가가능하여가공효율이향상될수 있다. 더불어전극이송부가속도제어부와길이제어부통하여제어됨으로써, 금속박판의전해연마공정이최적시간동안유지되도록조절가능하여가공효율을증대시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR20210014655A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：KR20207036887
申请日：2019-05-22
摘要： 브라스도금된스틸코드(1A)를유기용제(13)에침지한다. 유기용제(13)에침지한스틸코드(1A)를알칼리수용액(22)에침지한다. 다음으로, 알칼리수용액(22)에침지한스틸코드(1A)를실란커플링제수용액(32)에침지한다. 끝으로, 실란커플링제수용액(32)에침지한스틸코드(1A)를가열한다. 실란커플링제가표면에양호하게결합한실란커플링제를구비한스틸코드(1B)가제조된다.
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