公开(公告)号：KR102178326B1

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：KR20130158829

申请日：2013-12-18

IPC: H01L21/312 ,  H01L21/205

Abstract: 반도체기판상에서산소-함유세라믹하드마스크막을형성하는방법은, 플라즈마-향상된화학기상증착 (PECVD) 프로세스챔버에서반도체기판을수용하는단계, 및기판상에서 PECVD에의해산소-함유세라믹하드마스크막을형성하는단계를수반하며, 막은낮은-k 유전체및 구리에에칭선택적이고, 플라즈마건식-에칭에저항성있으며, 습식-에칭에의해제거가능하다. 방법은, 습식에칭을이용하여기판으로부터산소-함유세라믹하드마스크막을제거하는단계를더 수반할수도있다. 대응하는막들및 장치가또한제공된다.

公开(公告)号：KR101897284B1

公开(公告)日：2018-09-11

申请号：KR1020120023156

申请日：2012-03-07

Applicant: 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤

Inventor： 야마구찌,사또시 ,  이찌까와,고지

IPC: C07D335/12 ,  C07D335/10 ,  H01L21/312

CPC classification number: C07D327/08 ,  C07C309/04 ,  C07C309/06 ,  C07C309/13 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/029 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  Y10S430/121 ,  Y10S430/123

Abstract: 본발명은화학식 (I)로표시되는염 및상기염을함유하는레지스트조성물을제공한다.(여기서, Q및 Q는독립적으로불소원자또는 C내지 C의퍼플루오로알킬기를나타내고, L은 *-CO-O-L- 또는 *-CH-O-L-를나타내고, *는 -CQQ에대한결합을나타내고, L및 L는독립적으로 C내지 C의 2가포화지방족탄화수소기를나타내고, 2가포화지방족탄화수소기중 함유된하나이상의 -CH-는 -O- 또는 -CO-로치환될수 있고, 환 W은 C내지 C의복소환을나타내고, 복소환중 함유된하나이상의 -CH-는 -O-로치환될수 있고, R, R, R, R, R, R, R, R, R, R, R, R및 R은독립적으로수소원자, 할로겐원자, 히드록시기, C내지 C의탄화수소기또는카르복실기를나타내거나, 또는 R, R, R, R, R, R, R, R, R, R, R, R및 R중둘은각각인접한탄소원자에결합하고, 이에결합된 2개의탄소원자와함께환을형성할수 있고, 탄화수소기중 함유된하나이상의 -CH-는 -O- 또는 -CO-로치환될수 있으며, Z는단일결합또는 2가의연결기임)

公开(公告)号：KR101733293B1

公开(公告)日：2017-05-08

申请号：KR1020150108815

申请日：2015-07-31

Applicant: 가부시키가이샤 재팬 디스프레이

Inventor： 오하라히로끼

IPC: H01L51/52 ,  H01L21/312 ,  H01L27/32 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/5253

Abstract: 본발명은, 밀봉막에관계되는공정에기인하는화소회로에의악영향이억제되는표시장치및 그제조방법을제공한다. 기판상에, 화소회로와, 다층구조를갖는밀봉막이순서대로형성되는, 표시장치로서, 상기밀봉막은, 제1층 - 상기제1층은, 상기화소회로에접하여형성되고, 실리콘함유무기재료로이루어짐 - 을포함하고, 상기제1층은, 적어도일부의성분이적층방향을따라연속적으로변화하는, 혼합성막이다.

公开(公告)号：KR1020170023556A

公开(公告)日：2017-03-06

申请号：KR1020150118852

申请日：2015-08-24

Applicant: 에스케이하이닉스 주식회사

Inventor： 심재희 ,  이성재 ,  공근규 ,  안정훈

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324

Abstract: 반도체디바이스의제조방법에관한기술로, 제 1 영역및 제 2 영역을포함하는반도체기판을제공한다. 제 1 영역및 제 2 영역사이에비교적큰 단차가구비될수 있다. 상기반도체기판상부에유기물질막을형성한다음, 상기유기물질막을완전멜팅시킨후큐어링하는과도리플로우공정을실시하여, 상기제 1 영역과상기제 2 영역을평탄화시킨다.

公开(公告)号：KR101692551B1

公开(公告)日：2017-01-03

申请号：KR1020090114974

申请日：2009-11-26

Applicant: 다이요 홀딩스 가부시키가이샤

Inventor： 가꾸따니,다께노리 ,  시마미야,아유미 ,  우시끼,시게루

IPC: C08L35/06 ,  C08L63/00 ,  C08K3/22 ,  H01L33/00 ,  H01L51/50 ,  H01L21/312

Abstract: 본발명은양호한보존안정성을얻음과동시에, 그경화물에있어서양호한내열성, 내광성을얻는것이가능한열경화성수지조성물과, 이것을이용한인쇄배선판및 발광소자용반사판을제공한다. 본발명은 A제와 B제를혼합하여이용되는이액성의열경화성수지조성물로서, A제는스티렌-무수말레산의공중합물과유기용제를포함하고, B제는다관능지환식에폭시수지와무기충전재를포함하는것을특징으로한다.

Abstract translation: 本发明提供一种热固化树脂组合物，使用其的印刷电路板和发光部件用反射板。 热固化树脂组合物具有良好的储存稳定性，其固化物具有良好的耐热性和耐光性。 热固化树脂组合物的特征在于包含混合的试剂A和试剂B的两种组分，其中试剂A含有苯乙烯 - 马来酸酐和有机溶剂的共聚物，试剂B含有多官能脂环族环氧树脂和无机 填料。

公开(公告)号：KR1020160113447A

公开(公告)日：2016-09-29

申请号：KR1020150038819

申请日：2015-03-20

Applicant: 삼성디스플레이 주식회사

Inventor： 임상훈 ,  한관영 ,  유재영 ,  진경빈 ,  유종성

IPC: H01L27/32 ,  H01L21/312

CPC classification number: H01L51/5246 ,  H01L51/524 ,  H01L27/3232

Abstract: 영상을표시하는표시패널; 및상기표시패널상부에배치되고, 상기표시패널에표시된영상을투과하는표시영역및 상기표시영역을둘러싸는비표시영역을포함하는윈도우패널을포함하고, 상기윈도우패널은윈도우기판; 및비표시영역에서상기윈도우기판하면에배치된인쇄층을포함하며, 상기인쇄층은실리콘계열고분자또는불소계열고분자를포함하는표시장치를제공한다.

Abstract translation: 本发明提供了一种显示单元，包括：显示面板，用于显示图像; 以及设置在显示面板的上侧的窗口面板，具有贯穿显示面板上显示的图像的显示区域和覆盖显示区域的非显示区域。 窗口面板包括窗基板和布置在非显示区域中的窗基板的下侧上的印刷层。 印刷层包括硅基聚合物或氟基聚合物。 因此，本发明包括用于防止由于UV损伤或未固化树脂而变色的印刷层。

公开(公告)号：KR1020160110598A

公开(公告)日：2016-09-22

申请号：KR1020150032507

申请日：2015-03-09

Applicant: 삼성디스플레이 주식회사

Inventor： 김득종 ,  이근수

IPC: H01L51/52 ,  H01L27/32 ,  H01L21/314 ,  H01L21/312

CPC classification number: H01L51/5246 ,  H01L27/3246 ,  H01L27/3276 ,  H01L51/5256 ,  H01L51/5237 ,  H01L27/3262 ,  H01L27/3274 ,  H01L27/3297

Abstract: 본발명의실시예는, 기판, 상기기판상에위치하며, 표시영역과상기표시영역의외곽에비표시영역을포함하는표시부및 상기표시부를밀봉하는박막봉지층을포함하고, 상기비표시영역에는, 상기표시영역을에워싸는전압선과상기전압선의적어도외측가장자리와중첩하여접하는댐부가형성되며, 상기전압선은, 상기표시영역의적어도어느하나의변과대응하도록배치된제1 전압선과, 상기제1 전압선의한 쌍의제1 단부들과상기표시영역의나머지변들을에워싸는제2 전압선을포함하고, 상기적어도어느하나의변 외부에서, 상기제1 전압선의외측과상기제2 전압선의외측은동일선상에위치하는유기발광표시장치를개시한다.

Abstract translation: 本发明的一个实施方案公开了一种可以防止异物或诸如水分或氧气的外部污染物的有机发光显示装置。 一种有机发光显示装置，包括：基板; 显示单元，设置在所述基板上，并且在所述显示区域的周边包括显示区域和非显示区域; 以及密封所述显示单元的薄膜封装层，其中，电压线围绕所述非显示区域上的所述显示区域，并且所述阻挡单元与所述电压线的外侧的至少边缘重叠。 电压线包括：布置在显示区域的至少一侧的第一电压线; 以及围绕所述第一电压线的一对第一端部和所述显示区域的另一侧的第二电压线，其中所述第一电压线的外侧和所述第二电压线的外侧设置在所述第二电压线的外侧 显示区域的至少一侧。

公开(公告)号：KR101642617B1

公开(公告)日：2016-07-25

申请号：KR1020147007476

申请日：2012-09-24

Applicant: 도판 인사츠 가부시키가이샤

Inventor： 고데라,유따까 ,  사까따,요 ,  곤,마사또

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/312 ,  G03F1/24 ,  G03F1/54 ,  G03F1/60 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F1/24 ,  G03F1/38 ,  G03F1/40 ,  G03F1/60

Abstract: 반사형노광용마스크블랭크및 반사형노광용마스크를제공하여, 회로패턴영역이외로부터광이반사하지않고, 고정밀도로노광전사를할 수있는반사형노광용마스크를실현한다. 반사형마스크블랭크는기판(11) 상에형성된다층반사막(12), 보호막(13), 흡수막(14), 이면도전막(15)을구비한다. 이면도전막은산화인듐주석으로형성된다. 기판은, SiO와, TiO와, 망간(Mn), 구리(Cu), 코발트(Co), 크롬(Cr), 철(Fe), 은(Ag), 니켈(Ni), 황(S), 셀레늄(Se), 금(Au), 네오디뮴(Nd)의산화물중 적어도 1종을포함한다. 반사형마스크블랭크의흡수막을선택적으로제거해서회로패턴을형성하고, 회로패턴의주위의흡수막과보호막과다층반사막을제거해서차광프레임을형성하여, 반사형마스크가제작된다.

公开(公告)号：KR101635120B1

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：KR1020117005949

申请日：2009-09-01

Applicant: 코쿠리츠켄큐카이하츠호징 붓시쯔 자이료 켄큐키코 ,  타이요 닛폰 산소 가부시키가이샤

Inventor： 오노다카히사 ,  타지마노부오 ,  이나이시요시아키 ,  신리키마나부 ,  미야자와카즈히로

IPC: H01L21/312 ,  C23C16/42

CPC classification number: C23C16/401 ,  H01L21/02123 ,  H01L21/02208 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/314

Abstract: 하기의화학식1에나타나는플라즈마 CVD용절연막재료, 이절연막재료를이용한성막방법및 절연막. [화학식 1]화학식1에있어서, m 및 n은 3∼6의정수이고, m과 n은 1분자중에서동일하여도서로상위하여도좋다.

公开(公告)号：KR101615968B1

公开(公告)日：2016-04-28

申请号：KR1020140072197

申请日：2014-06-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하세베카즈히데 ,  무라카미히로키 ,  가키모토아키노부

IPC: H01L21/312 ,  H01L21/822

CPC classification number: H01L21/76843 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/24 ,  C23C16/52 ,  H01L21/76876

Abstract: (과제) 표면거칠기의정밀도를더욱개선할수 있어, 진전되는콘택트홀이나라인등의미세화에대응가능한어모퍼스실리콘의성막방법을제공하는것이다. (해결수단) 하지(2)를가열하고, 가열한하지(2)에아미노실란계가스를흘려하지(2)의표면에시드층(3)을형성하는공정과, 하지(2)를가열하고가열한하지(2)의표면의시드층(3)에아미노기를포함하지않는실란계가스를공급하여, 아미노기를포함하지않는실란계가스를열분해시킴으로써, 시드층(3) 상에어모퍼스실리콘막을형성하는공정을구비한다.