公开(公告)号：TWI679676B

公开(公告)日：2019-12-11

申请号：TW106140217

申请日：2017-11-21

申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 沃羅寧 謝爾蓋 ,  VORONIN, SERGEY ,  馬里昂 傑生 ,  MARION, JASON ,  吉田祐介 ,  YOSHIDA, YUSUKE ,  蘭傑 艾洛克 ,  RANJAN, ALOK ,  榎本隆 ,  ENOMOTO, TAKASHI ,  石川吉夫 ,  ISHIKAWA, YOSHIO

IPC分类号： H01J37/32

公开(公告)号：TWI679160B

公开(公告)日：2019-12-11

申请号：TW105120432

申请日：2016-06-29

申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 小泉浩 ,  KOIZUMI, HIROSHI ,  新藤健弘 ,  SHINDO, TAKEHIRO

IPC分类号： B65G47/92 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67

公开(公告)号：TWI676223B

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：TW106107586

申请日：2017-03-08

申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 藤田陽 ,  FUJITA, AKIRA ,  水野剛資 ,  MIZUNO, TSUYOSHI

IPC分类号： H01L21/67 ,  C23C14/00

公开(公告)号：TWI676222B

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：TW104143285

申请日：2015-12-23

申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 芳賀博文 ,  HAGA, HIROFUMI ,  中尾亘孝 ,  NAKAO, NOBUTAKA ,  藥師寺秀明 ,  YAKUSHIJI, HIDEAKI

IPC分类号： H01L21/67

公开(公告)号：TWI675499B

公开(公告)日：2019-10-21

申请号：TW106116028

申请日：2017-05-16

申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 羅素 諾埃爾 ,  RUSSELL, NOEL ,  史密斯 傑佛瑞 ,  SMITH, JEFFREY

IPC分类号： H01L43/02 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12 ,  G11C11/16

公开(公告)号：TWI671834B

公开(公告)日：2019-09-11

申请号：TW104130820

申请日：2015-09-17

申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 浅子竜一 ,  ASAKO, RYUICHI

IPC分类号： H01L21/64 ,  H01L21/67

公开(公告)号：TWI671782B

公开(公告)日：2019-09-11

申请号：TW104141844

申请日：2015-12-14

申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 宮田明典 ,  MIYATA, AKINORI ,  先崎滋 ,  SENZAKI, SHIGERU ,  芳賀博文 ,  HAGA, HIROFUMI ,  中尾亘孝 ,  NAKAO, NOBUTAKA

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/67

公开(公告)号：TWI671139B

公开(公告)日：2019-09-11

申请号：TW104124751

申请日：2015-07-30

申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED ,  日商JSR股份有限公司 ,  JSR CORPORATION

发明人： 相原明徳 ,  AIBARA, MEITOKU ,  吉田祐希 ,  YOSHIDA, YUKI ,  河野央 ,  KAWANO, HISASHI ,  山下剛秀 ,  YAMASHITA, MASAMI ,  菅野至 ,  KANNO, ITARU ,  望田憲嗣 ,  MOCHIDA, KENJI ,  島基之 ,  SHIMA, MOTOYUKI

IPC分类号： B08B3/08 ,  H01L21/02

公开(公告)号：TWI671127B

公开(公告)日：2019-09-11

申请号：TW105109775

申请日：2016-03-29

申请人： 東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 志手英男 ,  SHITE, HIDEO ,  木村一彥 ,  KIMURA, KAZUHIKO ,  湯本知行 ,  YUMOTO, TOMOYUKI

IPC分类号： B05C11/10 ,  B01D19/02

公开(公告)号：TWI669759B

公开(公告)日：2019-08-21

申请号：TW107109198

申请日：2018-03-19

申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 川上真一路 ,  KAWAKAMI, SHINICHIRO ,  水之浦宏 ,  MIZUNOURA, HIROSHI ,  畠山真一 ,  HATAKEYAMA, SHINICHI

IPC分类号： H01L21/3105 ,  H01L21/67