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公开(公告)号：TW201628058A
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW104125505
申请日：2015-08-06
发明人： 金旼秀 , KIM, MIN-SOO , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI , 姜善惠 , KANG, SUN-HAE , 金成旻 , KIM, SUNG-MIN , 金瑆煥 , KIM, SUNG-HWAN , 金永珉 , KIM, YOUNG-MIN , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 金惠廷 , KIM, HEA-JUNG , 南沇希 , NAM, YOUN-HEE , 白載烈 , BAEK, JAE-YEOL , 尹星莉 , YOON, BYERI , 尹龍雲 , YOON, YONG-WOON , 李忠憲 , LEE, CHUNG-HEON , 鄭瑟基 , JENONG, SEULGI , 趙姸熹 , JO, YEON-HEE , 洪承希 , HONG, SEUNG-HEE , 黃善民 , HWANG, SUN-MIN , 黃元宗 , HWANG, WON-JONG , 李松世 , YI, SONGSE , 金命九 , KIM, MYEONGKOO , 劉奈莉 , YU, NAERY
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/311
CPC分类号： H01L21/02118 , C08G10/00 , C08G12/00 , C08G61/02 , C08G61/12 , C08G61/122 , C08G61/124 , C08G73/0672 , C08G2261/124 , C08G2261/135 , C08G2261/1422 , C08G2261/314 , C08G2261/3142 , C08G2261/3221 , C08G2261/3241 , C08G2261/3424 , C08G2261/344 , C08G2261/76 , C08G2261/90 , G03F7/40 , H01L21/02282 , H01L21/0332 , H01L21/31058 , H01L21/31133
摘要： 一種製造層結構的方法，包含通過將包含有機化合物的第一組合物塗覆到具有多個圖案的基底上形成第一有機層（S1）；將溶劑塗覆到第一有機層上以去除第一有機層的一部分（S2）；以及將包含有機化合物的第二組合物塗覆到其中的一部分被去除的第一有機層上並且經由固化過程形成第二有機層（S3）。本發明提供一種由所述方法製造的層結構、一種使用層結構形成圖案的方法，以及一種由形成圖案的方法製造的半導體裝置。
简体摘要： 一种制造层结构的方法，包含通过将包含有机化合物的第一组合物涂覆到具有多个图案的基底上形成第一有机层（S1）；将溶剂涂覆到第一有机层上以去除第一有机层的一部分（S2）；以及将包含有机化合物的第二组合物涂覆到其中的一部分被去除的第一有机层上并且经由固化过程形成第二有机层（S3）。本发明提供一种由所述方法制造的层结构、一种使用层结构形成图案的方法，以及一种由形成图案的方法制造的半导体设备。
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公开(公告)号：TWI585148B
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：TW104140872
申请日：2015-12-07
发明人： 朴裕信 , PARK, YU-SHIN , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 金兌鎬 , KIM, TAE-HO , 朴惟廷 , PARK, YOU-JUNG , 崔有廷 , CHOI, YOO-JEONG , 權孝英 , KWON, HYO-YOUNG , 金昇炫 , KIM, SEUNG-HYUN , 南宮爛 , NAMGUNG, RAN , 拉特維 豆米尼阿 , RATHWELL, DOMINEA , 文秀賢 , MUN, SOO-HYOUN , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI , 鄭鉉日 , JUNG, HYEON-IL , 許柳美 , HEO, YU-MI
CPC分类号： C08G73/0672 , G03F7/0041 , G03F7/0752 , G03F7/091 , G03F7/094 , H01L51/0018
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公开(公告)号：TWI567131B
公开(公告)日：2017-01-21
申请号：TW104112155
申请日：2015-04-16
申请人： 三星SDI股份有限公司 , SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人： 南沇希 , NAM, YOUN-HEE , 金美英 , KIM, MI-YOUNG , 朴惟廷 , PARK, YOU-JUNG , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 金惠廷 , KIM, HEA-JUNG , 文俊怜 , MOON, JOON-YOUNG , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI , 李忠憲 , LEE, CHUNG-HEON , 崔有廷 , CHOI, YOO-JEONG
CPC分类号： G03F7/094 , C08L65/00 , G03F7/0752 , G03F7/091 , H01L21/3081 , H01L21/3086 , H01L21/31144 , H01L21/32139
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公开(公告)号：TWI552996B
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：TW104144568
申请日：2015-12-31
发明人： 崔有廷 , CHOI, YOO-JEONG , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 朴裕信 , PARK, YU-SHIN , 朴惟廷 , PARK, YOU-JUNG , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI
IPC分类号： C07D215/14 , C07C39/12 , C07D311/58 , C08L61/16 , C08G8/02 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/31116 , C07C39/225 , C07D215/14 , C07D311/58 , C08G61/02 , C08G61/122 , C08G2261/135 , C08G2261/1422 , C08G2261/314 , C08G2261/3241 , C08G2261/3242 , C08G2261/3424 , C08G2261/76 , C09D165/00 , H01L21/0271 , H01L21/31138 , H01L21/31144
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公开(公告)号：TW201630887A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW104144568
申请日：2015-12-31
发明人： 崔有廷 , CHOI, YOO-JEONG , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 朴裕信 , PARK, YU-SHIN , 朴惟廷 , PARK, YOU-JUNG , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI
IPC分类号： C07D215/14 , C07C39/12 , C07D311/58 , C08L61/16 , C08G8/02 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/31116 , C07C39/225 , C07D215/14 , C07D311/58 , C08G61/02 , C08G61/122 , C08G2261/135 , C08G2261/1422 , C08G2261/314 , C08G2261/3241 , C08G2261/3242 , C08G2261/3424 , C08G2261/76 , C09D165/00 , H01L21/0271 , H01L21/31138 , H01L21/31144
摘要： 本發明公開一種由化學式1表示的單體、包含所述單體的有機層組成物、由所述有機層組成物製成的有機層以及使用所述有機層組成物形成圖案的方法。 化學式1與具體實施方式中所定義的相同。
简体摘要： 本发明公开一种由化学式1表示的单体、包含所述单体的有机层组成物、由所述有机层组成物制成的有机层以及使用所述有机层组成物形成图案的方法。 化学式1与具体实施方式中所定义的相同。
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公开(公告)号：TWI532785B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：TW103142270
申请日：2014-12-05
申请人： 三星SDI股份有限公司 , SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人： 朴裕信 , PARK, YU-SHIN , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 文俊怜 , MOON, JOON-YOUNG , 朴惟廷 , PARK, YOU-JUNG , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI , 辛乘旭 , SHIN, SEUNG-WOOK , 尹龍雲 , YOON, YONG-WOON , 李忠憲 , LEE, CHUNG-HEON , 崔有廷 , CHOI, YOO-JEONG
IPC分类号： C08L65/00 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/0276 , C08G2261/135 , C08G2261/1422 , C08G2261/3142 , C08G2261/3424 , C08G2261/76 , C08L61/06 , C08L65/00 , C09D165/00 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/30604 , H01L21/3081 , H01L21/3086
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公开(公告)号：TW201544540A
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW104112155
申请日：2015-04-16
申请人： 三星SDI股份有限公司 , SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人： 南沇希 , NAM, YOUN-HEE , 金美英 , KIM, MI-YOUNG , 朴惟廷 , PARK, YOU-JUNG , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 金惠廷 , KIM, HEA-JUNG , 文俊怜 , MOON, JOON-YOUNG , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI , 李忠憲 , LEE, CHUNG-HEON , 崔有廷 , CHOI, YOO-JEONG
CPC分类号： G03F7/094 , C08L65/00 , G03F7/0752 , G03F7/091 , H01L21/3081 , H01L21/3086 , H01L21/31144 , H01L21/32139
摘要： 一種硬罩幕組成物和一種使用所述硬罩幕組成物形成圖案的方法。硬罩幕組成物包含聚合物和溶劑，所述聚合物包含由以下化學式1表示的部分。 [化學式1]*-A-B-* 在所述化學式1中，A和B與具體實施方式中所定義的相同。
简体摘要： 一种硬罩幕组成物和一种使用所述硬罩幕组成物形成图案的方法。硬罩幕组成物包含聚合物和溶剂，所述聚合物包含由以下化学式1表示的部分。 [化学式1]*-A-B-* 在所述化学式1中，A和B与具体实施方式中所定义的相同。
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公开(公告)号：TW201525057A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW103142270
申请日：2014-12-05
申请人： 三星SDI股份有限公司 , SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人： 朴裕信 , PARK, YU-SHIN , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 文俊怜 , MOON, JOON-YOUNG , 朴惟廷 , PARK, YOU-JUNG , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI , 辛乘旭 , SHIN, SEUNG-WOOK , 尹龍雲 , YOON, YONG-WOON , 李忠憲 , LEE, CHUNG-HEON , 崔有廷 , CHOI, YOO-JEONG
IPC分类号： C08L65/00 , G03F7/11 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/0276 , C08G2261/135 , C08G2261/1422 , C08G2261/3142 , C08G2261/3424 , C08G2261/76 , C08L61/06 , C08L65/00 , C09D165/00 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/30604 , H01L21/3081 , H01L21/3086
摘要： 一種硬罩幕組成物、形成圖案的方法以及半導體積體電路裝置。硬罩幕組成物包含：聚合物，所述聚合物包含由以下化學式1a到化學式1c中的一者表示的部分；由以下化學式2表示的單體；以及溶劑。 [化學式1c] 在上述化學式1a、化學式1b、化學式1c和化學式2中，R1a、R1b、R4a、R4b、R2a、R2b、R5a、R5b和R3與說明書中定義的相同。
简体摘要： 一种硬罩幕组成物、形成图案的方法以及半导体集成电路设备。硬罩幕组成物包含：聚合物，所述聚合物包含由以下化学式1a到化学式1c中的一者表示的部分；由以下化学式2表示的单体；以及溶剂。 [化学式1c] 在上述化学式1a、化学式1b、化学式1c和化学式2中，R1a、R1b、R4a、R4b、R2a、R2b、R5a、R5b和R3与说明书中定义的相同。
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公开(公告)号：TWI623515B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：TW104105454
申请日：2015-02-17
申请人： 三星SDI股份有限公司 , SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人： 金惠廷 , KIM, HEA-JUNG , 金瑆煥 , KIM, SUNG-HWAN , 南沇希 , NAM, YOUN-HEE , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 文俊怜 , MOON, JOON-YOUNG , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI , 尹龍雲 , YOON, YONG-WOON , 李忠憲 , LEE, CHUNG-HEON
IPC分类号： C07C233/80 , C07C251/24 , G03F1/00 , G03F7/11 , H01L21/027
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公开(公告)号：TW201544539A
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW104107106
申请日：2015-03-06
申请人： 三星SDI股份有限公司 , SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人： 崔有廷 , CHOI, YOO-JEONG , 金潤俊 , KIM, YUN-JUN , 金永珉 , KIM, YOUNG-MIN , 文俊怜 , MOON, JOON-YOUNG , 朴裕信 , PARK, YU-SHIN , 宋炫知 , SONG, HYUN-JI , 尹龍雲 , YOON, YONG-WOON , 李忠憲 , LEE, CHUNG-HEON
IPC分类号： C08L65/00 , G03F7/11 , G03F7/40 , H01L21/027 , H01L21/308
摘要： 本發明提供了一種硬罩幕組成物和使用所述硬罩幕組成物形成圖案的方法，所述硬罩幕組成物包括聚合物和溶劑，所述聚合物包含由以下化學式1表示的部分。 在以上化學式1中，M1、M2、a以及b與具體實施方式中所定義相同。
简体摘要： 本发明提供了一种硬罩幕组成物和使用所述硬罩幕组成物形成图案的方法，所述硬罩幕组成物包括聚合物和溶剂，所述聚合物包含由以下化学式1表示的部分。 在以上化学式1中，M1、M2、a以及b与具体实施方式中所定义相同。
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