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公开(公告)号:TWI478280B
公开(公告)日:2015-03-21
申请号:TW097111178
申请日:2008-03-28
Applicant: 半導體能源研究所股份有限公司 , SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Inventor: 宮入秀和 , MIYAIRI, HIDEKAZU , 下村明久 , SHIMOMURA, AKIHISA , 溝井達也 , MIZOI, TATSUYA , 比嘉榮二 , HIGA, EIJI , 永野庸治 , NAGANO, YOJI
IPC: H01L21/762 , H01L21/84
CPC classification number: H01L27/1203 , H01L21/76254 , H01L27/1214 , H01L27/1266 , H01L29/78654 , H01L51/0027 , H01L2224/03552
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公开(公告)号:TWI533363B
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:TW097138416
申请日:2008-10-06
Applicant: 半導體能源研究所股份有限公司 , SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Inventor: 下村明久 , SHIMOMURA, AKIHISA , 井坂史人 , ISAKA, FUMITO , 永野庸治 , NAGANO, YOJI , 桃純平 , MOMO, JUNPEI
IPC: H01L21/30 , B23K26/00 , H01L29/786
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/02532 , H01L21/02686 , H01L21/76254 , H01L27/1214 , H01L27/1218 , H01L27/1285 , H01L29/66772
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公开(公告)号:TWI476870B
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:TW097111444
申请日:2008-03-28
Applicant: 半導體能源研究所股份有限公司 , SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Inventor: 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI , 比嘉榮二 , HIGA, EIJI , 永野庸治 , NAGANO, YOJI , 溝井達也 , MIZOI, TATSUYA , 下村明久 , SHIMOMURA, AKIHISA
CPC classification number: H01L21/76254 , H01L21/2007 , H01L21/268 , H01L21/302 , H01L21/84
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公开(公告)号:TWI469330B
公开(公告)日:2015-01-11
申请号:TW097135189
申请日:2008-09-12
Applicant: 半導體能源研究所股份有限公司 , SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Inventor: 大沼英人 , OHNUMA, HIDETO , 飯窪陽一 , IIKUBO, YOICHI , 山本孔明 , YAMAMOTO, YOSHIAKI , 牧野賢一郎 , MAKINO, KENICHIRO , 下村明久 , SHIMOMURA, AKIHISA , 比嘉榮二 , HIGA, EIJI , 溝井達也 , MIZOI, TATSUYA , 永野庸治 , NAGANO, YOJI , 井坂史人 , ISAKA, FUMITO , 掛端哲彌 , KAKEHATA, TETSUYA , 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/2007 , H01L21/76254 , H01L21/84 , H01L27/1214 , H01L29/4908 , H01L29/66772 , H01L29/78603 , H01L29/78654
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