封裝件基板及其製造方法
    1.
    发明专利
    封裝件基板及其製造方法 审中-公开
    封装件基板及其制造方法

    公开(公告)号:TW202005029A

    公开(公告)日:2020-01-16

    申请号:TW107130959

    申请日:2018-09-04

    IPC分类号: H01L23/498 H01L21/60

    摘要: 本發明的實施例提供一種封裝件基板及其製造方法,所述封裝件基板包括:支撐部件,具有位於彼此相反的位置的第一面及第二面,並包括連接第一面及第二面的腔室,並包括具有至少從第一面突出的部分的佈線結構;平坦化層,佈置於支撐部件的第一面,並具有與佈線結構的突出的部分的表面實質上平坦的共面;導電跡線,佈置在平坦化層上而與佈線結構連接,且具有位於與腔室重疊的區域的接觸部分;連接部件,以覆蓋所述導電跡線的方式佈置於支撐部件的第一面,並具有與導電跡線連接的再佈線層。

    简体摘要: 本发明的实施例提供一种封装件基板及其制造方法,所述封装件基板包括:支撑部件,具有位于彼此相反的位置的第一面及第二面,并包括连接第一面及第二面的腔室,并包括具有至少从第一面突出的部分的布线结构;平坦化层,布置于支撑部件的第一面,并具有与布线结构的突出的部分的表面实质上平坦的共面;导电迹线,布置在平坦化层上而与布线结构连接,且具有位于与腔室重叠的区域的接触部分;连接部件,以覆盖所述导电迹线的方式布置于支撑部件的第一面,并具有与导电迹线连接的再布线层。