公开(公告)号：TWI689103B

公开(公告)日：2020-03-21

申请号：TW107128069

申请日：2018-08-10

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 余紹銘 ,  YU, SHAO MING ,  李東穎 ,  LEE, TUNG YING ,  雲惟勝 ,  YUN, WEI SHENG ,  楊富祥 ,  YANG, FU HSIANG

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/336

公开(公告)号：TWI644431B

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：TW106135542

申请日：2017-10-17

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 鄭兆欽 ,  CHENG, CHAO CHING ,  雲惟勝 ,  YUN, WEI SHENG ,  陳奕升 ,  CHEN, I SHENG ,  余紹銘 ,  YU, SHAO MING ,  陳自強 ,  CHEN, TZU CHIANG ,  葉致鍇 ,  YEH, CHIH CHIEH

IPC: H01L29/41 ,  H01L29/78 ,  H01L21/28 ,  H01L21/336