公开(公告)号：TWI683398B

公开(公告)日：2020-01-21

申请号：TW107138950

申请日：2018-11-02

申请人： 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

发明人： 黃育智 ,  HUANG, YU-CHIH ,  余振華 ,  YU, CHEN-HUA ,  劉重希 ,  LIU, CHUNG-SHI ,  王垂堂 ,  WANG, CHUEI-TANG ,  蔡豪益 ,  TSAI, HAO-YI ,  劉家宏 ,  LIU, CHIA-HUNG ,  郭婷婷 ,  KUO, TING-TING ,  戴志軒 ,  TAI, CHIH-HSUAN ,  吳邦立 ,  WU, BAN-LI ,  曾英誠 ,  TSENG, YING-CHENG ,  賴季暉 ,  LAI, CHI-HUI

IPC分类号： H01L23/10 ,  H01L23/528 ,  H01L23/31