-
公开(公告)号:TWI679767B
公开(公告)日:2019-12-11
申请号:TW106135671
申请日:2017-10-18
Inventor: 許 劭銘 , KOH, SHAO-MING , 李振銘 , LEE, CHEN MING , 吳以雯 , WU, I WEN , 楊復凱 , YANG, FU KAI , 王嘉亨 , WANG, JIA HENG , 王美勻 , WANG, MEI YUN
IPC: H01L29/06 , H01L29/12 , H01L21/3065