製造導體的方法及用於製造半導體裝置的導體的構造
    3.
    发明专利
    製造導體的方法及用於製造半導體裝置的導體的構造 审中-公开
    制造导体的方法及用于制造半导体设备的导体的构造

    公开(公告)号:TW201830499A

    公开(公告)日:2018-08-16

    申请号:TW106136030

    申请日:2017-10-20

    Abstract: 一種製造半導體裝置的導體的方法,所述方法包括:在基座上形成結構;以及自所述結構中去除第一組的組員中的選定部分及第二組的組員中的選定部分。所述結構包括:具頂蓋的第一導體,平行於第一方向排列;以及具頂蓋的第二導體,平行於具頂蓋的第一導體排列且與所述具頂蓋的第一導體穿插配置。具頂蓋的第一導體被組織成至少第一組及第二組。第一組的每一組員具有第一頂蓋,所述第一頂蓋具有第一蝕刻敏感性。第二組的每一組員具有第二頂蓋,所述第二頂蓋具有第二蝕刻敏感性。具頂蓋的第二導體中的每一者具有第三蝕刻敏感性。第一蝕刻敏感性、第二蝕刻敏感性及第三蝕刻敏感性是不同的。

    Abstract in simplified Chinese: 一种制造半导体设备的导体的方法,所述方法包括:在基座上形成结构;以及自所述结构中去除第一组的组员中的选定部分及第二组的组员中的选定部分。所述结构包括:具顶盖的第一导体,平行于第一方向排列;以及具顶盖的第二导体,平行于具顶盖的第一导体排列且与所述具顶盖的第一导体穿插配置。具顶盖的第一导体被组织成至少第一组及第二组。第一组的每一组员具有第一顶盖,所述第一顶盖具有第一蚀刻敏感性。第二组的每一组员具有第二顶盖,所述第二顶盖具有第二蚀刻敏感性。具顶盖的第二导体中的每一者具有第三蚀刻敏感性。第一蚀刻敏感性、第二蚀刻敏感性及第三蚀刻敏感性是不同的。

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