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公开(公告)号：TWI690616B
公开(公告)日：2020-04-11
申请号：TW104126653
申请日：2015-08-17
发明人： 澤地淳 , SAWACHI, ATSUSHI , 佐佐木則和 , SASAKI, NORIKAZU , 山島淳 , YAMASHIMA, JUN , 佐藤好保 , SATO, YOSHIYASU , 野上健一 , NOGAMI, KENICHI
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/509 , H01L21/3065 , H01L21/31
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公开(公告)号：TW201827970A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106135048
申请日：2017-10-13
发明人： 山島淳 , YAMASHIMA, JUN , 早坂伸一郎 , HAYASAKA, SHINICHIRO , 鶴田俊寬 , TSURUTA, TOSHIHIRO , 藤井弘 , FUJII, HIROSHI , 秋場純一 , AKIBA, JUNICHI , 蛇見尚也 , JAMI, NAOYA , 星直嗣 , HOSHI, NAOTSUGU
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 於一實施形態之方法中，根據流量控制器所指定之設定流量自第1壓力感測器及第2壓力感測器選擇壓力感測器。第2壓力感測器能夠測定之最大壓力大於第1壓力感測器能夠測定之最大壓力。又，根據設定流量決定應達到之腔室之最大壓力。以與設定流量對應之輸出流量自流量控制器開始對腔室輸入氣體，而於關閉設置於腔室與排氣裝置之間的壓力控制器後至達到目標壓力為止之期間，藉由所選擇之壓力感測器測定腔室之壓力。並且，根據腔室之壓力相對於時間之上升率而求出流量控制器之輸出流量。
简体摘要： 于一实施形态之方法中，根据流量控制器所指定之设置流量自第1压力传感器及第2压力传感器选择压力传感器。第2压力传感器能够测定之最大压力大于第1压力传感器能够测定之最大压力。又，根据设置流量决定应达到之腔室之最大压力。以与设置流量对应之输出流量自流量控制器开始对腔室输入气体，而于关闭设置于腔室与排气设备之间的压力控制器后至达到目标压力为止之期间，借由所选择之压力传感器测定腔室之压力。并且，根据腔室之压力相对于时间之上升率而求出流量控制器之输出流量。
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公开(公告)号：TW201619434A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW104126653
申请日：2015-08-17
发明人： 澤地淳 , SAWACHI, ATSUSHI , 佐佐木則和 , SASAKI, NORIKAZU , 山島淳 , YAMASHIMA, JUN , 佐藤好保 , SATO, YOSHIYASU , 野上健一 , NOGAMI, KENICHI
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/509 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC分类号： C23C16/45561 , C23C16/455 , C23C16/45523 , C23C16/45587 , C23C16/509 , H01J37/3244 , H01L21/02274 , H01L21/3065 , H01L21/67017
摘要： 本發明減低電漿處理裝置之氣體供給系統內的氣體之置換所須時間。本發明一實施形態之氣體供給系統包含第1～第3機構。第1機構的多數之統合部構成為選擇來自一個以上之氣體源的氣體並將選擇的氣體加以輸出。第2機構構成為將來自多數之統合部的多數之氣體加以分配並將分配的氣體之流量加以調整而輸出。第3機構構成為將氣體供給系統內的氣體排氣至排氣裝置。
简体摘要： 本发明减低等离子处理设备之气体供给系统内的气体之置换所须时间。本发明一实施形态之气体供给系统包含第1～第3机构。第1机构的多数之统合部构成为选择来自一个以上之气体源的气体并将选择的气体加以输出。第2机构构成为将来自多数之统合部的多数之气体加以分配并将分配的气体之流量加以调整而输出。第3机构构成为将气体供给系统内的气体排气至排气设备。
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