公开(公告)号：TWI641573B

公开(公告)日：2018-11-21

申请号：TW104107741

申请日：2015-03-11

申请人： 日本電氣硝子股份有限公司 ,  NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD.

发明人： 池田光 ,  IKEDA, HIKARU ,  鈴木良太 ,  SUZUKI, RYOTA

IPC分类号： C03C3/076 ,  C03C3/083 ,  H01L21/02

公开(公告)号：TWI644881B

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：TW103131078

申请日：2014-09-10

申请人： 日商日本電氣硝子股份有限公司 ,  NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD.

发明人： 三和晋吉 ,  MIWA, SHINKICHI ,  池田光 ,  IKEDA, HIKARU

IPC分类号： C03C3/093 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/60

公开(公告)号：TW201542484A

公开(公告)日：2015-11-16

申请号：TW104107741

申请日：2015-03-11

申请人： 日本電氣硝子股份有限公司 ,  NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD.

发明人： 池田光 ,  IKEDA, HIKARU ,  鈴木良太 ,  SUZUKI, RYOTA

IPC分类号： C03C3/076 ,  C03C3/083 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L21/68757 ,  H01L21/568 ,  H01L21/67103 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/96 ,  H01L2924/3511

摘要： 一種支撐玻璃基板，其於20℃~200℃的溫度範圍下的平均線熱膨脹係數為66×10-7/℃以上且81×10-7/℃以下。

简体摘要： 一种支撑玻璃基板，其于20℃~200℃的温度范围下的平均线热膨胀系数为66×10-7/℃以上且81×10-7/℃以下。

公开(公告)号：TW201522269A

公开(公告)日：2015-06-16

申请号：TW103131078

申请日：2014-09-10

申请人： 日本電氣硝子股份有限公司 ,  NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD.

发明人： 三和晋吉 ,  MIWA, SHINKICHI ,  池田光 ,  IKEDA, HIKARU

IPC分类号： C03C3/093 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/60

CPC分类号： H01L21/68757 ,  C03C3/093 ,  H01L21/568 ,  H01L24/19 ,  H01L24/96 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/3511

摘要： 一種支持玻璃基板，支持加工基板且使加工基板難以產生尺寸變化，所述支持玻璃基板的特徵在於，在20℃~200℃的溫度範圍內的平均線熱膨脹係數為50×10-7/℃以上且66×10-7/℃以下。

简体摘要： 一种支持玻璃基板，支持加工基板且使加工基板难以产生尺寸变化，所述支持玻璃基板的特征在于，在20℃~200℃的温度范围内的平均线热膨胀系数为50×10-7/℃以上且66×10-7/℃以下。