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    壓力感測器、加速度感測器及壓力感測器之製造方法
    4.
    发明专利
    壓力感測器、加速度感測器及壓力感測器之製造方法 审中-公开
    压力传感器、加速度传感器及压力传感器之制造方法

    公开(公告)号：TW201530109A

    公开(公告)日：2015-08-01

    申请号：TW103144378

    申请日：2014-12-18

    申请人： 東芝股份有限公司 ,  KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA

    发明人： 福澤英明 ,  FUKUZAWA, HIDEAKI ,  藤慶彥 ,  FUJI, YOSHIHIKO ,  東祥弘 ,  HIGASHI, YOSHIHIRO ,  原通子 ,  HARA, MICHIKO

    IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L9/16 ,  G01P15/105

    CPC分类号： G01L1/2287 ,  G01L1/12 ,  G01L1/125 ,  G01L5/16 ,  G01L9/16 ,  G01P15/105

    摘要： 根據一實施例，一種壓力感測器包含一基座及經提供於該基座上之一感測器單元。該感測器單元包含具有一第一表面之一換能薄膜、經提供於該第一表面上之一第一應變感測元件，及經提供於該第一表面上之一第二應變感測元件。該第一應變感測元件包含一第一磁性層、具有一第一氧濃度之一第一膜、經提供於該第一磁性層與該第一膜之間之一第二磁性層，及經提供於該第一磁性層與該第二磁性層之間之一第一中間層。該第二應變感測元件包含一第三磁性層、具有不同於該第一濃度之一第二氧濃度之一第二膜、經提供於該第三磁性層與該第二膜之間之一第四磁性層，及經提供於該第三磁性層與該第四磁性層之間之一第二中間層。

    简体摘要： 根据一实施例，一种压力传感器包含一基座及经提供于该基座上之一传感器单元。该传感器单元包含具有一第一表面之一换能薄膜、经提供于该第一表面上之一第一应变传感组件，及经提供于该第一表面上之一第二应变传感组件。该第一应变传感组件包含一第一磁性层、具有一第一氧浓度之一第一膜、经提供于该第一磁性层与该第一膜之间之一第二磁性层，及经提供于该第一磁性层与该第二磁性层之间之一第一中间层。该第二应变传感组件包含一第三磁性层、具有不同于该第一浓度之一第二氧浓度之一第二膜、经提供于该第三磁性层与该第二膜之间之一第四磁性层，及经提供于该第三磁性层与该第四磁性层之间之一第二中间层。

    應變檢測元件、壓力感測器、麥克風、血壓感測器、及觸控面板
    8.
    发明专利
    應變檢測元件、壓力感測器、麥克風、血壓感測器、及觸控面板 审中-公开
    应变检测组件、压力传感器、麦克风、血压传感器、及触摸皮肤

    公开(公告)号：TW201614186A

    公开(公告)日：2016-04-16

    申请号：TW104121543

    申请日：2015-07-02

    申请人： 東芝股份有限公司 ,  KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA

    发明人： 藤慶彦 ,  FUJI, YOSHIHIKO ,  福澤英明 ,  FUKUZAWA, HIDEAKI ,  堀昭男 ,  HORI, AKIO ,  加治志織 ,  KAJI, SHIORI

    IPC分类号： G01B7/16 ,  G01L9/04 ,  G01L9/16

    CPC分类号： G01L9/16 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0044

    摘要： 一種應變檢測元件提供於一可變形膜片上方。此外，此應變檢測元件包含一電極及一堆疊體，該堆疊體包含：一第一磁性層，其之磁化方向可根據該膜片之一變形而改變；一第二磁性層，其經提供成面對該第一磁性層；及一中間層，其提供於此等第一磁性層與第二磁性層之間，且該第一磁性層之至少部分係非晶系的，且該電極包含由一Cu-Ag合金組態之一金屬層。

    简体摘要： 一种应变检测组件提供于一可变形膜片上方。此外，此应变检测组件包含一电极及一堆栈体，该堆栈体包含：一第一磁性层，其之磁化方向可根据该膜片之一变形而改变；一第二磁性层，其经提供成面对该第一磁性层；及一中间层，其提供于此等第一磁性层与第二磁性层之间，且该第一磁性层之至少部分系非晶系的，且该电极包含由一Cu-Ag合金组态之一金属层。