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公开(公告)号:TW201432892A
公开(公告)日:2014-08-16
申请号:TW102144387
申请日:2013-12-04
Applicant: 羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
Inventor: 菲 安道 , FEYH, ANDO , 陳柏瑞 , CHEN, PO JUI
IPC: H01L27/146
CPC classification number: G01P15/08 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2207/015 , G01C19/5783 , G01P15/0802 , G01P15/105 , G01P15/124 , G01P15/18 , G01P2015/0865
Abstract: 一種感測器裝置,其中含有第一CMOS晶片及第二CMOS晶片,而一第一移動閘傳感器係經構成於該第一CMOS晶片內以實施一第一3軸慣性感測器,並且一第二移動閘傳感器係經構成於該第二CMOS晶片內以實施一第二3軸慣性感測器。一用以評估該第一3軸慣性感測器和該第二3軸慣性感測器之輸出的ASIC係經佈設於該第一CMOS晶片與該第二CMOS晶片之間。
Abstract in simplified Chinese: 一种传感器设备,其中含有第一CMOS芯片及第二CMOS芯片,而一第一移动闸传感器系经构成于该第一CMOS芯片内以实施一第一3轴惯性传感器,并且一第二移动闸传感器系经构成于该第二CMOS芯片内以实施一第二3轴惯性传感器。一用以评估该第一3轴惯性传感器和该第二3轴惯性传感器之输出的ASIC系经布设于该第一CMOS芯片与该第二CMOS芯片之间。
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公开(公告)号:TW201522970A
公开(公告)日:2015-06-16
申请号:TW103128303
申请日:2014-08-18
Applicant: 東芝股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Inventor: 福澤英明 , FUKUZAWA, HIDEAKI , 原通子 , HARA, MICHIKO , 藤慶彦 , FUJI, YOSHIHIKO , 東祥弘 , HIGASHI, YOSHIHIRO , 加治志織 , KAJI, SHIORI , 堀昭男 , HORI, AKIO , 永田友彦 , NAGATA, TOMOHIKO , 湯澤亞希子 , YUZAWA, AKIKO , 喜喜津哲 , KIKITSU, AKIRA
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/105 , G01P15/0802 , G01P2015/0805
Abstract: 根據一實施例,一種慣性感應器包括一基座部分、一配重部分、一連接部分、及一第一感應元件單元。連接部分連接配重部分與基座部分,且能夠依照配重部分與基座部分之位置之相對位置的變化來變形。第一感應元件單元係設置於連接部分的一第一部分上且包括一第一磁性層、一第二磁性層、及一非磁性第一中間層。非磁性第一中間層係設置於第一磁性層與第二磁性層之間。
Abstract in simplified Chinese: 根据一实施例,一种惯性感应器包括一基座部分、一配重部分、一连接部分、及一第一感应组件单元。连接部分连接配重部分与基座部分,且能够依照配重部分与基座部分之位置之相对位置的变化来变形。第一感应组件单元系设置于连接部分的一第一部分上且包括一第一磁性层、一第二磁性层、及一非磁性第一中间层。非磁性第一中间层系设置于第一磁性层与第二磁性层之间。
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公开(公告)号:TWI263785B
公开(公告)日:2006-10-11
申请号:TW094110771
申请日:2005-04-04
Applicant: 愛知製鋼股份有限公司 AICHI STEEL CORPORATION
Inventor: 本藏義信 HONKURA, YOSHINOBU , 山本道治 YAMAMOTO, MICHIHARU , 幸谷吉晃 KOUTANI, YOSHIAKI , 森正樹 MORI, MASAKI , 加古英兒 KAKO, EIJI , 玄番弘榮 GENBA, KOUEI , 淺野巧 ASANO, TAKUMI , 石川尚樹 ISHIKAWA, NAOKI
IPC: G01P
CPC classification number: G01P1/006 , G01P1/023 , G01P15/105 , G01P15/18 , G01P2015/0828
Abstract: 1.課題
本發明提供了一種在採用磁性檢出元件檢測磁鐵體變位的加速度感測器,並且,該加速度感測器是有效地抑制周邊磁場的影響而提高檢測精度的加速度感測器。2.解決手段
本發明所提出的加速度感測器1,具有懸臂梁結構,包括了以其固定端221為中心作轉動的彈性變形運動的懸臂22和、在懸臂22的自由端222上設置的磁鐵體21a(b)、以及在懸臂22的轉動領域的外周面上配置了磁性檢出頭部23(b)的加速度檢測單元。並且,本發明所提出的加速度感測器1,為了補正磁性檢出頭部23a、23b輸出的檢出信號,配備了分別檢測作用於磁性檢出頭部23a、23b和磁鐵體21a、21b的周邊磁場的周邊磁場檢出部43a、43b。Abstract in simplified Chinese: 1.课题 本发明提供了一种在采用磁性检出组件检测磁铁体变位的加速度传感器,并且,该加速度传感器是有效地抑制周边磁场的影响而提高检测精度的加速度传感器。2.解决手段 本发明所提出的加速度传感器1,具有悬臂梁结构,包括了以其固定端221为中心作转动的弹性变形运动的悬臂22和、在悬臂22的自由端222上设置的磁铁体21a(b)、以及在悬臂22的转动领域的外周面上配置了磁性检出头部23(b)的加速度检测单元。并且,本发明所提出的加速度传感器1,为了补正磁性检出头部23a、23b输出的检出信号,配备了分别检测作用于磁性检出头部23a、23b和磁铁体21a、21b的周边磁场的周边磁场检出部43a、43b。
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公开(公告)号:TW200537098A
公开(公告)日:2005-11-16
申请号:TW094110771
申请日:2005-04-04
Applicant: 愛知製鋼股份有限公司 AICHI STEEL CORPORATION
Inventor: 本藏義信 HONKURA, YOSHINOBU , 山本道治 YAMAMOTO, MICHIHARU , 幸谷吉晃 KOUTANI, YOSHIAKI , 森正樹 MORI, MASAKI , 加古英兒 KAKO, EIJI , 玄番弘榮 GENBA, KOUEI , 淺野巧 ASANO, TAKUMI , 石川尚樹 ISHIKAWA, NAOKI
IPC: G01P
CPC classification number: G01P1/006 , G01P1/023 , G01P15/105 , G01P15/18 , G01P2015/0828
Abstract: 1.課題本發明提供了一種在採用磁性檢出元件檢測磁鐵體變位的加速度感測器,並且,該加速度感測器是有效地抑制周邊磁場的影響而提高檢測精度的加速度感測器。2.解決手段本發明所提出的加速度感測器1,具有懸臂梁結構,包括了以其固定端221為中心作轉動的彈性變形運動的懸臂22和、在懸臂22的自由端222上設置的磁鐵體21a(b)、以及在懸臂22的轉動領域的外周面上配置了磁性檢出頭部23(b)的加速度檢測單元。並且,本發明所提出的加速度感測器1,為了補正磁性檢出頭部23a、23b輸出的檢出信號,配備了分別檢測作用於磁性檢出頭部23a、23b和磁鐵體21a、21b的周邊磁場的周邊磁場檢出部43a、43b。
Abstract in simplified Chinese: 1.课题本发明提供了一种在采用磁性检出组件检测磁铁体变位的加速度传感器,并且,该加速度传感器是有效地抑制周边磁场的影响而提高检测精度的加速度传感器。2.解决手段本发明所提出的加速度传感器1,具有悬臂梁结构,包括了以其固定端221为中心作转动的弹性变形运动的悬臂22和、在悬臂22的自由端222上设置的磁铁体21a(b)、以及在悬臂22的转动领域的外周面上配置了磁性检出头部23(b)的加速度检测单元。并且,本发明所提出的加速度传感器1,为了补正磁性检出头部23a、23b输出的检出信号,配备了分别检测作用于磁性检出头部23a、23b和磁铁体21a、21b的周边磁场的周边磁场检出部43a、43b。
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公开(公告)号:TW201532946A
公开(公告)日:2015-09-01
申请号:TW103138289
申请日:2014-11-05
Applicant: 羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
Inventor: 福雷 顏斯 , FREY, JENS , 凱爾貝爾 阿爾德 , KAELBERER, ARND , 蘭穆斯 猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 克拉森 約翰尼斯 , CLASSEN, JOHANNES
CPC classification number: G01P15/105 , G01P1/023 , G01P15/08 , G01P15/0802 , H01L2224/16 , Y10T29/49002
Abstract: 一種微機械感測器裝置(100),具有:- 第一裸式感測器單元(10);及- 至少一第二裸式感測器單元(20),其中,該等感測器單元(10,20)係功能性相連,其中,該等感測器單元(10,20)以某種方式大體豎向交疊佈置,使得基面較大之感測器單元(10)將基面較小之感測器單元(10)完全遮蓋。
Abstract in simplified Chinese: 一种微机械传感器设备(100),具有:- 第一裸式传感器单元(10);及- 至少一第二裸式传感器单元(20),其中,该等传感器单元(10,20)系功能性相连,其中,该等传感器单元(10,20)以某种方式大体竖向交叠布置,使得基面较大之传感器单元(10)将基面较小之传感器单元(10)完全遮盖。
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公开(公告)号:TW201530109A
公开(公告)日:2015-08-01
申请号:TW103144378
申请日:2014-12-18
Applicant: 東芝股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Inventor: 福澤英明 , FUKUZAWA, HIDEAKI , 藤慶彥 , FUJI, YOSHIHIKO , 東祥弘 , HIGASHI, YOSHIHIRO , 原通子 , HARA, MICHIKO
IPC: G01L9/00 , G01L9/16 , G01P15/105
CPC classification number: G01L1/2287 , G01L1/12 , G01L1/125 , G01L5/16 , G01L9/16 , G01P15/105
Abstract: 根據一實施例,一種壓力感測器包含一基座及經提供於該基座上之一感測器單元。該感測器單元包含具有一第一表面之一換能薄膜、經提供於該第一表面上之一第一應變感測元件,及經提供於該第一表面上之一第二應變感測元件。該第一應變感測元件包含一第一磁性層、具有一第一氧濃度之一第一膜、經提供於該第一磁性層與該第一膜之間之一第二磁性層,及經提供於該第一磁性層與該第二磁性層之間之一第一中間層。該第二應變感測元件包含一第三磁性層、具有不同於該第一濃度之一第二氧濃度之一第二膜、經提供於該第三磁性層與該第二膜之間之一第四磁性層,及經提供於該第三磁性層與該第四磁性層之間之一第二中間層。
Abstract in simplified Chinese: 根据一实施例,一种压力传感器包含一基座及经提供于该基座上之一传感器单元。该传感器单元包含具有一第一表面之一换能薄膜、经提供于该第一表面上之一第一应变传感组件,及经提供于该第一表面上之一第二应变传感组件。该第一应变传感组件包含一第一磁性层、具有一第一氧浓度之一第一膜、经提供于该第一磁性层与该第一膜之间之一第二磁性层,及经提供于该第一磁性层与该第二磁性层之间之一第一中间层。该第二应变传感组件包含一第三磁性层、具有不同于该第一浓度之一第二氧浓度之一第二膜、经提供于该第三磁性层与该第二膜之间之一第四磁性层,及经提供于该第三磁性层与该第四磁性层之间之一第二中间层。
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公开(公告)号:TWI518330B
公开(公告)日:2016-01-21
申请号:TW103128303
申请日:2014-08-18
Applicant: 東芝股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Inventor: 福澤英明 , FUKUZAWA, HIDEAKI , 原通子 , HARA, MICHIKO , 藤慶彦 , FUJI, YOSHIHIKO , 東祥弘 , HIGASHI, YOSHIHIRO , 加治志織 , KAJI, SHIORI , 堀昭男 , HORI, AKIO , 永田友彦 , NAGATA, TOMOHIKO , 湯澤亞希子 , YUZAWA, AKIKO , 喜喜津哲 , KIKITSU, AKIRA
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/105 , G01P15/0802 , G01P2015/0805
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公开(公告)号:TW200504366A
公开(公告)日:2005-02-01
申请号:TW093105939
申请日:2004-03-05
Applicant: TDK股份有限公司 TDK CORPORATION
Inventor: 森輝夫 MORI, TERUO , 三木信之 MIKI, NOBUYUKI
IPC: G01P
CPC classification number: G01P15/105
Abstract: 本發明係提供一可實現小型化、輕量化、耐久性提昇等,同時以高精度來檢查微少的加速度變化的加速度感測器。加速度感測器10係具有:外殼12;和在該外殼12內接觸其中一方的壁面,且N極或S極的其中一方為前記壁面側被配置的第一偏壓磁鐵14;和對該第一偏壓磁鐵14而言,具有間隙,且以磁極的方向為面對面的狀態被收容在前記外殼12內的第二偏壓磁鐵16;和配置在該第二偏壓磁鐵16以及與前記外殼12的前記壁面面對面的另一方的壁面之間,利用相對於前記第二偏壓磁鐵16的前記第一偏壓磁鐵14的磁性反撥力被推壓在前記另一方的壁面的磁致伸縮構件18;和檢查該磁致伸縮構件18的透磁率或殘留磁化量之變化的檢查手段20。而且,將前記磁性反撥力的作用線方向的加速度變化,基於前記磁性反撥力的變化,作為前記磁致伸縮構件18的透磁率或殘留磁化量的變化來檢查。
Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一可实现小型化、轻量化、耐久性提升等,同时以高精度来检查微少的加速度变化的加速度传感器。加速度传感器10系具有:外壳12;和在该外壳12内接触其中一方的壁面,且N极或S极的其中一方为前记壁面侧被配置的第一偏压磁铁14;和对该第一偏压磁铁14而言,具有间隙,且以磁极的方向为面对面的状态被收容在前记外壳12内的第二偏压磁铁16;和配置在该第二偏压磁铁16以及与前记外壳12的前记壁面面对面的另一方的壁面之间,利用相对于前记第二偏压磁铁16的前记第一偏压磁铁14的磁性反拨力被推压在前记另一方的壁面的磁致伸缩构件18;和检查该磁致伸缩构件18的透磁率或残留磁化量之变化的检查手段20。而且,将前记磁性反拨力的作用线方向的加速度变化,基于前记磁性反拨力的变化,作为前记磁致伸缩构件18的透磁率或残留磁化量的变化来检查。
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公开(公告)号:TW200422621A
公开(公告)日:2004-11-01
申请号:TW093101660
申请日:2004-01-20
Applicant: TDK股份有限公司 TDK CORPORATION
Inventor: 森輝夫 MORI, TERUO , 野中伸一 NONAKA, SHINICHI
IPC: G01P
CPC classification number: G01P15/105
Abstract: 本發明提供可確實檢測微幅時間內的震動的可靠性高的震動感測器。震動感測器10具備響應震動加速度,導磁率變化的磁致伸縮元件12、用來施加偏置磁場於磁致伸縮元件12的偏置磁場施加手段14以及用來測定磁致伸縮元件12附近的磁場強度的磁場測定手段16。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供可确实检测微幅时间内的震动的可靠性高的震动传感器。震动传感器10具备响应震动加速度,导磁率变化的磁致伸缩组件12、用来施加偏置磁场于磁致伸缩组件12的偏置磁场施加手段14以及用来测定磁致伸缩组件12附近的磁场强度的磁场测定手段16。
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