可改變耐壓之瞬態電壓抑制器製造方法 METHOD OF FABRICATING TRANSIENT VOLTAGE SUPPRESSOR (TVS) WITH CHANGEABLE AVALANCHE VOLTAGE
    4.
    发明专利
    可改變耐壓之瞬態電壓抑制器製造方法 METHOD OF FABRICATING TRANSIENT VOLTAGE SUPPRESSOR (TVS) WITH CHANGEABLE AVALANCHE VOLTAGE 审中-公开
    可改变耐压之瞬态电压抑制器制造方法 METHOD OF FABRICATING TRANSIENT VOLTAGE SUPPRESSOR (TVS) WITH CHANGEABLE AVALANCHE VOLTAGE

    公开(公告)号:TW201029113A

    公开(公告)日:2010-08-01

    申请号:TW098102079

    申请日:2009-01-20

    IPC分类号: H01L

    摘要: 本發明係為一種可改變耐壓之瞬態電壓抑制器製造方法,其包括下列步驟:提供基板;圖案化基板;清洗基板;熱處理基板;以及形成金屬電極。利用改變基板熱處理時的溫度,以形成不同厚度之氧化絕緣層,藉以改變瞬態電壓抑制器之耐壓,如此可有效地減少瞬態電壓抑制器應用於低電壓時之漏電流。而因為熱處理過程中又使用了含氯氣體,所以氧化絕緣層中含有氯分子,因此可藉由氯分子而達到穩定電荷之功效。

    简体摘要: 本发明系为一种可改变耐压之瞬态电压抑制器制造方法,其包括下列步骤:提供基板;图案化基板;清洗基板;热处理基板;以及形成金属电极。利用改变基板热处理时的温度,以形成不同厚度之氧化绝缘层,借以改变瞬态电压抑制器之耐压,如此可有效地减少瞬态电压抑制器应用于低电压时之漏电流。而因为热处理过程中又使用了含氯气体,所以氧化绝缘层中含有氯分子,因此可借由氯分子而达到稳定电荷之功效。