公开(公告)号：TWI604514B

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：TW101112512

申请日：2012-04-09

申请人： 瑞薩電子股份有限公司 ,  RENESAS ELECTRONICS CORPORATION

发明人： 德光成太 ,  TOKUMITSU, SHIGEO ,  上西明夫 ,  UENISHI, AKIO

IPC分类号： H01L21/265 ,  H01L21/8234 ,  H01L27/08 ,  H01L29/78

CPC分类号： H01L29/1045 ,  H01L21/823418 ,  H01L21/823456 ,  H01L21/823475 ,  H01L21/823493 ,  H01L21/823814 ,  H01L21/82385 ,  H01L21/823871 ,  H01L21/823892 ,  H01L27/0207 ,  H01L29/0692 ,  H01L29/0847 ,  H01L29/1033 ,  H01L29/1083 ,  H01L29/1087 ,  H01L29/1095 ,  H01L29/36 ,  H01L29/41758 ,  H01L29/42364 ,  H01L29/4238 ,  H01L29/66568 ,  H01L29/66575 ,  H01L29/66689 ,  H01L29/7816 ,  H01L29/7833 ,  H01L29/7835 ,  H01L29/7836