公开(公告)号：TWI699850B

公开(公告)日：2020-07-21

申请号：TW108109667

申请日：2014-11-03

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 萊斯 麥可羅伯特 ,  RICE, MICHAEL ROBERT ,  麥爾斯 麥克 ,  MEYERS, MICHAEL ,  瑪索可 約翰J ,  MAZZOCCO, JOHN J. ,  赫魯澤克 迪恩C ,  HRUZEK, DEAN C. ,  庫加爾 麥可 ,  KUCHAR, MICHAEL ,  柯西堤 蘇珊特S ,  KOSHTI, SUSHANT S. ,  坎卡納拉 潘恰拉N ,  KANKANALA, PENCHALA N. ,  英格寒特 艾力克A ,  ENGLHARDT, ERIC A.

IPC: H01L21/677

公开(公告)号：TWI697977B

公开(公告)日：2020-07-01

申请号：TW105112340

申请日：2016-04-20

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 瑪索可 約翰J ,  MAZZOCCO, JOHN J. ,  馬利 尼爾 ,  MERRY, NIR

IPC: H01L21/673 ,  E05C19/16

公开(公告)号：TW201703176A

公开(公告)日：2017-01-16

申请号：TW105112340

申请日：2016-04-20

Applicant: 應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 瑪索可 約翰J ,  MAZZOCCO, JOHN J. ,  馬利 尼爾 ,  MERRY, NIR

IPC: H01L21/673 ,  E05C19/16

CPC classification number: E05C19/166 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/67393

Abstract: 一種基板載體門組件，包括可被調變之相對高的密封力。基板載體門組件包括配置為密封至一載體主體的一載體門、該載體主體上的一第一吸引構件及該載體門上的一第二吸引構件。吸引構件選自以下群組：一磁性材料及一永久磁鐵。基板載體門組件包括一磁場產生器，該磁場產生器可通電以減少該吸引構件之間的吸引力，使得該載體門相對容易移除，還在未通電時提供強化的密封。提供了包括基板載體門組件的基板載體及處理基板的方法。亦揭露包括一接口及一磁性接口密封件的基板載體，該接口配置為允許氣體被注射進一載體腔室或移除自該載體腔室，亦揭露許多其他態樣。

Abstract in simplified Chinese: 一种基板载体门组件，包括可被调制之相对高的密封力。基板载体门组件包括配置为密封至一载体主体的一载体门、该载体主体上的一第一吸引构件及该载体门上的一第二吸引构件。吸引构件选自以下群组：一磁性材料及一永久磁铁。基板载体门组件包括一磁场产生器，该磁场产生器可通电以减少该吸引构件之间的吸引力，使得该载体门相对容易移除，还在未通电时提供强化的密封。提供了包括基板载体门组件的基板载体及处理基板的方法。亦揭露包括一接口及一磁性接口密封件的基板载体，该接口配置为允许气体被注射进一载体腔室或移除自该载体腔室，亦揭露许多其他态样。