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发明专利
以銀合金爲基礎的濺鍍靶有权
简体标题：以银合金为基础的溅镀靶

公开(公告)号：TWI608108B

公开(公告)日：2017-12-11

申请号：TW104116014

申请日：2015-05-20

申请人： 萬騰榮先進材料德國有限責任公司 , MATERION ADVANCED MATERIALS GERMANY GMBH

发明人： 許洛特馬丁 , SCHLOTT, MARTIN , 赫爾佐格安德烈亞斯 , HERZOG, ANDREAS , 舍爾托馬斯 , SCHOLL, THOMAS , 寇尼特卡烏韋 , KONIETZKA, UWE

IPC分类号： C22C5/06 , C23C14/34 , C22C1/02 , C22F1/14 , H05B33/24 , G11B7/258

CPC分类号： C22C5/06 , C22C1/02 , C22F1/14 , C23C14/14 , C23C14/3414 , H01J37/3429 , H01J37/3491