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公开(公告)号：TWI608108B
公开(公告)日：2017-12-11
申请号：TW104116014
申请日：2015-05-20
发明人： 許洛特 馬丁 , SCHLOTT, MARTIN , 赫爾佐格 安德烈亞斯 , HERZOG, ANDREAS , 舍爾 托馬斯 , SCHOLL, THOMAS , 寇尼特卡 烏韋 , KONIETZKA, UWE
CPC分类号： C22C5/06 , C22C1/02 , C22F1/14 , C23C14/14 , C23C14/3414 , H01J37/3429 , H01J37/3491
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公开(公告)号：TW201827627A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106130913
申请日：2017-09-11
发明人： 屈洛特 馬丁 , SCHLOTT, MARTIN , 裘提司 馬可斯 , SCHULTHEIS, MARKUS , 荷佐 安卓雅 , HERZOG, ANDREAS
摘要： 已知一種用於製造光吸收層的濺鍍標靶，其由標靶材料組成，該標靶材料含有氧化物相，且與化學計量組成相比具有降低之氧含量。為提供含有導電相且避免電荷及粒子形成之來自其的濺鍍標靶，根據本發明提供標靶材料含有鉬之金屬相(Mo相)且氧化物相含有氧化鋅(ZnO相)及具有式MNOn-x之混合氧化物相，其中M表示主要組分鋅(Zn)，且N表示次要組分鈮(Nb)及/或鈦(Ti)中的至少一者，且其中x比零大，且n表示該混合氧化物相之該化學計量組成之氧原子的數目。
简体摘要： 已知一种用于制造光吸收层的溅镀标靶，其由标靶材料组成，该标靶材料含有氧化物相，且与化学计量组成相比具有降低之氧含量。为提供含有导电相且避免电荷及粒子形成之来自其的溅镀标靶，根据本发明提供标靶材料含有钼之金属相(Mo相)且氧化物相含有氧化锌(ZnO相)及具有式MNOn-x之混合氧化物相，其中M表示主要组分锌(Zn)，且N表示次要组分铌(Nb)及/或钛(Ti)中的至少一者，且其中x比零大，且n表示该混合氧化物相之该化学计量组成之氧原子的数目。
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公开(公告)号：TWI627291B
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：TW105136264
申请日：2016-11-08
发明人： 許洛特 馬丁 , SCHLOTT, MARTIN , 賽門斯 克里斯多夫 , SIMONS, CHRISTOPH , 卡斯特納 艾伯特 , KASTNER, ALBERT , 華格納 顏斯 , WAGNER, JENS , 寇尼特卡 烏韋 , KONIETZKA, UWE
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公开(公告)号：TWI618807B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW104116661
申请日：2015-05-25
发明人： 舒洛特 馬汀 , SCHLOTT, MARTIN , 卡斯特那 亞伯特 , KASTNER, ALBERT , 舒爾西斯 馬可士 , SCHULTHEIS, MARKUS , 華格納 延斯 , WAGNER, JENS
CPC分类号： C03C17/36 , C03C17/3605 , C03C17/3607 , C03C17/3657 , C23C14/021 , C23C14/025 , C23C14/08 , C23C14/083 , C23C14/3414 , G02B5/22
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公开(公告)号：TWI614357B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW103112859
申请日：2014-04-08
发明人： 舒洛特 馬汀 , SCHLOTT, MARTIN , 卡斯特那 亞伯特 , KASTNER, ALBERT , 舒爾西斯 馬可士 , SCHULTHEIS, MARKUS , 華格納 延斯 , WAGNER, JENS , 李在錫 , LEE, SUK-JAE , 卡爾 班 , KAHLE, BEN
CPC分类号： G02B5/003 , C23C14/0036 , C23C14/08 , C23C14/3414 , C23C14/35 , F24S70/25 , F24S70/30 , G02B1/11 , Y02E10/40
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