公开(公告)号：TWI497195B

公开(公告)日：2015-08-21

申请号：TW099104810

申请日：2010-02-12

申请人： HOYA股份有限公司 ,  HOYA CORPORATION

发明人： 丸山修 ,  MARUYAMA, OSAMU ,  原田和明 ,  HARADA, KAZUAKI ,  赤川裕之 ,  AKAGAWA, HIROYUKI

IPC分类号： G03F1/60

CPC分类号： B24B9/065 ,  G03F1/60

公开(公告)号：TW201115264A

公开(公告)日：2011-05-01

申请号：TW099104810

申请日：2010-02-12

申请人： HOYA股份有限公司

发明人： 丸山修 ,  原田和明 ,  赤川裕之

IPC分类号： G03F

CPC分类号： B24B9/065 ,  G03F1/60

摘要： 本發明係提供一種光罩基底用基板、光罩基底及光罩，其係於以表裏2個主表面和4個端面所構成之薄板狀光罩基底用基板上，設置倒角面於端面與主表面之間。主表面係一邊之長度為500mm以上。又，於端面上，設置從鄰接之端面相接之角部沿主表面之邊方向特定長度(邊L4之長度)之範圍的區域之2個角部側區域，與夾於該2個角部側區域間之中央側區域。又，角部側區域之端面為表面粗度Ra為0.5nm以下之鏡面，中央側區域為粗面。

简体摘要： 本发明系提供一种光罩基底用基板、光罩基底及光罩，其系于以表里2个主表面和4个端面所构成之薄板状光罩基底用基板上，设置倒角面于端面与主表面之间。主表面系一边之长度为500mm以上。又，于端面上，设置从邻接之端面相接之角部沿主表面之边方向特定长度(边L4之长度)之范围的区域之2个角部侧区域，与夹于该2个角部侧区域间之中央侧区域。又，角部侧区域之端面为表面粗度Ra为0.5nm以下之镜面，中央侧区域为粗面。