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公开(公告)号：TWI588926B
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：TW103107437
申请日：2014-03-05
发明人： 吉田正寬 , YOSHIDA, MASAHIRO
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/00
CPC分类号： H01L21/67781 , H01L21/67265
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公开(公告)号：TWI585891B
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：TW104125108
申请日：2015-08-03
申请人： 斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人： 橋本光治 , HASHIMOTO, KOJI , 波多野章人 , HATANO, AKITO
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/02422 , B65G49/06 , B65G49/068 , C03C15/00 , C23C16/4581 , C23C16/4583 , H01L21/02 , H01L21/67265 , H01L21/67276 , H01L21/67383 , H01L21/67386 , H01L21/677 , H01L21/67763 , H01L21/67766 , H01L21/67772 , H01L21/67778 , H01L21/6779 , H01L27/1262 , H01L29/66757
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公开(公告)号：TWI566189B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：TW102121872
申请日：2013-06-20
申请人： 格羅方德半導體公司 , GLOBALFOUNDRIES US INC.
发明人： 優比 塞巴斯丁 , UEBE, SEBASTIAN , 吉內格 東尼 , GENENNCHER, TONY , 凱斯特 沃夫彼得 , KARST, WOLF-PETER
CPC分类号： G06K7/10544 , G06K7/00 , G06K7/10009 , H01L21/67265 , H01L21/67294
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公开(公告)号：TW201628805A
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：TW104116880
申请日：2015-05-26
发明人： 菅原潤一 , SUGAHARA, JUNICHI , 吉田雅也 , YOSHIDA, MASAYA
CPC分类号： B25J9/1697 , B25J11/0095 , B25J13/08 , B25J15/0616 , B25J19/021 , H01L21/67259 , H01L21/67265 , H01L21/67766 , H01L21/67778 , H01L21/68707
摘要： 本發明之目的在於可精度良好地檢測搬送對象之基板之上下方向之位置，且基於其檢測結果控制機器人動作。 該基板搬送機器人(1)具備：機械臂(4)，其具備具有保持基板(S)之基板保持機構之末端執行器(7)；用以驅動機械臂(4)之臂驅動機構(9、10、11)；用以升降驅動末端執行器(7)之升降驅動機構(8)；機器人控制機構(12)，其控制臂驅動機構(9、10、11)、升降驅動機構(8)及基板保持機構；及基板檢測機構(20)，其係檢測基板(S)之上下方向之位置者，且具有與末端執行器(7)之升降動作連動而升降之基板檢測感測器(20)。
简体摘要： 本发明之目的在于可精度良好地检测搬送对象之基板之上下方向之位置，且基于其检测结果控制机器人动作。 该基板搬送机器人(1)具备：机械臂(4)，其具备具有保持基板(S)之基板保持机构之末端运行器(7)；用以驱动机械臂(4)之臂驱动机构(9、10、11)；用以升降驱动末端运行器(7)之升降驱动机构(8)；机器人控制机构(12)，其控制臂驱动机构(9、10、11)、升降驱动机构(8)及基板保持机构；及基板检测机构(20)，其系检测基板(S)之上下方向之位置者，且具有与末端运行器(7)之升降动作连动而升降之基板检测传感器(20)。
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公开(公告)号：TWI538085B
公开(公告)日：2016-06-11
申请号：TW100128230
申请日：2011-08-08
发明人： 伊藤浩一 , ITOU, KOUICHI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67265
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公开(公告)号：TWI505389B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：TW100138328
申请日：2011-10-21
发明人： 梶原英樹 , KAJIWAWA, HIDEKI , 牧準之輔 , MAKI, JUNNOSUKE , 榎木田卓 , ENOKIDA, SUGURU
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67265 , H01L21/67742
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公开(公告)号：TWI496231B
公开(公告)日：2015-08-11
申请号：TW099139511
申请日：2010-11-17
发明人： 安田克己 , YASUDA, KATSUMI , 神垣敏雄 , KAMIGAKI, TOSHIO , 溝河巧 , MIZOKAWA, TAKUMI
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67265
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公开(公告)号：TW201523775A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：TW103123684
申请日：2014-07-09
申请人： 東芝股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人： 澀谷克則 , SHIBUYA, KATSUNORI , 井本孝志 , IMOTO, TAKASHI , 本間莊一 , HOMMA, SOICHI , 渡部武志 , WATANABE, TAKESHI , 高野勇佑 , TAKANO, YUUSUKE
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67265 , C23C14/54 , C23C14/56 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L23/552 , H01L2924/0002 , H01L2924/14 , H01L2924/00
摘要： 本發明提供一種能夠可靠性良好地進行電磁波屏蔽之半導體製造裝置。 半導體製造裝置(1)包括：上蓋，其於將搭載有應進行電磁波屏蔽之未屏蔽之半導體封裝體之托盤載置於搬送載具之狀態下，較半導體封裝體之上表面配置於更上方；及位移檢測部，其檢測半導體封裝體接觸到上蓋之下表面而將上蓋抬升至上方之異常。
简体摘要： 本发明提供一种能够可靠性良好地进行电磁波屏蔽之半导体制造设备。 半导体制造设备(1)包括：上盖，其于将搭载有应进行电磁波屏蔽之未屏蔽之半导体封装体之托盘载置于搬送载具之状态下，较半导体封装体之上表面配置于更上方；及位移检测部，其检测半导体封装体接触到上盖之下表面而将上盖抬升至上方之异常。
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公开(公告)号：TWI483339B
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW097121990
申请日：2008-06-12
申请人： 尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人： 田中稔久 , TANAKA, TOSHIHISA , 大根一泰 , OONE, KAZUYASU
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/67265
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公开(公告)号：TW201444655A
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：TW103105275
申请日：2014-02-18
发明人： 木村吉希 , KIMURA, YOSHIKI
IPC分类号： B25J13/06
CPC分类号： H01L21/67766 , B25J9/042 , B25J9/1679 , B25J13/08 , G05B2219/40087 , G05B2219/45031 , H01L21/67265 , H01L21/68707 , Y10S901/02 , Y10S901/46
摘要： [課題]即使基板搬運機械手臂的臂比較短的情況，也可以提供可將基板載置部中的基板的配置狀態檢出的基板搬運機械手臂。[技術內容]在此基板搬運機械手臂(13)中，控制部(133)，是在平面視中，在手臂部(131)對於與卡匣(30)的前面呈垂直方向的基板收納中心線(141)朝基板搬運機械手臂的繞轉中心(C1)側傾斜的狀態下，使藉由檢出部(150)檢出卡匣(30)內的基板(110)的配置狀態的方式構成。
简体摘要： [课题]即使基板搬运机械手臂的臂比较短的情况，也可以提供可将基板载置部中的基板的配置状态检出的基板搬运机械手臂。[技术内容]在此基板搬运机械手臂(13)中，控制部(133)，是在平面视中，在手臂部(131)对于与卡匣(30)的前面呈垂直方向的基板收纳中心线(141)朝基板搬运机械手臂的绕转中心(C1)侧倾斜的状态下，使借由检出部(150)检出卡匣(30)内的基板(110)的配置状态的方式构成。
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