公开(公告)号：TWI606541B

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：TW103139942

申请日：2014-11-18

申请人： 斯克林集團公司 ,  SCREEN HOLDINGS CO., LTD.

发明人： 岡田吉文 ,  OKADA, YOSHIFUMI

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  B25J9/16

CPC分类号： H01L21/67276 ,  G05B2219/32283 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67781 ,  Y02P90/20

公开(公告)号：TWI600106B

公开(公告)日：2017-09-21

申请号：TW101134747

申请日：2012-09-21

申请人： 東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 榎木田卓 ,  ENOKIDA, SUGURU ,  中原田雅弘 ,  NAKAHARADA, MASAHIRO ,  宮田亮 ,  MIYATA, AKIRA ,  木山秀和 ,  KIYAMA, HIDEKAZU ,  飯田成昭 ,  IIDA, NARUAKI

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67178 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/139

公开(公告)号：TW201718202A

公开(公告)日：2017-06-01

申请号：TW105127989

申请日：2016-08-31

申请人： 川崎重工業股份有限公司 ,  KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA ,  川崎機器人(美國)股份有限公司 ,  KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC.

发明人： 後藤 博彥 ,  GOTO, HIROHIKO ,  譚 馬克 ,  TANG, MARK ,  張 艾力克 ,  CHAN, ERIC ,  小野 茂樹 ,  ONO, SHIGEKI ,  北野 真也 ,  KITANO, SHINYA ,  曾 明 ,  ZENG, MING

IPC分类号： B25J9/18 ,  B65G43/08 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/68707 ,  B25J9/042 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67781

摘要： 基板搬送機器人(1)之控制機構(12)係使機器手臂(4)及基板保持裝置(7)實施掌片構件進入動作、基板接收動作、及基板載置動作。基板保持裝置(7)構成為可切換第1運轉狀態與第2運轉狀態，該第1運轉狀態係將一對掌片構件(25、26)配置於上下方向者，該第2運轉狀態係將一對掌片構件(25、26)配置於自上下方向偏離之位置、且將單一之掌片構件設為可進入至基板載置構造者。無論基板載置構造之種類為何，均可縮短基板搬送時之作業時間。

简体摘要： 基板搬送机器人(1)之控制机构(12)系使机器手臂(4)及基板保持设备(7)实施掌片构件进入动作、基板接收动作、及基板载置动作。基板保持设备(7)构成为可切换第1运转状态与第2运转状态，该第1运转状态系将一对掌片构件(25、26)配置于上下方向者，该第2运转状态系将一对掌片构件(25、26)配置于自上下方向偏离之位置、且将单一之掌片构件设为可进入至基板载置构造者。无论基板载置构造之种类为何，均可缩短基板搬送时之作业时间。

公开(公告)号：TWI579121B

公开(公告)日：2017-04-21

申请号：TW103144467

申请日：2014-12-19

申请人： 川崎重工業股份有限公司 ,  KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA

发明人： 福島崇行 ,  FUKUSHIMA, TAKAYUKI ,  金丸亮介 ,  KANAMARU, RYOSUKE ,  宮川大輝 ,  MIYAGAWA, DAIKI

IPC分类号： B25J19/02 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/67766 ,  B25J19/021 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68771

公开(公告)号：TWI571314B

公开(公告)日：2017-02-21

申请号：TW101107001

申请日：2012-03-02

申请人： 東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

发明人： 小山勝彥 ,  OYAMA, KATSUHIKO ,  竹內靖 ,  TAKAEUCHI, YASUSHI

IPC分类号： B05C13/00 ,  C23C16/44

CPC分类号： H01L21/67742 ,  C23C16/4583 ,  H01L21/67303 ,  H01L21/67309 ,  H01L21/67757 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

公开(公告)号：TW201700239A

公开(公告)日：2017-01-01

申请号：TW105106575

申请日：2016-03-03

申请人： 川崎重工業股份有限公司 ,  KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA

发明人： 後藤博彦 ,  GOTO, HIROHIKO

IPC分类号： B25J15/02 ,  B25J9/18

CPC分类号： H01L21/67742 ,  B25J9/042 ,  B25J11/0095 ,  B25J15/0052 ,  B25J18/04 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/687 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68742

摘要： 本發明提供一種無論基板保持裝置之基板固定方式之種類為何，均可縮短基板搬送時之作業時間之基板搬送機器人。 控制機構(12)係使機器人臂(4)及基板保持裝置(7)實施如下動作：掌片構件進入動作，其使一對掌片構件(25、26)進入至基板載置構造；基板接收動作，其將載置於基板載置構造之上段之基板以處於基板非保持狀態之掌片構件(25)接收；及基板載置動作，其將處於基板保持狀態之掌片構件(26)之基板載置於下段。將藉由基板接收動作接收基板之時序、與藉由基板載置動作載置基板之時序錯開。

简体摘要： 本发明提供一种无论基板保持设备之基板固定方式之种类为何，均可缩短基板搬送时之作业时间之基板搬送机器人。 控制机构(12)系使机器人臂(4)及基板保持设备(7)实施如下动作：掌片构件进入动作，其使一对掌片构件(25、26)进入至基板载置构造；基板接收动作，其将载置于基板载置构造之上段之基板以处于基板非保持状态之掌片构件(25)接收；及基板载置动作，其将处于基板保持状态之掌片构件(26)之基板载置于下段。将借由基板接收动作接收基板之时序、与借由基板载置动作载置基板之时序错开。

公开(公告)号：TW201635368A

公开(公告)日：2016-10-01

申请号：TW105118166

申请日：2003-11-14

申请人： 荏原製作所股份有限公司 ,  EBARA CORPORATION

发明人： 勝岡誠司 ,  KATSUOKA, SEIJI ,  關本雅彥 ,  SEKIMOTO, MASAHIKO ,  橫山俊夫 ,  YOKOYAMA, TOSHIO ,  渡邊輝行 ,  WATANABE, TERUYUKI ,  小川貴弘 ,  OGAWA, TAKAHIRO ,  小林賢一 ,  KOBAYASHI, KENICHI ,  宮崎充 ,  MIYAZAKI, MITSURU ,  本島靖之 ,  MOTOSHIIMA, YASUYUKI ,  尾渡晃 ,  OWATARI, AKIRA ,  大直樹 ,  DAI, NAOKI

IPC分类号： H01L21/304

CPC分类号： H01L21/67161 ,  C23C18/1628 ,  C23C18/1893 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/08 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/6723 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68721 ,  Y10S134/902 ,  Y10T279/11

摘要： 本發明係關於一種適用於對基板進行鍍覆處理、將基板浸漬於處理液以進行處理之基板處理裝置。本發明之處理裝置係具有：用於進行基板之取出放入之裝載-卸載區；用以清洗基板之清洗區；用以進行基板之鍍覆處理之鍍覆處理區；而在前述裝載-卸載區則設置有：具有複數個乾式機械手之載運基板機器人；用以搭載基板匣之裝載口；將基板由面朝上切換為面朝下之乾式反轉機。

简体摘要： 本发明系关于一种适用于对基板进行镀覆处理、将基板浸渍于处理液以进行处理之基板处理设备。本发明之处理设备系具有：用于进行基板之取出放入之装载-卸载区；用以清洗基板之清洗区；用以进行基板之镀覆处理之镀覆处理区；而在前述装载-卸载区则设置有：具有复数个干式机械手之载运基板机器人；用以搭载基板匣之装载口；将基板由面朝上切换为面朝下之干式反转机。

公开(公告)号：TW201536635A

公开(公告)日：2015-10-01

申请号：TW103135628

申请日：2014-10-15

申请人： GT晶體系統有限公司 ,  GT CRYSTAL SYSTEMS, LLC

发明人： 瓦拉寇爾特 凱絲R ,  VAILLANCOURT, KEITH R. ,  道格拉斯 葛蘭恩T ,  DOUGLAS, GLENN T.

IPC分类号： B65B69/00

CPC分类号： H01L21/67781

摘要： 根據本案揭露的實施例，一例示性系統包括：匣接收部件，組構成接收產品匣；以及產品接收部件，組構成從該產品匣接收產品，該產品接收部件具有底部支撐以支撐該產品的重力，以及具有後部支撐以中止該產品的接收並防止該產品從該產品接收部件跑出。該系統更包括推動器組件，組構成推動接合該產品至該匣外部，到該產品接收部件上。

简体摘要： 根据本案揭露的实施例，一例示性系统包括：匣接收部件，组构成接收产品匣；以及产品接收部件，组构成从该产品匣接收产品，该产品接收部件具有底部支撑以支撑该产品的重力，以及具有后部支撑以中止该产品的接收并防止该产品从该产品接收部件跑出。该系统更包括推动器组件，组构成推动接合该产品至该匣外部，到该产品接收部件上。

公开(公告)号：TW201532764A

公开(公告)日：2015-09-01

申请号：TW103144467

申请日：2014-12-19

申请人： 川崎重工業股份有限公司 ,  KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA

发明人： 福島崇行 ,  FUKUSHIMA, TAKAYUKI ,  金丸亮介 ,  KANAMARU, RYOSUKE ,  宮川大輝 ,  MIYAGAWA, DAIKI

IPC分类号： B25J19/02 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/67766 ,  B25J19/021 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68771

摘要： 末端效應器裝置(1)具備：機械手(3)；複數個保持部(4A)(4B)，其設置於機械手(3)，並且以使複數片半導體晶圓(9)為水平姿勢且上下彼此隔開間隔地配置之方式而保持複數片半導體晶圓(9)；一個檢測器，其以如下方式構成，即自上下方向觀察，配置於複數片半導體晶圓(9)之外側，且能夠逐片地於與半導體晶圓(9)的周緣部相對向之狀態下檢測半導體晶圓(9)之存在；以及檢測器移動機構(6)，其以使上述一個檢測器與全部的半導體晶圓(9)的周緣部相對向之方式，使上述一個檢測器相對於複數片半導體晶圓(9)而沿著上下方向移動。

简体摘要： 末端效应器设备(1)具备：机械手(3)；复数个保持部(4A)(4B)，其设置于机械手(3)，并且以使复数片半导体晶圆(9)为水平姿势且上下彼此隔开间隔地配置之方式而保持复数片半导体晶圆(9)；一个检测器，其以如下方式构成，即自上下方向观察，配置于复数片半导体晶圆(9)之外侧，且能够逐片地于与半导体晶圆(9)的周缘部相对向之状态下检测半导体晶圆(9)之存在；以及检测器移动机构(6)，其以使上述一个检测器与全部的半导体晶圆(9)的周缘部相对向之方式，使上述一个检测器相对于复数片半导体晶圆(9)而沿着上下方向移动。

公开(公告)号：TWI462185B

公开(公告)日：2014-11-21

申请号：TW101101899

申请日：2012-01-18

申请人： 日立國際電氣股份有限公司 ,  HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.

发明人： 坂田雅和 ,  SAKATA, MASAKAZU ,  野內英博 ,  YANAI, HIDEHIRO

IPC分类号： H01L21/324 ,  H01L21/683

CPC分类号： H01L21/02104 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/6875