公开(公告)号：TW201601228A

公开(公告)日：2016-01-01

申请号：TW104107673

申请日：2015-03-11

申请人： 新川股份有限公司 ,  SHINKAWA LTD.

发明人： 坂本光輝 ,  SAKAMOTO, MITSUTERU ,  久保晶義 ,  KUBO, MASAYOSHI

IPC分类号： H01L21/60 ,  H01L21/67

CPC分类号： H01L24/75 ,  H01L24/16 ,  H01L24/32 ,  H01L24/48 ,  H01L24/78 ,  H01L24/81 ,  H01L24/83 ,  H01L24/85 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/16245 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48245 ,  H01L2224/751 ,  H01L2224/75251 ,  H01L2224/75305 ,  H01L2224/7531 ,  H01L2224/75651 ,  H01L2224/75702 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/75824 ,  H01L2224/759 ,  H01L2224/781 ,  H01L2224/78251 ,  H01L2224/78304 ,  H01L2224/78307 ,  H01L2224/78651 ,  H01L2224/78702 ,  H01L2224/78753 ,  H01L2224/78824 ,  H01L2224/789 ,  H01L2224/81065 ,  H01L2224/81075 ,  H01L2224/81093 ,  H01L2224/83065 ,  H01L2224/83075 ,  H01L2224/83093 ,  H01L2224/85065 ,  H01L2224/85075 ,  H01L2224/85093 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

摘要： 本實施方式的接合裝置包括：第1送風機部(11h)，以自形成於搬送部(20)的接合用開口(26)橫穿用以辨識接合對象的攝影空間(VS)的方式形成第1氣體流(D1)；及第2送風機部(12h)，沿攝影空間形成第2氣體流(D2)。第2送風機部(12h)以抑制周圍氣體(G2)被第1氣體流(D1)捲入至攝影空間(VS)的方式，利用第2氣體流(D2)形成障壁。藉此，可抑制因對基板或引線架等接合對象物進行加熱而產生的熱浪的影響。

简体摘要： 本实施方式的接合设备包括：第1送风机部(11h)，以自形成于搬送部(20)的接合用开口(26)横穿用以辨识接合对象的摄影空间(VS)的方式形成第1气体流(D1)；及第2送风机部(12h)，沿摄影空间形成第2气体流(D2)。第2送风机部(12h)以抑制周围气体(G2)被第1气体流(D1)卷入至摄影空间(VS)的方式，利用第2气体流(D2)形成障壁。借此，可抑制因对基板或引线架等接合对象物进行加热而产生的热浪的影响。

公开(公告)号：TWI562253B

公开(公告)日：2016-12-11

申请号：TW104107673

申请日：2015-03-11

申请人： 新川股份有限公司 ,  SHINKAWA LTD.

发明人： 坂本光輝 ,  SAKAMOTO, MITSUTERU ,  久保晶義 ,  KUBO, MASAYOSHI

IPC分类号： H01L21/60 ,  H01L21/67

CPC分类号： H01L24/75 ,  H01L24/16 ,  H01L24/32 ,  H01L24/48 ,  H01L24/78 ,  H01L24/81 ,  H01L24/83 ,  H01L24/85 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/16245 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48245 ,  H01L2224/751 ,  H01L2224/75251 ,  H01L2224/75305 ,  H01L2224/7531 ,  H01L2224/75651 ,  H01L2224/75702 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/75824 ,  H01L2224/759 ,  H01L2224/781 ,  H01L2224/78251 ,  H01L2224/78304 ,  H01L2224/78307 ,  H01L2224/78651 ,  H01L2224/78702 ,  H01L2224/78753 ,  H01L2224/78824 ,  H01L2224/789 ,  H01L2224/81065 ,  H01L2224/81075 ,  H01L2224/81093 ,  H01L2224/83065 ,  H01L2224/83075 ,  H01L2224/83093 ,  H01L2224/85065 ,  H01L2224/85075 ,  H01L2224/85093 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207