公开(公告)号：US20080244158A1

公开(公告)日：2008-10-02

申请号：US12033549

申请日：2008-02-19

申请人： Terunobu FUNATSU ,  Yoshihisa OSAKA ,  Hitoshi IKEGAMI

发明人： Terunobu FUNATSU ,  Yoshihisa OSAKA ,  Hitoshi IKEGAMI

IPC分类号： G06F12/00

CPC分类号： G06F12/0804 ,  G09G5/36 ,  G09G5/393 ,  G09G2340/02 ,  G09G2360/121

摘要： A drawing apparatus which can create an exposure pattern rapidly. The drawing apparatus has a raster conversion processing module for converting vector images as wiring patterns into bitmap image data, an image cache module for temporarily storing a predetermined-size cached image supplied from the raster conversion processing module, a first compression module for compressing the cached image stored in the image cache module, a second compression module for compressing the cached image stored in the image cache module in a compression ratio differing from that of the first compression module, a comparison module for comparing data sizes of compressed data generated by the first and second compression modules and selecting one having a smaller data size, a memory access module for writing the compressed data selected by the comparison module, into a storage module, and a cache region control module for controlling a compression status of the cached image.

摘要翻译： 可以快速创建曝光图案的绘图装置。 绘图装置具有用于将作为布线图案的矢量图像转换为位图图像数据的光栅转换处理模块，用于临时存储从光栅转换处理模块提供的预定大小的缓存图像的图像高速缓存模块，用于压缩缓存的第一压缩模块 存储在图像缓存模块中的图像，用于以与第一压缩模块不同的压缩比压缩存储在图像缓存模块中的高速缓存图像的第二压缩模块，用于比较由第一压缩模块生成的压缩数据的数据大小的比较模块 和第二压缩模块，并且选择具有较小数据大小的存储器访问模块，用于将由比较模块选择的压缩数据写入存储模块的存储器访问模块，以及用于控制缓存图像的压缩状态的高速缓存区域控制模块。

公开(公告)号：US08175402B2

公开(公告)日：2012-05-08

申请号：US12033549

申请日：2008-02-19

申请人： Terunobu Funatsu ,  Yoshihisa Osaka ,  Hitoshi Ikegami

发明人： Terunobu Funatsu ,  Yoshihisa Osaka ,  Hitoshi Ikegami

IPC分类号： G06K9/46

CPC分类号： G06F12/0804 ,  G09G5/36 ,  G09G5/393 ,  G09G2340/02 ,  G09G2360/121

摘要： A drawing apparatus which can create an exposure pattern rapidly. The drawing apparatus has a raster conversion processing module for converting vector images as wiring patterns into bitmap image data, an image cache module for temporarily storing a predetermined-size cached image supplied from the raster conversion processing module, a first compression module for compressing the cached image stored in the image cache module, a second compression module for compressing the cached image stored in the image cache module in a compression ratio differing from that of the first compression module, a comparison module for comparing data sizes of compressed data generated by the first and second compression modules and selecting one having a smaller data size, a memory access module for writing the compressed data selected by the comparison module, into a storage module, and a cache region control module for controlling a compression status of the cached image.

摘要翻译： 可以快速创建曝光图案的绘图装置。 绘图装置具有用于将作为布线图案的矢量图像转换为位图图像数据的光栅转换处理模块，用于临时存储从光栅转换处理模块提供的预定大小的缓存图像的图像高速缓存模块，用于压缩缓存的第一压缩模块 存储在图像缓存模块中的图像，用于以与第一压缩模块不同的压缩比压缩存储在图像缓存模块中的高速缓存图像的第二压缩模块，用于比较由第一压缩模块生成的压缩数据的数据大小的比较模块 和第二压缩模块，并且选择具有较小数据大小的存储器访问模块，用于将由比较模块选择的压缩数据写入存储模块的存储器访问模块，以及用于控制缓存图像的压缩状态的高速缓存区域控制模块。

公开(公告)号：US20050219493A1

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：US10506540

申请日：2003-07-02

申请人： Yoshitada Oshida ,  Shigenobu Maruyama ,  Kazuo Kobayashi ,  Yoshihisa Osaka

发明人： Yoshitada Oshida ,  Shigenobu Maruyama ,  Kazuo Kobayashi ,  Yoshihisa Osaka

IPC分类号： G02B3/00 ,  G02B19/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70075 ,  G02B3/005 ,  G02B3/0062 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0057 ,  G03F7/7005

摘要： The present invention provides a light exposure apparatus, and its method, comprising: an illumination optical system including: a light source array formed of a plural separate light sources arranged one-dimensionally or two-dimensionally; condensing optical system for condensing light emitted from each light source of the light source array; a light integrator for spatially decomposing the light condensed by the condensing optics, and thus generating a multitude of pseudo-secondary light sources; and a condenser lens for overlapping the light rays emitted from the multitude of pseudo-secondary light sources generated by the light integrator, and thus illuminating an illumination target region having a pattern to be exposed; and a projection optical system for projecting transmitted or reflected light onto an exposure target region of an exposure target object in order to expose the pattern to be exposed that is illuminated by the illumination optical system.

摘要翻译： 本发明提供一种曝光装置及其方法，包括：照明光学系统，包括：由一维或二维排列的多个单独的光源形成的光源阵列; 聚光光学系统，用于聚集从光源阵列的每个光源发射的光; 光积分器，用于空间分解由聚光光学器件聚光的光，从而产生大量的伪二次光源; 以及聚光透镜，用于将由光积分器产生的多个伪二次光源发射的光线重叠，从而照射具有待曝光图案的照明目标区域; 以及投影光学系统，用于将透射或反射的光投射到曝光目标物体的曝光目标区域上，以暴露由照明光学系统照射的待曝光图案。