公开(公告)号：US20110108932A1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：US11793853

申请日：2005-11-04

申请人： Hubert Benzel ,  Stefan Finkbeiner ,  Frank Fischer ,  Helmut Baumann ,  Lars Metzger ,  Roland Scheuerer ,  Peter Brauchle ,  Andreas Feustel ,  Matthias Neubauer

发明人： Hubert Benzel ,  Stefan Finkbeiner ,  Frank Fischer ,  Helmut Baumann ,  Lars Metzger ,  Roland Scheuerer ,  Peter Brauchle ,  Andreas Feustel ,  Matthias Neubauer

IPC分类号： H01L29/84 ,  H01L21/02

CPC分类号： G01L9/0073

摘要： A manufacturing method for producing a micromechanical sensor element which may be produced in a monolithically integrable design and has capacitive detection of a physical quantity is described. In addition to the manufacturing method, a micromechanical device containing such. a sensor element, e.g., a pressure sensor or an acceleration sensor, is described.

摘要翻译： 描述了可以以单片可集成设计制造并具有物理量的电容检测的微机械传感器元件的制造方法。 除了制造方法之外，还含有这样的微机械装置。 描述了传感器元件，例如压力传感器或加速度传感器。