公开(公告)号：US20150104360A1

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：US14573872

申请日：2014-12-17

Applicant: Intermolecular, Inc.

Inventor： Zachary Fresco ,  Rich Endo

IPC: B01J19/00 ,  H01L21/67

CPC classification number: B01J19/0053 ,  B01J2219/00353 ,  B01J2219/00418 ,  B01J2219/00495 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708

Abstract: A reactor assembly having a plurality of reaction chambers defined therein is provided. The reactor assembly includes a fluid flow module that provides a pressurized control flow of fluid from an open container. In another embodiment, the reactor block includes a plurality of passageways defined over a surface of a substrate to accommodate the combinatorial processing in order to obtain multiple data points from a single substrate.

Abstract translation: 提供了具有限定在其中的多个反应室的反应器组件。 反应器组件包括流体流动模块，其提供来自开放容器的流体的加压控制流。 在另一个实施例中，反应器块包括限定在衬底的表面上的多个通道，以适应组合处理，以便从单个衬底获得多个数据点。