公开(公告)号：US07888415B2

公开(公告)日：2011-02-15

申请号：US12699909

申请日：2010-02-04

申请人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  John Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

发明人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  John Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

IPC分类号： C08F4/44

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to faun a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷烃的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US20100177488A1

公开(公告)日：2010-07-15

申请号：US12699909

申请日：2010-02-04

申请人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  Xiaoming Wu ,  John-Henry Lipian

发明人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  Xiaoming Wu ,  John-Henry Lipian

IPC分类号： H05K7/02 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  C08F232/08 ,  C08F4/72

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to faun a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷烃的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US07863394B2

公开(公告)日：2011-01-04

申请号：US11517538

申请日：2006-09-07

申请人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

发明人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

IPC分类号： C08F4/70 ,  C08F10/14

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to form a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷烃的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US07674847B2

公开(公告)日：2010-03-09

申请号：US10782547

申请日：2004-02-19

申请人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennet ,  Chung Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

发明人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennet ,  Chung Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

IPC分类号： C08F4/44

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to form a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷烃的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US20070066775A1

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：US11517538

申请日：2006-09-07

申请人： Larry Rhodes ,  Dennis Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian Bennett ,  Chun Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

发明人： Larry Rhodes ,  Dennis Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian Bennett ,  Chun Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

IPC分类号： C08F4/80

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to form a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷基的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US06232417B1

公开(公告)日：2001-05-15

申请号：US08928573

申请日：1997-09-12

申请人： Larry F Rhodes ,  Andrew Bell ,  Saikumar Jayaraman ,  John-Henry Lipian ,  Brian L. Goodall ,  Robert A. Shick

发明人： Larry F Rhodes ,  Andrew Bell ,  Saikumar Jayaraman ,  John-Henry Lipian ,  Brian L. Goodall ,  Robert A. Shick

IPC分类号： C08F480

CPC分类号： G03F7/0045 ,  C08G61/08 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  Y10S430/109 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/115

摘要： The present invention relates to a radiation sensitive photoresist composition comprising a photoacid initiator and a polycyclic polymer comprising repeating units that contain pendant acid labile groups. Upon exposure to an imaging radiation source the photoacid initiator generates an acid which cleaves the pendant acid labile groups effecting a polarity change in the polymer. The polymer is rendered soluble in an aqueous base in the areas exposed to the imaging source. The polymer repeating units are polymerized from polycyclic monomers in the presence of single or multicomponent catalyst systems containing a Group VIII metal

摘要翻译： 本发明涉及包含光酸引发剂和包含含有酸不稳定基团的重复单元的多环聚合物的辐射敏感性光致抗蚀剂组合物。 在暴露于成像辐射源时，光酸引发剂产生酸，该酸切割引起聚合物极性变化的侧链酸不稳定基团。 聚合物在暴露于成像源的区域中变得可溶于碱性水溶液。 聚合物重复单元在含有VIII族金属的单组分或多组分催化剂体系存在下由多环单体聚合

公开(公告)号：US06455650B1

公开(公告)日：2002-09-24

申请号：US09412935

申请日：1999-10-05

申请人： John-Henry Lipian ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  Andrew Bell ,  Richard A. Mimna ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  April D. Hennis ,  Christine N. Elia ,  Jennifer D. Polley ,  Ayusman Sen

发明人： John-Henry Lipian ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  Andrew Bell ,  Richard A. Mimna ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  April D. Hennis ,  Christine N. Elia ,  Jennifer D. Polley ,  Ayusman Sen

IPC分类号： C08F480

CPC分类号： C08F32/08 ,  C08F32/00 ,  Y02P20/582

摘要： Methods for the addition polymerization of cycloolefins using a cationic Group 10 metal complex and a weakly coordinating anion of the formula: [(R′)zM(L′)x(L″)y]b[WCA]d wherein [(R′)zM(L′)x(L″)y] is a cation complex where M represents a Group 10 transition metal; R′ represents an anionic hydrocarbyl containing ligand; L′ represents a Group 15 neutral electron donor ligand; L″ represents a labile neutral electron donor ligand; x is 1 or 2; and y is 0, 1, 2, or 3; and z is 0 or 1, wherein the sum of x, y, and z is 4; and [WCA] represents a weakly coordinating counteranion complex; and b and d are numbers representing the number of times the cation complex and weakly coordinating counteranion complex are taken to balance the electronic charge on the overall catalyst complex.

摘要翻译： 使用阳离子10族金属络合物和下式的弱配位阴离子进行环烯加成聚合的方法：其中[（R'）z M（L'）x（L“）y]是阳离子络合物，其中M表示 第10组过渡金属; R'表示含阴离子烃基的配体; L'表示15族中性电子给体配体; L“表示不稳定的中性电子给体配体; x为1或2; y为0,1,2或3; 且z为0或1，其中x，y和z之和为4; 和[WCA]代表弱协调的对抗综合体; b和d是表示阳离子络合物和弱配位抗衡阴离子络合物在总体催化剂络合物上平衡电荷的次数的数字。

公开(公告)号：US06936672B2

公开(公告)日：2005-08-30

申请号：US09921051

申请日：2001-08-02

申请人： Andrew Bell ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  John C. Fondran ,  Lester H. Mclntosh, III ,  Dennis A. Barnes

发明人： Andrew Bell ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  John C. Fondran ,  Lester H. Mclntosh, III ,  Dennis A. Barnes

IPC分类号： B29C45/00 ,  B29K45/00 ,  C08F4/70 ,  C08F4/80 ,  C08F32/00 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  C08F4/44 ,  C08F132/08

CPC分类号： C08F232/08 ,  C08F32/00 ,  C08F232/00

摘要： A catalyst system and a process for the bulk addition polymerization or of polycyclic olefins, such as norbornene, methylnorbornene, ethylnorbornene, butylnorbornene or hexylnorbornene, 1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydro-1,4:5,8-dimethanonapthalene, 5,5′-(1,2-ethanediyl)bisbicyclo[2.2.1]hept-2-ene, and 1,4,4a,4b,5,8,8a,8b-octahydro-1,4:5,8-dimethanobiphenylene are disclosed. The catalyst includes an organonickel or organopalladium transition metal procatalyst and an activator compound. Polymerization can be carried out in a reaction injection molding process to yield thermoplastic and thermoset molded polymeric articles possessing high glass transition temperatures.

摘要翻译： 催化剂体系和本体加成聚合方法或降冰片烯，甲基降冰片烯，乙基降冰片烯，丁基降冰片烯或己基降冰片烯等多环烯烃，1,2,3,4,4a，5,8,8a-八氢-1,4： 5,8-二甲基萘，5,5' - （1,2-乙二基）双双环[2.2.1]庚-2-烯和1,4,4a，4b，5,8,8a，8b-八氢-1 ，4：5,8-二甲基亚二苯基。 催化剂包括有机金属或有机钯过渡金属前催化剂和活化剂化合物。 可以在反应注射成型工艺中进行聚合以产生具有高玻璃化转变温度的热塑性和热固性模塑聚合物制品。

公开(公告)号：US20080194740A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：US11949328

申请日：2007-12-03

申请人： Edmund Elce ,  Andrew Bell ,  Brian Knapp ,  Hendra Ng ,  Larry F. Rhodes ,  Robert Shick ,  Wei Zhang ,  William DiMenna ,  Saikumar Jayaraman ,  Jianyong Jin ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Xiaoming Wu ,  Etsu Takeuchi

发明人： Edmund Elce ,  Andrew Bell ,  Brian Knapp ,  Hendra Ng ,  Larry F. Rhodes ,  Robert Shick ,  Wei Zhang ,  William DiMenna ,  Saikumar Jayaraman ,  Jianyong Jin ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Xiaoming Wu ,  Etsu Takeuchi

IPC分类号： C08K5/45 ,  C08G73/00 ,  C08K5/1545

CPC分类号： C08G61/04 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0388

摘要： A polymer includes a first type of repeat unit represented by Formula I: where X is selected from —CH2—, —CH2—CH2—, or —O—; m is an integer from 0 to about 5; and where for the first type of repeat unit one of R1, R2, R3, and R4 is one of a maleimide containing group and for the second type of repeat unit one of R1, R2, R3, and R4 is a hindered aromatic group, a C8 or greater alkyl group, a C4 or greater halohydrocarbyl or perhalocarbyl group, a C7 or greater aralkyl group, or a heteroatom hydrocarbyl or halohydrocarbyl group.

摘要翻译： 聚合物包括由式I表示的第一类型的重复单元：其中X选自-CH 2 - ， - CH 2 -CH 2 > - 或-O-; m是0至约5的整数; 并且对于第一类型的重复单元，R 1，R 2，R 3和R 4中的一个，R 4， >是含有马来酰亚胺的基团之一，对于第二类型的重复单元，R 1，R 2，R 3和R 3中的一个，R 3，R 3， 受阻芳族基团，C 8或更高级烷基，C 4或更大的卤代烃基或全卤代羰基，C _{7个或更大的芳烷基，或杂原子烃基或卤代烃基。}

公开(公告)号：US08053515B2

公开(公告)日：2011-11-08

申请号：US11949328

申请日：2007-12-03

申请人： Edmund Elce ,  Andrew Bell ,  Brian Knapp ,  Hendra Ng ,  Larry F. Rhodes ,  Robert Shick ,  Wei Zhang ,  William DiMenna ,  Saikumar Jayaraman ,  Jianyong Jin ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Xiaoming Wu ,  Etsu Takeuchi

发明人： Edmund Elce ,  Andrew Bell ,  Brian Knapp ,  Hendra Ng ,  Larry F. Rhodes ,  Robert Shick ,  Wei Zhang ,  William DiMenna ,  Saikumar Jayaraman ,  Jianyong Jin ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Xiaoming Wu ,  Etsu Takeuchi

IPC分类号： C08G63/60

CPC分类号： C08G61/04 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0388

摘要： A polymer includes a first type of repeat unit represented by Formula I: where X is selected from —CH2—, —CH2—CH2—, or —O—; m is an integer from 0 to about 5; and where for the first type of repeat unit one of R1, R2, R3, and R4 is one of a maleimide containing group and for the second type of repeat unit one of R1, R2, R3, and R4 is a hindered aromatic group, a C8 or greater alkyl group, a C4 or greater halohydrocarbyl or perhalocarbyl group, a C7 or greater aralkyl group, or a heteroatom hydrocarbyl or halohydrocarbyl group.

摘要翻译： 聚合物包括由式I表示的第一类型的重复单元：其中X选自-CH 2 - ， - CH 2 -CH 2 - 或-O-; m是0至约5的整数; 并且对于第一类型的重复单元，R 1，R 2，R 3和R 4中的一个是含马来酰亚胺基团之一，并且对于第二类型的重复单元，R 1，R 2，R 3和R 4中的一个是受阻芳族基团， C8或更大的烷基，C4或更大的卤代烃基或全卤代羰基，C7或更高的芳烷基或杂原子烃基或卤代烃基。