公开(公告)号：US20070066775A1

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：US11517538

申请日：2006-09-07

申请人： Larry Rhodes ,  Dennis Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian Bennett ,  Chun Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

发明人： Larry Rhodes ,  Dennis Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian Bennett ,  Chun Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

IPC分类号： C08F4/80

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to form a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷基的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US07888415B2

公开(公告)日：2011-02-15

申请号：US12699909

申请日：2010-02-04

申请人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  John Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

发明人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  John Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

IPC分类号： C08F4/44

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to faun a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷烃的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US20100177488A1

公开(公告)日：2010-07-15

申请号：US12699909

申请日：2010-02-04

申请人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  Xiaoming Wu ,  John-Henry Lipian

发明人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  Xiaoming Wu ,  John-Henry Lipian

IPC分类号： H05K7/02 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  C08F232/08 ,  C08F4/72

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to faun a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷烃的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US07863394B2

公开(公告)日：2011-01-04

申请号：US11517538

申请日：2006-09-07

申请人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

发明人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennett ,  Chun Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

IPC分类号： C08F4/70 ,  C08F10/14

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to form a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷烃的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US07674847B2

公开(公告)日：2010-03-09

申请号：US10782547

申请日：2004-02-19

申请人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennet ,  Chung Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

发明人： Larry F. Rhodes ,  Dennis A. Barnes ,  Andrew Bell ,  Brian K. Bennet ,  Chung Chang ,  John-Henry Lipian ,  Xiaoming Wu

IPC分类号： C08F4/44

CPC分类号： C08F2/38 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  Y10S526/905

摘要： A method of polymerizing poly(cyclic)olefin monomers encompassing (a) combining a monomer composition containing the poly(cyclic)olefin monomers, a non-olefinic chain transfer agent and an activator compound to form a mixture; (b) heating the mixture; and (c) adding a polymerization catalyst containing Ni and/or Pd. The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. The activator is characterized as having an active hydrogen with a pKa of at least 5. The resulting poly(cyclic)olefin polymers can be used in photoresist compositions.

摘要翻译： 聚合聚（环状）烯烃单体的方法包括（a）将含有聚（环状）烯烃单体，非烯烃链转移剂和活化剂化合物的单体组合物混合以形成混合物; （b）加热混合物; 和（c）加入含有Ni和/或Pd的聚合催化剂。 非烯烃链转移剂包括一种或多种选自H 2，烷基硅烷，烷基烷氧基硅烷，烷基锗烷，烷基烷氧基锗烷，烷基锡烷和烷基烷氧基烷烃的化合物。 活化剂的特征在于具有pKa至少为5的活性氢。所得聚（环状）烯烃聚合物可用于光致抗蚀剂组合物中。

公开(公告)号：US06903171B2

公开(公告)日：2005-06-07

申请号：US10271393

申请日：2002-10-15

申请人： Larry Funderburk Rhodes ,  Andrew Bell ,  Ramakrishna Ravikiran ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  Brian Leslie Goodall ,  Richard A. Mimna ,  John-Henry Lipian

发明人： Larry Funderburk Rhodes ,  Andrew Bell ,  Ramakrishna Ravikiran ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  Brian Leslie Goodall ,  Richard A. Mimna ,  John-Henry Lipian

IPC分类号： C08F4/70 ,  C08F32/00 ,  C08F32/08 ,  C08G61/06 ,  G02B1/04 ,  C08F4/80

CPC分类号： C08G61/06 ,  C08F32/00 ,  C08F32/08 ,  G02B1/04 ,  C08L65/00

摘要： Methods for the addition polymerization of cycloolefins using a cationic Group 10 metal complex and a weakly coordinating anion of the formula: [(R′)zM(L′)x(L″)y]b[WCA]d wherein [(R′)zM(L′)x(L″)y] is a cation complex where M represents a Group 10 transition metal; R′ represents an anionic hydrocarbyl containing ligand; L′ represents a Group 15 neutral electron donor ligand; L″ represents a labile neutral electron donor ligand; x is 1 or 2; and y is 0, 1, 2, or 3; and z is 0 or 1, wherein the sum of x, y, and z is 4; and [WCA] represents a weakly coordinating counteranion complex; and b and d are numbers representing the number of times the cation complex and weakly coordinating counteranion complex are taken to balance the electronic charge on the overall catalyst complex.

摘要翻译： 使用阳离子第10族金属络合物和下式的弱配位阴离子加成聚合环烯的方法：<？in-line-formula description =“In-line formula”end =“lead”？> [（R' M（L'）x（L“）Y'B <？in-line-formula description =“In-line Formulas”end =“tail”？>其中[（R'）Z M（L'）x < （L“）Y是阳离子络合物，其中M表示第10族过渡金属; R'表示含阴离子烃基的配体; L'表示15族中性电子给体配体; L“表示不稳定的中性电子给体配体; x为1或2; y为0,1,2或3; 且z为0或1，其中x，y和z之和为4; 和[WCA]代表弱协调的对抗综合体; b和d是表示阳离子络合物和弱配位抗衡阴离子络合物在总体催化剂络合物上平衡电荷的次数的数字。

公开(公告)号：US06232417B1

公开(公告)日：2001-05-15

申请号：US08928573

申请日：1997-09-12

申请人： Larry F Rhodes ,  Andrew Bell ,  Saikumar Jayaraman ,  John-Henry Lipian ,  Brian L. Goodall ,  Robert A. Shick

发明人： Larry F Rhodes ,  Andrew Bell ,  Saikumar Jayaraman ,  John-Henry Lipian ,  Brian L. Goodall ,  Robert A. Shick

IPC分类号： C08F480

CPC分类号： G03F7/0045 ,  C08G61/08 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  Y10S430/109 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/115

摘要： The present invention relates to a radiation sensitive photoresist composition comprising a photoacid initiator and a polycyclic polymer comprising repeating units that contain pendant acid labile groups. Upon exposure to an imaging radiation source the photoacid initiator generates an acid which cleaves the pendant acid labile groups effecting a polarity change in the polymer. The polymer is rendered soluble in an aqueous base in the areas exposed to the imaging source. The polymer repeating units are polymerized from polycyclic monomers in the presence of single or multicomponent catalyst systems containing a Group VIII metal

摘要翻译： 本发明涉及包含光酸引发剂和包含含有酸不稳定基团的重复单元的多环聚合物的辐射敏感性光致抗蚀剂组合物。 在暴露于成像辐射源时，光酸引发剂产生酸，该酸切割引起聚合物极性变化的侧链酸不稳定基团。 聚合物在暴露于成像源的区域中变得可溶于碱性水溶液。 聚合物重复单元在含有VIII族金属的单组分或多组分催化剂体系存在下由多环单体聚合

公开(公告)号：US06455650B1

公开(公告)日：2002-09-24

申请号：US09412935

申请日：1999-10-05

申请人： John-Henry Lipian ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  Andrew Bell ,  Richard A. Mimna ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  April D. Hennis ,  Christine N. Elia ,  Jennifer D. Polley ,  Ayusman Sen

发明人： John-Henry Lipian ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  Andrew Bell ,  Richard A. Mimna ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  April D. Hennis ,  Christine N. Elia ,  Jennifer D. Polley ,  Ayusman Sen

IPC分类号： C08F480

CPC分类号： C08F32/08 ,  C08F32/00 ,  Y02P20/582

摘要： Methods for the addition polymerization of cycloolefins using a cationic Group 10 metal complex and a weakly coordinating anion of the formula: [(R′)zM(L′)x(L″)y]b[WCA]d wherein [(R′)zM(L′)x(L″)y] is a cation complex where M represents a Group 10 transition metal; R′ represents an anionic hydrocarbyl containing ligand; L′ represents a Group 15 neutral electron donor ligand; L″ represents a labile neutral electron donor ligand; x is 1 or 2; and y is 0, 1, 2, or 3; and z is 0 or 1, wherein the sum of x, y, and z is 4; and [WCA] represents a weakly coordinating counteranion complex; and b and d are numbers representing the number of times the cation complex and weakly coordinating counteranion complex are taken to balance the electronic charge on the overall catalyst complex.

摘要翻译： 使用阳离子10族金属络合物和下式的弱配位阴离子进行环烯加成聚合的方法：其中[（R'）z M（L'）x（L“）y]是阳离子络合物，其中M表示 第10组过渡金属; R'表示含阴离子烃基的配体; L'表示15族中性电子给体配体; L“表示不稳定的中性电子给体配体; x为1或2; y为0,1,2或3; 且z为0或1，其中x，y和z之和为4; 和[WCA]代表弱协调的对抗综合体; b和d是表示阳离子络合物和弱配位抗衡阴离子络合物在总体催化剂络合物上平衡电荷的次数的数字。

公开(公告)号：US07910674B2

公开(公告)日：2011-03-22

申请号：US10464978

申请日：2003-06-18

申请人： Larry Funderburk Rhodes ,  Andrew Bell ,  Ramakrishna Ravikiran ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  Brian Leslie Goodall ,  Richard A. Mimna ,  John-Henry Lipian

发明人： Larry Funderburk Rhodes ,  Andrew Bell ,  Ramakrishna Ravikiran ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  Brian Leslie Goodall ,  Richard A. Mimna ,  John-Henry Lipian

IPC分类号： C08F32/00 ,  G01R31/26 ,  H01L21/00 ,  H01L21/82 ,  H01L23/58 ,  H01L23/02 ,  H01L23/14 ,  H01L23/29

CPC分类号： C08G61/06 ,  C08F32/00 ,  C08F32/08 ,  G02B1/04 ,  C08L65/00

摘要： Methods for the addition polymerization of cycloolefins using a cationic Group 10 metal complex and a weakly coordinating anion of the formula: [(R′)zM(L′)x(L″)y]b[WCA]d wherein [(R′)zM(L′)x(L″)y] is a cation complex where M represents a Group 10 transition metal; R′ represents an anionic hydrocarbyl containing ligand; L′ represents a Group 15 neutral electron donor ligand; L″ represents a labile neutral electron donor ligand; x is 1 or 2; and y is 0, 1, 2, or 3; and z is 0 or 1, wherein the sum of x, y, and z is 4; and [WCA] represents a weakly coordinating counteranion complex; and b and d are numbers representing the number of times the cation complex and weakly coordinating counteranion complex are taken to balance the electronic charge on the overall catalyst complex.

摘要翻译： 使用阳离子第10族金属络合物和式（[（R'）z M（L'）x（L“）y] b [WCA] d的弱配位阴离子进行环烯加成聚合的方法，其中[（R' ）zM（L'）x（L“）y]是阳离子络合物，其中M表示第10族过渡金属; R'表示含阴离子烃基的配体; L'表示15族中性电子给体配体; L“表示不稳定的中性电子给体配体; x为1或2; y为0,1,2或3; 且z为0或1，其中x，y和z之和为4; 和[WCA]代表弱协调的对抗综合体; b和d是表示阳离子络合物和弱配位抗衡阴离子络合物在总体催化剂络合物上平衡电荷的次数的数字。

公开(公告)号：US07858721B2

公开(公告)日：2010-12-28

申请号：US12387025

申请日：2009-04-27

申请人： Dino Amoroso ,  Brian Bedwell ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Robert Shick ,  Xiaoming Wu ,  Hiroaki Makabe ,  Yasunori Takahashi ,  Etsu Takeuchi ,  Daoji Gan ,  Seok Ho Kang

发明人： Dino Amoroso ,  Brian Bedwell ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Robert Shick ,  Xiaoming Wu ,  Hiroaki Makabe ,  Yasunori Takahashi ,  Etsu Takeuchi ,  Daoji Gan ,  Seok Ho Kang

IPC分类号： C08F232/02 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0395 ,  C08F232/08 ,  C08G61/02 ,  C08G61/06 ,  C08G61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/038 ,  Y10S430/106

摘要： Some embodiments in accordance with the present invention relate to norbornene-type polymers and to photosensitive dielectric resin compositions formed therefrom. Other embodiments relate to films formed from such compositions and to devices, such as electrical, electronic and optoelectronic devices, that encompass such films.

摘要翻译： 根据本发明的一些实施方案涉及降冰片烯型聚合物和由其形成的光敏介电树脂组合物。 其它实施方案涉及由这种组合物形成的膜以及包含这种膜的诸如电子，电子和光电子器件的器件。