公开(公告)号：US07944166B2

公开(公告)日：2011-05-17

申请号：US12219847

申请日：2008-07-29

申请人： Takuya Hosobata ,  Kazuya Hioki

发明人： Takuya Hosobata ,  Kazuya Hioki

IPC分类号： G05B11/32

CPC分类号： H01L21/682 ,  G03F7/70766 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/709

摘要： Stabilization of a stage in a movable stage apparatus is enhanced, and increasing in size of the movable stage apparatus is suppressed. A reaction force cancel system is provided in the movable stage apparatus where a stage moves on a surface plate installed on a floor via a vibration-isolating spring, and cancels a reaction force generated on the surface plate upon movement of the stage. The reaction force cancel system includes a reaction force canceling actuator for applying a counter-thrust that is a force for reducing the reaction force to the surface plate. The reaction force canceling actuator is arranged at a lower position than a top surface of the surface plate so that the surface plate hangs over the reaction force canceling actuator.

摘要翻译： 增加了可移动平台装置中的平台的稳定性，并且抑制了可移动平台装置的尺寸的增加。 在可移动平台装置中设置有反作用力取消系统，其中台架通过隔振弹簧在安装在地板上的平板上移动，并且在台架移动时抵消在表面板上产生的反作用力。 反作用力取消系统包括反作用力消除致动器，用于施加作为将反作用力减小到表面板的力的反作用力。 反作用力消除致动器布置在比表面板的顶表面更低的位置处，使得表面板悬挂在反作用力取消致动器上。

公开(公告)号：US20090284207A1

公开(公告)日：2009-11-19

申请号：US12219847

申请日：2008-07-29

申请人： Takuya Hosobata ,  Kazuya Hioki

发明人： Takuya Hosobata ,  Kazuya Hioki

IPC分类号： G05B5/01

CPC分类号： H01L21/682 ,  G03F7/70766 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/709

摘要： Stabilization of a stage in a movable stage apparatus is enhanced, and increasing in size of the movable stage apparatus is suppressed. A reaction force cancel system is provided in the movable stage apparatus where a stage moves on a surface plate installed on a floor via a vibration-isolating spring, and cancels a reaction force generated on the surface plate upon movement of the stage. The reaction force cancel system includes a reaction force canceling actuator for applying a counter-thrust that is a force for reducing the reaction force to the surface plate. The reaction force canceling actuator is arranged at a lower position than a top surface of the surface plate so that the surface plate hangs over the reaction force canceling actuator.

摘要翻译： 增加了可移动平台装置中的平台的稳定性，并且抑制了可移动平台装置的尺寸的增加。 在可移动平台装置中设置有反作用力取消系统，其中台架通过隔振弹簧在安装在地板上的平板上移动，并且在台架移动时抵消在表面板上产生的反作用力。 反作用力取消系统包括反作用力消除致动器，用于施加作为将反作用力减小到表面板的力的反作用力。 反作用力消除致动器布置在比表面板的顶表面更低的位置处，使得表面板悬挂在反作用力取消致动器上。