公开(公告)号：US5271431A

公开(公告)日：1993-12-21

申请号：US917011

申请日：1992-08-07

申请人： Michael Mettner ,  Thomas Grauer

发明人： Michael Mettner ,  Thomas Grauer

IPC分类号： F15C3/00 ,  F15C5/00 ,  F16K31/02 ,  F16K99/00 ,  F15C1/04

CPC分类号： F16K99/0001 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0007 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0048 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0096 ,  Y10T137/2147 ,  Y10T137/2213 ,  Y10T137/2224

摘要： A microvalve in multi-layer structure is proposed, where an inlet connector, a return connector and an outlet connector are produced by planar structuring of material layers. The microvalve has a first and a second stage, which is disposed behind the first stage in respect to the flow direction of the fluid. In the first stage the flow direction of the fluid is directed into a cavity formed by two chambers by means of a flexible tongue, which in the position of rest is oriented parallel to the flow direction of the fluid. At least one outlet connector is disposed in the second stage.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE91 / 00023 Sec。 371日期1992年8月7日 102（e）日期1992年8月7日PCT 1991年1月16日PCT PCT。 出版物WO91 / 12434 日期为1991年8月22日。提出了一种多层结构的微型阀门，其中通过材料层的平面结构产生入口连接器，返回连接器和出口连接器。 微型阀具有第一级和第二级，其相对于流体的流动方向布置在第一级后面。 在第一阶段中，流体的流动方向通过柔性舌片引导到由两个腔室形成的空腔中，该柔性舌片在静止位置平行于流体的流动方向定向。 至少一个出口连接器设置在第二阶段。

公开(公告)号：US5142781A

公开(公告)日：1992-09-01

申请号：US566997

申请日：1990-08-13

申请人： Michael Mettner ,  Martin A. Schmidt ,  Theresa Lober ,  Michael A. Huff

发明人： Michael Mettner ,  Martin A. Schmidt ,  Theresa Lober ,  Michael A. Huff

IPC分类号： F16K7/12 ,  F15C5/00 ,  F16K7/17 ,  F16K31/02 ,  F16K99/00 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

CPC分类号： F16K99/0001 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0005 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0048 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/009 ,  F16K2099/0096 ,  F16K99/0034 ,  Y10T29/49412 ,  Y10T29/49419

摘要： A microvalve composed of multiple layers bonded together is distinguished by the fact that all layers are structured only from one side. Prior to bonding of a new layer to the preceding layer, the new layer is homogeneous or unstructured. Only after bonding of the new layer to the preceding layers or wafers is the newly-applied layer provided with a structure, by etching or other profiling method. This simplifies construction, and reduces manufacturing cost, of the microvalve. The valve can be used for either liquid or gaseous media. It is adapted for use, inter alia, as a fuel injection valve or as a pilot control stage of servo-valves used in anti-lock braking systems (ABS). A method of producing a sealed cavity with a residual gas pressure therein, which may have applications other than valve manufacture, is also disclosed.

摘要翻译： 由多层结合在一起的微型阀的特征在于所有层仅由一侧构成。 在将新层与前一层结合之前，新层是均匀的或非结构化的。 只有在新层与前述层或晶片结合之后，才能通过蚀刻或其它成像方法提供具有结构的新应用层。 这简化了微型阀的结构，降低了制造成本。 阀门可用于液体或气体介质。 它适用于特别是作为燃料喷射阀或用作防抱死制动系统（ABS）中使用的伺服阀的先导控制级。 还公开了一种制造其中具有残留气体压力的密封腔的方法，其可以具有除阀制造之外的应用。