公开(公告)号：US20110040596A1

公开(公告)日：2011-02-17

申请号：US12724553

申请日：2010-03-16

申请人： Ying-Liang Chen ,  Haw-Ching Yang ,  Fan-Tien Cheng

发明人： Ying-Liang Chen ,  Haw-Ching Yang ,  Fan-Tien Cheng

IPC分类号： G06Q10/00 ,  G06N3/02 ,  G06N3/12

CPC分类号： G06Q10/087 ,  G06Q10/04 ,  G06Q50/04 ,  Y02P90/30

摘要： A virtual production control system (VPCS), and a virtual production control method and a computer program product thereof are provided. At first, the VPCS processes historical work-in-process (WIP) information and a current shipping plan sent from a supplier side, thereby obtaining a plurality of sets of WIP input/output historical data and a goods output schedule. Then, the VPCS performs an integer programming (IP) method to find the latest output schedule in accordance to the current shipping plan; uses a genetic algorithm (GA) to fit the historical distributed-parameters; adopts a neural network (NN) method to predict the future distributed-parameters of production; and finally utilizes a Petri Nets to simulate and obtain a latest feasible input schedule and a latest feasible output schedule.

摘要翻译： 提供虚拟生产控制系统（VPCS）以及虚拟生产控制方法及其计算机程序产品。 首先，VPCS处理从供应商侧发送的历史工作在线（WIP）信息和当前运送计划，从而获得多组WIP输入/输出历史数据和货物输出计划。 然后，VPCS执行整数规划（IP）方法，以根据当前运输计划查找最新的输出计划; 使用遗传算法（GA）来适应历史分布参数; 采用神经网络（NN）方法预测未来生产分布参数; 最后利用Petri网来模拟并获得最新的可行输入计划和最新可行的输出计划。

公开(公告)号：US07603328B2

公开(公告)日：2009-10-13

申请号：US11879562

申请日：2007-07-18

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Chi-An Kao

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Chi-An Kao

IPC分类号： G06E1/00 ,  G06E3/00 ,  G06F15/18 ,  G06G7/00 ,  G06N3/02

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32195 ,  G05B2219/32206 ,  G05B2219/37224 ,  Y02P90/22

摘要： A dual-phase virtual metrology method is disclosed for considering both promptness and accuracy by generating dual-phase virtual metrology (VM) values, wherein a Phase-I conjecture step emphasizes promptness by immediately calculating the Phase-I virtual metrology value (VMI) of a workpiece once the entire process data of the workpiece are completely collected; and a Phase-II conjecture step intensifies accuracy, which does not re-calculate the Phase-II virtual metrology values (VMII) of all the workpieces in the cassette until an actual metrology value (required for tuning or re-training purposes) of a selected workpiece in the same cassette is collected. Besides, the accompanying reliance index (RI) and global similarity index (GSI) of each VMI and VMII are also generated.

摘要翻译： 公开了一种双相虚拟测量方法，用于通过产生双相虚拟测量（VM）值来及时和准确地考虑其中，其中，阶段I推测步骤通过立即计算第I阶虚拟测量值（VMI） 一旦工件的整个工艺数据被完全收集， 并且阶段II推测步骤增强精度，其不会重新计算盒中所有工件的阶段II虚拟测量值（VMII），直到实际测量值（调谐或重新训练目的所需）为止 在同一盒中选择的工件被收集。 此外，还产生了每个VMI和VMII的伴随依赖指数（RI）和全局相似性指数（GSI）。

公开(公告)号：US07359759B2

公开(公告)日：2008-04-15

申请号：US11378833

申请日：2006-03-17

申请人： Chang Yung Cheng ,  Hsueh-Shih Fu ,  Ying-Lang Wang ,  Fan-Tien Cheng

发明人： Chang Yung Cheng ,  Hsueh-Shih Fu ,  Ying-Lang Wang ,  Fan-Tien Cheng

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32193 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： Provided are a method and a system for virtual metrology in semiconductor manufacturing. Process data and metrology data are received. Prediction data is generated based on the process data and metrology data using a learning control model. The system for virtual metrology in a fabrication facility comprises a fault detection and classification system operable to receive process data, a statistical process control system operable to perform statistical process control on a history of physical metrology data to form metrology data, and a virtual metrology application operable to generate prediction data based on the process data and the metrology data using a learning control model.

摘要翻译： 提供半导体制造中虚拟计量的方法和系统。 接收过程数据和度量数据。 使用学习控制模型，基于过程数据和度量数据生成预测数据。 制造设施中的虚拟计量系统包括可操作以接收过程数据的故障检测和分类系统，可操作以对物理计量数据的历史执行统计过程控制以形成度量数据的统计过程控制系统，以及虚拟计量应用 可操作以使用学习控制模型基于过程数据和度量数据生成预测数据。

公开(公告)号：US20070100487A1

公开(公告)日：2007-05-03

申请号：US11378833

申请日：2006-03-17

申请人： Chang Cheng ,  Hsueh-Shih Fu ,  Ying-Lang Wang ,  Fan-Tien Cheng

发明人： Chang Cheng ,  Hsueh-Shih Fu ,  Ying-Lang Wang ,  Fan-Tien Cheng

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32193 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： Provided are a method and a system for virtual metrology in semiconductor manufacturing. Process data and metrology data are received. Prediction data is generated based on the process data and metrology data using a learning control model. The system for virtual metrology in a fabrication facility comprises a fault detection and classification system operable to receive process data, a statistical process control system operable to perform statistical process control on a history of physical metrology data to form metrology data, and a virtual metrology application operable to generate prediction data based on the process data and the metrology data using a learning control model.

摘要翻译： 提供半导体制造中虚拟计量的方法和系统。 接收过程数据和度量数据。 使用学习控制模型，基于过程数据和度量数据生成预测数据。 制造设施中的虚拟计量系统包括可操作以接收过程数据的故障检测和分类系统，可操作以对物理计量数据的历史执行统计过程控制以形成度量数据的统计过程控制系统，以及虚拟计量应用 可操作以使用学习控制模型基于过程数据和度量数据生成预测数据。

公开(公告)号：US07162394B2

公开(公告)日：2007-01-09

申请号：US10846768

申请日：2004-05-13

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Guo-Wei Huang ,  Chun-Hung Chen ,  Min-Hsiung Hung

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Guo-Wei Huang ,  Chun-Hung Chen ,  Min-Hsiung Hung

IPC分类号： G06F13/12

CPC分类号： G05B23/0205

摘要： A generic embedded device (GED) and a mechanism for retrieving and transmitting information of various intelligent-maintenance (IM) applications are disclosed. The GED is an object-oriented and cross-platform device built in an embedded real-time operating system, and can be installed in various kinds of information equipment, and has a generic application interface for the future development of application modules. The present invention enables all kinds of information equipment to retrieve, collect, manage, and analyze equipment data for IM applications; and further to receive/transmit the IM-related equipment information wired or wireless from/to remote clients via communication agents through Internet/Intranet.

摘要翻译： 公开了通用嵌入式设备（GED）和用于检索和发送各种智能维护（IM）应用的信息的机制。 GED是嵌入式实时操作系统中面向对象和跨平台的设备，可以安装在各种信息设备中，并具有将来开发应用模块的通用应用接口。 本发明使得各种信息设备能够检索，收集，管理和分析IM应用的设备数据; 并进一步通过互联网/内联网经由通信代理从/向远程客户端接收/发送有线或无线的IM相关设备信息。

公开(公告)号：US08688256B2

公开(公告)日：2014-04-01

申请号：US13193607

申请日：2011-07-29

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Chi-An Kao ,  Wei-Ming Wu

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Chi-An Kao ,  Wei-Ming Wu

IPC分类号： G05B13/02 ,  G06F19/00

CPC分类号： G05B13/042 ,  G05B19/41835 ,  G05B2219/32135 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/22

摘要： An advanced process control (APC) system, an APC method, and a computer program product, which, when executed, performs an APC method are provided for incorporating virtual metrology (VM) into APC. The present inventions uses a reliance index (RI) and a global similarity index (GSI) to adjust at least one controller gain of a run-to-run (R2R) controller when the VM value of a workpiece is adopted to replace the actual measurement value of the workpiece. The RI is used for gauging the reliability of the VM value, and the GSI is used for assessing the degree of similarity between the set of process data for generating the VM value and all the sets of historical process data used for building the conjecturing model.

摘要翻译： 提供了一种先进的过程控制（APC）系统，APC方法和计算机程序产品，其在执行时执行APC方法，用于将虚拟测量（VM）并入APC中。 当采用工件的VM值代替实际测量值时，本发明使用依赖指数（RI）和全局相似度指数（GSI）来调整运行中（R2R）控制器的至少一个控制器增益 工件的值。 RI用于测量VM值的可靠性，GSI用于评估用于生成VM值的一组过程数据与用于构建推测模型的所有历史过程数据集之间的相似度。

公开(公告)号：US08095484B2

公开(公告)日：2012-01-10

申请号：US12207706

申请日：2008-09-10

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yi-Ting Huang ,  Jia-Mau Jian

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yi-Ting Huang ,  Jia-Mau Jian

IPC分类号： G06F15/18

CPC分类号： G05B19/41875 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/22

摘要： A server, a system and a method for automatic virtual metrology (AVM) are disclosed. The AVM system comprises a model-creation server and a plurality of AVM servers. The model-creation server is used to construct the first set of virtual metrology (VM) models (of a certain equipment type) including a VM conjecture model, a RI (Reliance Index) model, a GSI (Global Similarity Index) model, a DQIx (Process Data Quality Index) model, and a DQIy (Metrology Data Quality Index) model. In the AVM method, the model-creation server also can fan out or port the first set of VM models generated to other AVM servers of the same process apparatus (equipment) type, and each individual fan-out-acceptor's AVM server can perform automatic model refreshing processes so as to gain and maintain its VM models' accuracy.

摘要翻译： 公开了一种用于自动虚拟计量（AVM）的服务器，系统和方法。 AVM系统包括模型创建服务器和多个AVM服务器。 模型创建服务器用于构建第一组虚拟计量（VM）模型（某种设备类型），包括VM推测模型，RI（Reliance Index）模型，GSI（全球相似度指数）模型， DQIx（过程数据质量指数）模型和DQIy（计量数据质量指数）模型。 在AVM方法中，模型创建服务器还可以扇出或移植生成给相同处理设备（设备）类型的其他AVM服务器的第一组VM模型，并且每个独立的扇出接收器的AVM服务器可以执行自动 模型刷新过程，以获得和维护其VM模型的准确性。

公开(公告)号：US20090292386A1

公开(公告)日：2009-11-26

申请号：US12207706

申请日：2008-09-10

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yi-Ting Huang ,  Jia-Mau Jian

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yi-Ting Huang ,  Jia-Mau Jian

IPC分类号： G06F19/00 ,  G06F17/50

CPC分类号： G05B19/41875 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/22

摘要： A server, a system and a method for automatic virtual metrology (AVM) are disclosed. The AVM system comprises a model-creation server and a plurality of AVM servers. The model-creation server is used to construct the first set of virtual metrology (VM) models (of a certain equipment type) including a VM conjecture model, a RI (Reliance Index) model, a GSI (Global Similarity Index) model, a DQIx (Process Data Quality Index) model, and a DQIy (Metrology Data Quality Index) model. In the AVM method, the model-creation server also can fan out or port the first set of VM models generated to other AVM servers of the same process apparatus (equipment) type, and each individual fan-out-acceptor's AVM server can perform automatic model refreshing processes so as to gain and maintain its VM models' accuracy.

摘要翻译： 公开了一种用于自动虚拟计量（AVM）的服务器，系统和方法。 AVM系统包括模型创建服务器和多个AVM服务器。 模型创建服务器用于构建第一组虚拟计量（VM）模型（某种设备类型），包括VM推测模型，RI（Reliance Index）模型，GSI（全球相似度指数）模型， DQIx（过程数据质量指数）模型和DQIy（计量数据质量指数）模型。 在AVM方法中，模型创建服务器还可以扇出或移植生成给相同处理设备（设备）类型的其他AVM服务器的第一组VM模型，并且每个独立的扇出接收器的AVM服务器可以执行自动 模型刷新过程，以获得和维护其VM模型的准确性。

公开(公告)号：US20080306625A1

公开(公告)日：2008-12-11

申请号：US11879562

申请日：2007-07-18

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Chi-An Kao

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Hsien-Cheng Huang ,  Chi-An Kao

IPC分类号： G06F17/10 ,  G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32195 ,  G05B2219/32206 ,  G05B2219/37224 ,  Y02P90/22

摘要： A dual-phase virtual metrology method is disclosed for considering both promptness and accuracy by generating dual-phase virtual metrology (VM) values, wherein a Phase-I conjecture step emphasizes promptness by immediately calculating the Phase-I virtual metrology value (VMI) of a workpiece once the entire process data of the workpiece are completely collected; and a Phase-II conjecture step intensifies accuracy, which does not re-calculate the Phase-II virtual metrology values (VMII) of all the workpieces in the cassette until an actual metrology value (required for tuning or re-training purposes) of a selected workpiece in the same cassette is collected. Besides, the accompanying reliance index (RI) and global similarity index (GSI) of each VMI and VMII are also generated.

摘要翻译： 公开了一种双相虚拟测量方法，用于通过产生双相虚拟测量（VM）值来及时和准确地考虑其中，其中，阶段I推测步骤通过立即计算第I阶虚拟测量值（VMI） 一旦工件的整个工艺数据被完全收集， 并且阶段II推测步骤增强精度，其不会重新计算盒中所有工件的阶段II虚拟测量值（VMII），直到实际测量值（调谐或重新训练目的所需）为止 在同一盒中选择的工件被收集。 此外，还产生了每个VMI和VMII的伴随依赖指数（RI）和全局相似性指数（GSI）。

公开(公告)号：US20050021277A1

公开(公告)日：2005-01-27

申请号：US10846768

申请日：2004-05-13

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Guo-Wei Huang ,  Chun-Hung Chen ,  Min-Hsiung Hung

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Guo-Wei Huang ,  Chun-Hung Chen ,  Min-Hsiung Hung

IPC分类号： G06F13/00 ,  G05B23/02 ,  G01M19/00

CPC分类号： G05B23/0205

摘要： A generic embedded device (GED) and a mechanism for retrieving and transmitting information of various intelligent-maintenance (IM) applications are disclosed. The GED is an object-oriented and cross-platform device built in an embedded real-time operating system, and can be installed in various kinds of information equipment, and has a generic application interface for the future development of application modules. The present invention enables all kinds of information equipment to retrieve, collect, manage, and analyze equipment data for IM applications; and further to receive/transmit the IM-related equipment information wired or wireless from/to remote clients via communication agents through Internet/Intranet.

摘要翻译： 公开了通用嵌入式设备（GED）和用于检索和发送各种智能维护（IM）应用的信息的机制。 GED是嵌入式实时操作系统中面向对象和跨平台的设备，可以安装在各种信息设备中，并具有将来开发应用模块的通用应用接口。 本发明使得各种信息设备能够检索，收集，管理和分析IM应用的设备数据; 并进一步通过互联网/内联网经由通信代理从/向远程客户端接收/发送有线或无线的IM相关设备信息。