公开(公告)号：US20120043855A1

公开(公告)日：2012-02-23

申请号：US13284752

申请日：2011-10-28

申请人： Yun Sung Kang ,  Jung Won Lee ,  Jong Woon Kim ,  Seung Hun Han ,  Min Kyu Choi

发明人： Yun Sung Kang ,  Jung Won Lee ,  Jong Woon Kim ,  Seung Hun Han ,  Min Kyu Choi

IPC分类号： G01P15/09

CPC分类号： G01P15/09 ,  G01C19/56 ,  G01P15/097

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor of the present invention. An inertial sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a plate-shaped membrane 110, a mass body 120 disposed under a central portion 113 of the membrane 110, a post 130 disposed under an edge 115 of the membrane 110 and surrounding the mass body 120, a piezoelectric material 140 formed above the membrane 110 and provided with a cavity 141 in a thickness direction, a sensing electrode 150 disposed in the cavity 141 and a driving electrode 160 disposed outside the cavity 141, whereby the thickness of the piezoelectric material 140 of the portion on which the sensing electrode 150 is disposed is formed to be thin, such that the sensitivity of the inertial sensor 100 can be improved.

摘要翻译： 本文公开了本发明的惯性传感器。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100包括板状膜110，设置在膜110的中心部分113下方的质量体120，设置在膜110的边缘115下方的周边 质量体120，形成在膜110上方并且在厚度方向上设置有空腔141的压电材料140，设置在空腔141中的感测电极150和设置在空腔141外部的驱动电极160，由此， 将设置有感测电极150的部分的压电材料140形成为较薄，使得可以提高惯性传感器100的灵敏度。

公开(公告)号：US20130167640A1

公开(公告)日：2013-07-04

申请号：US13402373

申请日：2012-02-22

申请人： Seung Mo Lim ,  Sung Jun Lee ,  Sang Jin Kim ,  Yun Sung Kang ,  Kyo Yeol Lee

发明人： Seung Mo Lim ,  Sung Jun Lee ,  Sang Jin Kim ,  Yun Sung Kang ,  Kyo Yeol Lee

IPC分类号： G01P15/00 ,  B32B38/10 ,  B32B37/12

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01C19/5783 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/09 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871

摘要： Disclosed is an inertial sensor, including a membrane, a mass body provided underneath a central portion of the membrane, a post provided underneath a peripheral portion of the membrane, and a cap having a peripheral portion bonded to a lower surface of the post using low-temperature silicon direct bonding. A method of manufacturing the inertial sensor is also provided.

摘要翻译： 公开了一种惯性传感器，包括膜，设置在膜的中心部分下方的质量体，设置在膜的周边部分下方的柱，以及具有使用低的粘合到柱的下表面的周边部分的盖 高温硅直接接合。 还提供了制造惯性传感器的方法。

公开(公告)号：US20130167634A1

公开(公告)日：2013-07-04

申请号：US13409039

申请日：2012-02-29

申请人： Seung Mo Lim ,  Sung Wook Kim ,  Sung Jun Lee ,  Kyo Yeol Lee ,  Yun Sung Kang

发明人： Seung Mo Lim ,  Sung Wook Kim ,  Sung Jun Lee ,  Kyo Yeol Lee ,  Yun Sung Kang

IPC分类号： G01C19/56

CPC分类号： G01C19/56 ,  G01P15/09 ,  G01P15/14 ,  G01P2015/084

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor. The inertial sensor 100 according to preferred embodiments of the present invention includes: a membrane 110; a mass body 120 disposed under the membrane 110; a piezoelectric body 130 formed on the membrane 110 to drive the mass body 120; and trenches 140 formed by being collapsed in a thickness direction of the piezoelectric body 130 so as to vertically meet a direction in which the mass body 120 is driven. By this configuration, the trenches are formed by being collapsed in a thickness direction of the piezoelectric body 130 to provide directivity while retaining the rigidity of the piezoelectric body 130 to prevent a wave from being propagated in an unnecessary direction, thereby driving the inertial sensor 100 in a desired specific direction.

摘要翻译： 这里公开了惯性传感器。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100包括：膜110; 设置在膜110下方的质量体120; 形成在膜110上以驱动质量体120的压电体130; 以及通过在压电体130的厚度方向上折叠而形成的沟槽140，以便垂直地与质量体120的驱动方向相遇。 通过这种构造，通过在压电体130的厚度方向上收缩形成沟槽，以提供方向性，同时保持压电体130的刚性，以防止波在不必要的方向上传播，从而驱动惯性传感器100 在所需的特定方向。

公开(公告)号：US20080286141A1

公开(公告)日：2008-11-20

申请号：US11658283

申请日：2005-07-22

申请人： Jai Sung Lee ,  Yun Sung Kang ,  Bum Ha Cha

发明人： Jai Sung Lee ,  Yun Sung Kang ,  Bum Ha Cha

IPC分类号： B22F3/10 ,  B22F9/02 ,  C22C1/04

CPC分类号： B22F1/0096 ,  B22F1/0018 ,  B22F2998/10 ,  B22F2999/00 ,  B82Y30/00 ,  B22F9/04

摘要： A method for preparing a nano-sized metal powder feedstock comprises the steps of preparing a nano-sized metal powder, mixing the metal powder with a solution of an organic binder in a solvent, and wet-milling the mixture so that aggregates of the metal powder are uniformly formed. Further disclosed is a method for producing a sintered body using the feedstock.

摘要翻译： 制备纳米尺寸金属粉末原料的方法包括以下步骤：制备纳米尺寸的金属粉末，将金属粉末与有机粘合剂在溶剂中的溶液混合，并湿润研磨混合物，使得金属的聚集体 粉末均匀形成。 另外公开了使用原料制造烧结体的方法。

公开(公告)号：US08701489B2

公开(公告)日：2014-04-22

申请号：US13213948

申请日：2011-08-19

申请人： Jong Woon Kim ,  Jung Won Lee ,  Seung Hun Han ,  Won Kyu Jeung ,  Yun Sung Kang ,  Heung Woo Park

发明人： Jong Woon Kim ,  Jung Won Lee ,  Seung Hun Han ,  Won Kyu Jeung ,  Yun Sung Kang ,  Heung Woo Park

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P1/02

CPC分类号： G01C19/56

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor. An inertial sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a plate-shaped membrane 110, a mass body 130 that is provided under a central portion 111 of the membrane 110 and includes an integrated circuit, and a post 140 that are provided under an edge 112 of the membrane 110 to surround the mass body 130, whereby the overall thickness and area of the inertial sensor can be reduced by including the integrated circuit in the mass body 130 to implement a thin and small inertial sensor 100.

摘要翻译： 这里公开了惯性传感器。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100包括板状膜110，设置在膜110的中心部分111下方并包括集成电路的质量体130，以及设置有柱140 在膜110的边缘112下方围绕质量体130，从而可以通过将集成电路包括在质量体130中来实现惯性传感器的整体厚度和面积，以实现薄而小的惯性传感器100。

公开(公告)号：US08508105B2

公开(公告)日：2013-08-13

申请号：US13284752

申请日：2011-10-28

申请人： Yun Sung Kang ,  Jung Won Lee ,  Jong Woon Kim ,  Seung Hun Han ,  Min Kyu Choi

发明人： Yun Sung Kang ,  Jung Won Lee ,  Jong Woon Kim ,  Seung Hun Han ,  Min Kyu Choi

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： G01P15/09 ,  G01C19/56 ,  G01P15/097

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor of the present invention. An inertial sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a plate-shaped membrane 110, a mass body 120 disposed under a central portion 113 of the membrane 110, a post 130 disposed under an edge 115 of the membrane 110 and surrounding the mass body 120, a piezoelectric material 140 formed above the membrane 110 and provided with a cavity 141 in a thickness direction, a sensing electrode 150 disposed in the cavity 141 and a driving electrode 160 disposed outside the cavity 141, whereby the thickness of the piezoelectric material 140 of the portion on which the sensing electrode 150 is disposed is formed to be thin, such that the sensitivity of the inertial sensor 100 can be improved.

摘要翻译： 本文公开了本发明的惯性传感器。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100包括板状膜110，设置在膜110的中心部分113下方的质量体120，设置在膜110的边缘115下方的周边 质量体120，形成在膜110上方并且在厚度方向上设置有空腔141的压电材料140，设置在空腔141中的感测电极150和设置在空腔141外部的驱动电极160，由此， 将设置有感测电极150的部分的压电材料140形成为较薄，使得可以提高惯性传感器100的灵敏度。

公开(公告)号：US20130152687A1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：US13440809

申请日：2012-04-05

申请人： Seung Heon Han ,  Jung Eun Noh ,  Jong Woon Kim ,  Sang Jin Kim ,  Yun Sung Kang ,  Won Kyu Jeung

发明人： Seung Heon Han ,  Jung Eun Noh ,  Jong Woon Kim ,  Sang Jin Kim ,  Yun Sung Kang ,  Won Kyu Jeung

IPC分类号： G01P15/09

CPC分类号： G01P15/0922 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor, including: a membrane; a mass body disposed under the membrane; a sensing unit formed on the membrane and including a piezoelectric body; and a spring constant control unit formed to be spaced apart from the sensing unit and including a piezoelectric body. According to the preferred embodiment of the present invention, the DC acceleration (in particular, gravity acceleration) can be measured by using the change in the spring constant without changing the structure of the inertial sensor including the piezoelectric material of the prior art.

摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器，包括：膜; 设置在膜下方的质量体; 感测单元，形成在膜上并包括压电体; 以及弹簧恒定控制单元，其形成为与感测单元间隔开并且包括压电体。 根据本发明的优选实施例，可以通过使用弹簧常数的变化来测量直流加速度（特别是重力加速度），而不改变包括现有技术的压电材料的惯性传感器的结构。