公开(公告)号：US08628055B2

公开(公告)日：2014-01-14

申请号：US11797197

申请日：2007-05-01

申请人： Mark A. Shannon ,  Byunghoon Bae ,  Richard I. Masel

发明人： Mark A. Shannon ,  Byunghoon Bae ,  Richard I. Masel

IPC分类号： F16K31/02

CPC分类号： F16K99/0001 ,  B33Y80/00 ,  F16K31/02 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0051

摘要： A bi-directional electrostatic microvalve includes a membrane electrode that is controlled by application of voltage to fixed electrodes disposed on either side of the membrane electrode. Dielectric insulating layers separate the electrodes. One of the fixed electrodes defines a microcavity. Microfluidic channels formed into the electrodes provide fluid to the microcavity. A central pad defined in the microcavity places a portion of the second electrode close to the membrane electrode to provide a quick actuation while the microcavity reduces film squeezing pressure of the membrane electrode. In preferred embodiment microvalves, low surface energy and low surface charge trapping coatings, such as fluorocarbon films made from cross-linked carbon di-fluoride monomers or surface monolayers made from fluorocarbon terminated silanol compounds coatings coat the electrode low bulk charge trapping dielectric layers limit charge trapping and other problems and increase device lifetime operation.

摘要翻译： 双向静电微型阀包括通过向设置在膜电极的两侧的固定电极施加电压来控制的膜电极。 绝缘层将电极分开。 固定电极之一限定微腔。 形成在电极中的微流体通道为微腔提供流体。 限定在微腔中的中心衬垫使第二电极的一部分靠近膜电极，以提供快速致动，同时微腔降低膜电极的膜挤压压力。 在优选的实施方案中，微型阀，低表面能和低表面电荷捕获涂层，例如由交联的碳二氟化物单体制成的碳氟化合物膜或由氟碳封端的硅烷醇化合物涂层制成的表面单层涂覆电极，低体积电荷捕获电介质层限制电荷 捕捉等问题，增加设备的使用寿命。

公开(公告)号：US07445027B2

公开(公告)日：2008-11-04

申请号：US11375525

申请日：2006-03-14

申请人： Bruce R. Flachsbart ,  Mark A. Shannon ,  Paul W. Bohn ,  Jonathan V Sweedler

发明人： Bruce R. Flachsbart ,  Mark A. Shannon ,  Paul W. Bohn ,  Jonathan V Sweedler

IPC分类号： F15C1/00 ,  F15C1/04

CPC分类号： B01L3/502707 ,  B01L2200/0689 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0421 ,  Y10T137/206 ,  Y10T137/2196 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T156/10

摘要： A method of bonding layers to form a structure, comprises curing a first adhesive while squeezing a first layer and a multilayer structure together between a first backing and a second backing. The multilayer structure comprises a substrate and a second layer, and the first adhesive is between and in contact with the first layer and the second layer. Furthermore, the first layer and the second layer each have a thickness of at most 100 μm, and at least one of the first backing and the second backing comprises a first elastic polymer.

摘要翻译： 粘合层以形成结构的方法包括固化第一粘合剂，同时在第一背衬和第二背衬之间挤压第一层和多层结构。 多层结构包括基底和第二层，第一粘合剂在第一层和第二层之间并与之接触。 此外，第一层和第二层各自具有至多100μm的厚度，并且第一背衬和第二背衬中的至少一个包括第一弹性聚合物。

公开(公告)号：US06193501B1

公开(公告)日：2001-02-27

申请号：US09348619

申请日：1999-07-06

申请人： Richard I. Masel ,  Mark A. Shannon

发明人： Richard I. Masel ,  Mark A. Shannon

IPC分类号： F23D2100

CPC分类号： F23C13/00 ,  F23C2900/03001 ,  F23D14/66 ,  F23D2212/00 ,  Y02E20/348

摘要： A microcombustor which is submillimetric in critical dimensions. The invention relies upon solving quenching at submillimetric dimensions. Chemical and thermal quenching are inhibited by selection of materials having a low well depth below approximately 40 kCal/mole. This allows formation of a microcombustor having submillimetric combustion chamber. A preferred microcombustor is formed in a substrate structure. The preferred microcombustor includes a wafer stack of at least three wafers, a central wafer housing a combustion chamber. At least one inlet and outlet are included for the insertion of reactants and exhaust of a flame.

摘要翻译： 一种在关键尺寸下亚微米的微型燃烧器。 本发明依赖于在亚毫米尺寸下求解淬火。 通过选择具有低于40kCal / mol的低井深的材料来抑制化学和热淬火。 这允许形成具有亚毫米级燃烧室的微型燃烧器。 优选的微型燃烧器形成在衬底结构中。 优选的微型燃烧器包括至少三个晶片的晶片堆叠，容纳燃烧室的中心晶片。 包括至少一个入口和出口用于插入反应物和排出火焰。