公开(公告)号：US20070064996A1

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：US11360813

申请日：2006-02-24

申请人： Junji Oaki ,  Shinji Sugihara ,  Yuichi Nakatani

发明人： Junji Oaki ,  Shinji Sugihara ,  Yuichi Nakatani

IPC分类号： G06K9/00

CPC分类号： G03F7/7065 ,  G03F1/84 ,  G03F7/705 ,  G06T7/0004

摘要： An image correction device for use in pattern inspection apparatus is disclosed. This device includes a pattern extraction unit for extracting a pattern, as a cut-and-paste pattern, from a pattern existence region of an inspection reference pattern image and a pattern image of a workpiece being tested. The device also includes a pattern pasting unit for pasting the cut-and-paste pattern in blank regions of the reference and under-test pattern images to thereby create a pasted reference pattern image and a pasted test pattern image. The device further includes an equation generator for generating by linear predictive modeling a set of simultaneous equations relative to the pasted reference and test pattern images, a parameter generator for solving these equations to obtain a model parameter(s), and a unit for creating a corrected pattern image by the linear predictive modeling using the model parameter(s).

摘要翻译： 公开了一种用于图案检查装置的图像校正装置。 该装置包括：图案提取单元，用于从检查参考图案图像的图案存在区域和被测工件的图案图像中提取图案作为切割和粘贴图案。 该装置还包括一个图案粘贴单元，用于将剪切和粘贴图案粘贴在参考和未测试图案图像的空白区域中，从而产生粘贴的参考图案图像和粘贴的测试图案图像。 该装置还包括一个等式发生器，用于通过线性预测建模生成相对于粘贴的参考和测试图案图像的一组联立方程，用于求解这些方程以获得模型参数的参数发生器，以及用于创建 通过使用模型参数的线性预测建模来校正图案图像。

公开(公告)号：US20070064995A1

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：US11360679

申请日：2006-02-24

申请人： Junji Oaki ,  Shinji Sugihara

发明人： Junji Oaki ,  Shinji Sugihara

IPC分类号： G06K9/00

CPC分类号： G03F1/84 ,  G03F7/70625 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/30148

摘要： An image correction device for use in a pattern inspection apparatus is disclosed, which has automatic adaptability to variations in density of a pattern image of a workpiece being tested. The device is operable to identify a two-dimensional (2D) linear predictive model parameters from the pattern image of interest and determine the value of a total sum of these identified parameters. This value is then used to switch between a corrected pattern image due to the 2D linear prediction modeling and a corrected image that is interpolated by bicubic interpolation techniques. A pattern inspection method using the image correction technique is also disclosed.

摘要翻译： 公开了一种用于图案检查装置的图像校正装置，其具有对被测工件的图案图像的密度变化的自动适应性。 该装置可操作以从感兴趣的图案图像中识别二维（2D）线性预测模型参数，并确定这些识别的参数的总和的值。 然后，该值用于在2D线性预测建模的校正图案图像与通过双三次插值技术内插的校正图像之间切换。 还公开了使用图像校正技术的图案检查方法。

公开(公告)号：US20060222233A1

公开(公告)日：2006-10-05

申请号：US11386744

申请日：2006-03-23

申请人： Shinji Sugihara ,  Junji Oaki

发明人： Shinji Sugihara ,  Junji Oaki

IPC分类号： G06K9/00

CPC分类号： G03F1/84 ,  G06T7/001 ,  G06T7/70 ,  G06T2207/30148

摘要： An image correction method employable in a pattern inspection method for emitting light falling onto a workpiece with a pattern formed thereon and for inspecting a pattern image resulting from the pickup of an optical image of the workpiece by comparing it to a corresponding fiducial pattern image is disclosed. The method includes the step of generating a system of equations describing therein an input/output relation using a 2D linear prediction model(s) with respect to the pattern image being tested and the fiducial pattern image. Then, estimate the equation system by least-squares methods to thereby obtain a parameter of the equation system. Next obtain a centroid of the parameter. Then perform interpolation using the value of the centroid, thereby to generate a corrected image. A pattern defect inspection method using the image correction method is also disclosed.

摘要翻译： 公开了一种图像校正方法，该图案校正方法可用于发射落在工件上的光，图案形成在其上，并且用于通过将其与对应的基准图案图像进行比较来检测由工件的光学图像拾取产生的图案图像 。 该方法包括以下步骤：使用关于被测试的图案图像和基准图案图像的2D线性预测模型来生成其中描述的输入/输出关系的方程式。 然后，通过最小二乘法估计方程组，从而获得方程式的参数。 接下来获得参数的质心。 然后使用质心的值进行插值，从而生成校正图像。 还公开了使用图像校正方法的图案缺陷检查方法。

公开(公告)号：US07627165B2

公开(公告)日：2009-12-01

申请号：US11360813

申请日：2006-02-24

申请人： Junji Oaki ,  Shinji Sugihara ,  Yuichi Nakatani

发明人： Junji Oaki ,  Shinji Sugihara ,  Yuichi Nakatani

IPC分类号： G06K9/00

CPC分类号： G03F7/7065 ,  G03F1/84 ,  G03F7/705 ,  G06T7/0004

摘要： An image correction device for use in pattern inspection apparatus is disclosed. This device includes a pattern extraction unit for extracting a pattern, as a cut-and-paste pattern, from a pattern existence region of an inspection reference pattern image and a pattern image of a workpiece being tested. The device also includes a pattern pasting unit for pasting the cut-and-paste pattern in blank regions of the reference and under-test pattern images to thereby create a pasted reference pattern image and a pasted test pattern image. The device further includes an equation generator for generating by linear predictive modeling a set of simultaneous equations relative to the pasted reference and test pattern images, a parameter generator for solving these equations to obtain a model parameter(s), and a unit for creating a corrected pattern image by the linear predictive modeling using the model parameter(s).

摘要翻译： 公开了一种用于图案检查装置的图像校正装置。 该装置包括：图案提取单元，用于从检查参考图案图像的图案存在区域和被测工件的图案图像中提取图案作为切割和粘贴图案。 该装置还包括一个图案粘贴单元，用于将剪切和粘贴图案粘贴在参考和未测试图案图像的空白区域中，从而产生粘贴的参考图案图像和粘贴的测试图案图像。 该装置还包括一个等式发生器，用于通过线性预测建模生成相对于粘贴的参考和测试图案图像的一组联立方程，用于求解这些方程以获得模型参数的参数发生器，以及用于创建 通过使用模型参数的线性预测建模来校正图案图像。

公开(公告)号：US07487491B2

公开(公告)日：2009-02-03

申请号：US11360580

申请日：2006-02-24

申请人： Junji Oaki ,  Shinji Sugihara

发明人： Junji Oaki ,  Shinji Sugihara

IPC分类号： G06F17/50 ,  G06K9/00

CPC分类号： G06T7/001 ,  G06T2207/30164

摘要： An image correction device for use in a pattern inspection apparatus is disclosed, which has automatic adaptability to variations in density of a pattern image of a workpiece being tested. The device is operable to identify a two-dimensional (2D) linear predictive model from the pattern image of interest and determine the amount of eccentricity of a centroid position of this model. This amount is then used to switch between a corrected pattern image due to the 2D linear prediction modeling and a corrected image that is interpolated by bicubic interpolation techniques. A pattern inspection method using the image correction technique is also disclosed.

摘要翻译： 公开了一种用于图案检查装置的图像校正装置，其具有对被测工件的图案图像的密度变化的自动适应性。 该装置可操作以从感兴趣的图案图像中识别二维（2D）线性预测模型，并确定该模型的质心位置的偏心量。 然后，该量用于在2D线性预测建模的校正图案图像与通过双三次插值技术进行内插的校正图像之间切换。 还公开了使用图像校正技术的图案检查方法。

公开(公告)号：US20120150347A1

公开(公告)日：2012-06-14

申请号：US13397741

申请日：2012-02-16

申请人： Junichiro Ohga ,  Junji Oaki ,  Hideki Ogawa

发明人： Junichiro Ohga ,  Junji Oaki ,  Hideki Ogawa

IPC分类号： B25J13/08

CPC分类号： B25J9/1633 ,  G05B2219/39325

摘要： A robot controlling device includes: a position error calculator calculating a position error between an endpoint position of a robot and a position commanded value for the endpoint position; an external force calculator calculating an external force applied to the endpoint position; a force commanded value generator generating a force commanded value for the endpoint position; a force error calculator calculating a force error between the external force and the force commanded value; a storage storing the compliance model for the endpoint position; a first correction amount calculator calculating a first correction amount for the position commanded value, according to the force error, using the compliance model; and a second correction amount calculator calculating a second correction amount for the position commanded value, on the basis of the first order lag compensation for the first correction amount. The position error calculator calculates the position error, using the second correction amount.

摘要翻译： 机器人控制装置包括：位置误差计算器，计算机器人的端点位置与端点位置的位置指令值之间的位置误差; 计算施加到端点位置的外力的外力计算器; 力指令值发生器产生用于所述端点位置的力命令值; 计算外力与力指令值之间的力误差的力误差计算器; 存储用于端点位置的合规性模型的存储器; 第一校正量计算器，使用所述合规模型，根据所述力误差计算所述位置指令值的第一校正量; 以及第二校正量计算器，基于第一校正量的一阶滞后补偿来计算位置指令值的第二校正量。 位置误差计算器使用第二校正量来计算位置误差。

公开(公告)号：US20110218673A1

公开(公告)日：2011-09-08

申请号：US12597954

申请日：2009-09-28

申请人： Junichiro Oga ,  Junji Oaki ,  Hideki Ogawa

发明人： Junichiro Oga ,  Junji Oaki ,  Hideki Ogawa

IPC分类号： B25J9/16

CPC分类号： G05B19/416 ,  B25J9/1651 ,  G05B2219/39257 ,  G05B2219/43203

摘要： A robot control apparatus includes: a joint angular velocity estimation unit (115) calculating a plurality of first joint angular accelerations in already executed control cycles by calculating a joint angular acceleration from a joint angle for each control cycle, and estimating a joint angular velocity in a still unexecuted control cycle from the first joint angular accelerations; a velocity determination unit (113) determining whether the estimated joint angular velocity exceeds a maximum velocity; and a suppression velocity calculation unit (114) calculating a suppression joint angular velocity in the still unexecuted control cycle from the estimated joint angular velocity.

摘要翻译： 一种机器人控制装置，包括：关节角速度估计单元，通过从每个控制周期的关节角度计算关节角加速度，并且估计接合角速度，从而计算已经执行的控制循环中的多个第一关节角加速度 来自第一关节角加速度的仍然未执行的控制周期; 速度确定单元，确定估计的关节角速度是否超过最大速度; 以及抑制速度计算部（114），根据所估计的关节角速度计算所述静止未执行控制周期中的抑制关节角速度。

公开(公告)号：US07765023B2

公开(公告)日：2010-07-27

申请号：US11065272

申请日：2005-02-25

申请人： Junji Oaki ,  Hideaki Hashimoto ,  Fumio Ozaki ,  Hirokazu Sato

发明人： Junji Oaki ,  Hideaki Hashimoto ,  Fumio Ozaki ,  Hirokazu Sato

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： B25J9/1692

摘要： A robot controller according to an embodiment of the present invention comprises a base; a first link; a first actuator which drives to rotate the first link relative to the base; a first torque transmission mechanism which transmits the torque of the first actuator to the first link at a speed reducing ratio of N1; a first angular sensor which detects a rotating angle θM1 of the first actuator; a first angular velocity sensor which detects an angular velocity ωA1 of the first link rotating relatively to the base; and a processor which calculates an angle of the first link relatively to the base by using a high frequency content of an integrated value of ωA1 and a low frequency content of θM1*N1, the high frequency content being equal to a first frequency or higher and the low frequency content being equal to a first frequency or lower.

摘要翻译： 根据本发明的实施例的机器人控制器包括基座; 第一个链接 第一致动器，其驱动以使所述第一连杆相对于所述基座旋转; 第一扭矩传递机构，以N1的减速比将第一致动器的扭矩传递给第一连杆; 检测第一致动器的旋转角度＆amp; M1的第一角度传感器; 第一角速度传感器，其检测相对于所述基座旋转的所述第一连杆的角速度ωA1; 以及处理器，其通过使用ωA1的积分值和低频内容的高频内容（M1 * N1）来计算第一链路相对于基站的角度，高频内容等于第一频率或 较低的低频内容等于第一频率或更低频率。

公开(公告)号：US20080050008A1

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：US11567550

申请日：2006-12-06

申请人： Junji Oaki

发明人： Junji Oaki

IPC分类号： G06K9/00 ,  G06K9/62

CPC分类号： G06T5/50 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/20021 ,  G06T2207/30148

摘要： A technique for correcting an image by using frequency division images and decomposition images corresponding in number to reference points is disclosed. An image correction apparatus includes an image divider which divides an inspection reference image into frequency regions to form frequency division images, a decomposition image generator for defining reference points at several locations within at least one frequency division image and for applying weighting with each reference point as a reference to thereby generate decomposition images corresponding in number to the reference points, a model parameter identifier for identifying a model parameter by using 2D linear prediction models of an image being tested, the decomposition images and a frequency division image which is out of the generation of decomposition images, and a model image generator for using the model parameter to generate a model image. An image inspection apparatus using the correction apparatus and an image correction method are also disclosed.

摘要翻译： 公开了一种通过使用频率分割图像和对应于参考点的分解图像来校正图像的技术。 图像校正装置包括图像分割器，其将检查参考图像分割成频率区域以形成分频图像;分解图像生成器，用于在至少一个分频图像内的若干位置处定义参考点，并且用每个参考点应用加权作为 从而生成与参考点相对应的分解图像的参考，用于通过使用被测图像的2D线性预测模型来识别模型参数的模型参数标识符，分解图像和不在生成中的分频图像 的分解图像，以及用于使用模型参数来生成模型图像的模型图像生成器。 还公开了一种使用该校正装置的图像检查装置和图像校正方法。

公开(公告)号：US08543239B2

公开(公告)日：2013-09-24

申请号：US12597954

申请日：2009-09-28

申请人： Junichiro Oga ,  Junji Oaki ,  Hideki Ogawa

发明人： Junichiro Oga ,  Junji Oaki ,  Hideki Ogawa

IPC分类号： G06F7/00 ,  G05B19/04

CPC分类号： G05B19/416 ,  B25J9/1651 ,  G05B2219/39257 ,  G05B2219/43203

摘要： A robot control apparatus includes: a joint angular velocity estimation unit (115) calculating a plurality of first joint angular accelerations in already executed control cycles by calculating a joint angular acceleration from a joint angle for each control cycle, and estimating a joint angular velocity in a still unexecuted control cycle from the first joint angular accelerations; a velocity determination unit (113) determining whether the estimated joint angular velocity exceeds a maximum velocity; and a suppression velocity calculation unit (114) calculating a suppression joint angular velocity in the still unexecuted control cycle from the estimated joint angular velocity.

摘要翻译： 一种机器人控制装置，包括：关节角速度估计单元，通过从每个控制周期的关节角度计算关节角加速度，并且估计接合角速度，从而计算已经执行的控制循环中的多个第一关节角加速度 来自第一关节角加速度的仍然未执行的控制周期; 速度确定单元，确定估计的关节角速度是否超过最大速度; 以及抑制速度计算部（114），根据所估计的关节角速度计算所述静止未执行控制周期中的抑制关节角速度。