公开(公告)号：US07295326B2

公开(公告)日：2007-11-13

申请号：US11095890

申请日：2005-03-31

申请人： Masanobu Hasegawa

发明人： Masanobu Hasegawa

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G03F7/70483 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/706

摘要： A measuring apparatus includes a first measuring system for measuring optical performance of a target optical system using a light splitting optical element, and a second measuring system for measuring optical performance of the optical element.

摘要翻译： 测量装置包括用于测量使用光分离光学元件的目标光学系统的光学性能的第一测量系统和用于测量光学元件的光学性能的第二测量系统。

公开(公告)号：US06266130B1

公开(公告)日：2001-07-24

申请号：US09231795

申请日：1999-01-15

申请人： Masanobu Hasegawa ,  Hideki Ina

发明人： Masanobu Hasegawa ,  Hideki Ina

IPC分类号： G03B2742

CPC分类号： G03F9/7069 ,  G03F9/7084 ,  G03F9/7088

摘要： A position detecting system and method, wherein a wavefront that provides an optical path length distribution opposite to an optical pat length distribution to be defined in accordance with a shape of a light transmissive film on a mark provided on an object to be inspected, is produced, wherein the mark is illuminated with the produced wavefront, and an image of the illuminated mark is taken, such that positional information related to the mark is produced in response to the image taking.

摘要翻译： 一种位置检测系统和方法，其中产生提供与根据设在待检查对象上的标记上的透光膜的形状来定义的光学照度长度分布相反的光程长度分布的波前， 其中标记被产生的波前照射，并且拍摄照明标记的图像，使得响应于图像拍摄产生与标记相关的位置信息。