公开(公告)号：US5534066A

公开(公告)日：1996-07-09

申请号：US143228

申请日：1993-10-29

申请人： James A. O'Neill ,  Michael L. Passow ,  Tina J. Cotler ,  Jonathan D. Chapple-Sokol ,  Richard A. Conti ,  Jyothi Singh

发明人： James A. O'Neill ,  Michael L. Passow ,  Tina J. Cotler ,  Jonathan D. Chapple-Sokol ,  Richard A. Conti ,  Jyothi Singh

IPC分类号： G01N21/33 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23F4/00 ,  G01N21/35 ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 ,  H01L21/31 ,  H01L31/00 ,  B05C5/00

CPC分类号： G01N21/3504 ,  C23C16/52

摘要： An apparatus for processing a layer on a workpiece includes a source of reactant fluid, a reaction chamber having a support for the workpiece and a fluid delivery apparatus for feeding an input fluid into the reaction chamber with the input fluid being utilized to process the material. An infrared sensor is adapted to cooperate with the fluid delivery apparatus for sensing the concentration of a component of the input fluid. The infrared sensor includes an infrared light source positioned to direct a beam of infrared light at an infrared light detector through the input fluid. The infrared light detector produces an electrical output signal indicative of the amount of light received by the detector and therefore not absorbed by the input fluid.

摘要翻译： 用于处理工件上的层的设备包括反应物流体源，具有用于工件的支撑的反应室和用于将输入流体输送到反应室中的流体输送装置，其中输入流体用于处理材料。 红外传感器适于与流体输送装置配合，用于感测输入流体的组分的浓度。 红外传感器包括红外光源，其被定位成通过输入流体引导红外光检测器处的​​红外光束。 红外光检测器产生指示由检测器接收的光量的电输出信号，因此不被输入流体吸收。

公开(公告)号：US5383088A

公开(公告)日：1995-01-17

申请号：US103620

申请日：1993-08-09

申请人： Jonathan D. Chapple-Sokol ,  Richard A. Conti ,  Jeffrey P. Gambino

发明人： Jonathan D. Chapple-Sokol ,  Richard A. Conti ,  Jeffrey P. Gambino

IPC分类号： H01L27/04 ,  H01L21/02 ,  H01L21/822 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/10 ,  H01L27/108 ,  H01G1/01

CPC分类号： H01L27/10852 ,  H01L28/40

摘要： A capacitor having a high dielectric constant and method of making the same is disclosed. The capacitor comprises a bottom electrode comprising a conductive oxide deposited upon a substrate by chemical vapor deposition. A dielectric layer having a high dielectric constant is deposited upon the conductive oxide. Lastly, a counter electrode is formed upon the dielectric layer.

摘要翻译： 公开了具有高介电常数的电容器及其制造方法。 电容器包括底部电极，其包括通过化学气相沉积沉积在衬底上的导电氧化物。 具有高介电常数的介电层沉积在导电氧化物上。 最后，在电介质层上形成对电极。