公开(公告)号：US20080211055A1

公开(公告)日：2008-09-04

申请号：US12120915

申请日：2008-05-15

申请人： Solomon Assefa ,  Michael C. Gaidis ,  Sivananda Kanakasabapathy ,  John P. Hummel ,  David W. Abraham

发明人： Solomon Assefa ,  Michael C. Gaidis ,  Sivananda Kanakasabapathy ,  John P. Hummel ,  David W. Abraham

IPC分类号： H01L43/00 ,  H01L43/12

CPC分类号： H01L43/12 ,  H01L27/222

摘要： Novel methods for reliably and reproducibly forming magnetic tunnel junctions in integrated circuits are described. In accordance with aspects of the invention, sidewall spacer features are utilized during the processing of the film stack. Advantageously, these sidewall spacer features create a tapered masking feature which helps to avoid byproduct redeposition during the etching of the MTJ film stack, thereby improving process yield. Moreover, the sidewall spacer features may be used as encapsulating layers during subsequent processing steps and as vertical contacts to higher levels of metallization.

摘要翻译： 描述了在集成电路中可靠且可重复地形成磁隧道结的新方法。 根据本发明的方面，在膜叠层的处理期间利用侧壁间隔物特征。 有利地，这些侧壁间隔物特征产生锥形掩蔽特征，其有助于避免在MTJ膜叠层的蚀刻期间的副产物再沉积，从而提高工艺产率。 此外，侧壁间隔物特征可以在随后的处理步骤期间用作包封层，并且可以用作垂直接触以进行更高级别的金属化。

公开(公告)号：US07072547B2

公开(公告)日：2006-07-04

申请号：US10464153

申请日：2003-06-18

申请人： Solomon Assefa ,  Peter Bienstman ,  Gale S. Petrich ,  Alexei A. Erchak ,  Steven G. Johnson ,  Leslie A. Kolodziejski ,  John D. Joannopoulos

发明人： Solomon Assefa ,  Peter Bienstman ,  Gale S. Petrich ,  Alexei A. Erchak ,  Steven G. Johnson ,  Leslie A. Kolodziejski ,  John D. Joannopoulos

IPC分类号： G02B6/26

CPC分类号： B82Y20/00 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/1225 ,  G02B6/1228

摘要： A coupling element includes a first stage having a dielectric waveguide that is transitioned to a waveguide having a sequence of resonators with a fixed period. A second stage transitions the waveguide to a photonic crystal waveguide by gradually bringing closer at an angle the cladding bulk of the photonic crystal to the waveguide.

摘要翻译： 耦合元件包括具有介质波导的第一级，该介质波导转变到具有固定周期的具有一系列谐振器的波导。 第二阶段通过逐渐使光子晶体的包层体向一个角度靠近波导而将波导转移到光子晶体波导。

公开(公告)号：US20050111511A1

公开(公告)日：2005-05-26

申请号：US10721841

申请日：2003-11-25

申请人： Solomon Assefa ,  Leslie Kolodziekski ,  Gale Petrich

发明人： Solomon Assefa ,  Leslie Kolodziekski ,  Gale Petrich

IPC分类号： G02B6/122 ,  H01S5/10 ,  H01S5/34 ,  H01S3/08

CPC分类号： H01S5/10 ,  B82Y20/00 ,  H01S5/1042 ,  H01S5/105 ,  H01S5/3412

摘要： A microcavity structure includes a first waveguide that includes a first photonic crystal microcavity. A second waveguide includes a second photonic crystal microcavity. A microcavity active region is created by overlapping the first and second microcavities.

摘要翻译： 微腔结构包括包括第一光子晶体微腔的第一波导。 第二波导包括第二光子晶体微腔。 通过重叠第一和第二微腔来产生微腔活性区域。