公开(公告)号：US20100214402A1

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：US12712492

申请日：2010-02-25

申请人： Stefan Schute ,  Artur Hogele

发明人： Stefan Schute ,  Artur Hogele

IPC分类号： G03B17/48 ,  G03B41/00

CPC分类号： G02B21/361 ,  A61B90/20 ,  A61B90/361 ,  G02B21/20 ,  G02B21/22 ,  G02B23/18 ,  G03B17/48 ,  G03B41/00

摘要： A camera adaptor (19) is provided for connecting a camera (21) to an interface (13) of a medical-optical observation instrument (1) with a parallel beam path. The interface (13) is situated in the parallel beam path (9a, 9b) of the medical-optical observation instrument (1). The camera adaptor (19) has an instrument connector part (41) for connection to the interface (13) of the medical-optical observation instrument (1) and a camera connector part (43, 143) for connection to a camera (21). The beam path (43) runs through the camera adaptor (19) along a linear optical axis. The camera adaptor (19) has an objective-lenses combination (47) with a total focal length between 40 mm and 120 mm. A lens with a positive partial focal length leading on the instrument side in the objective-lenses combination (47) and is followed, on the side toward the camera, by a lens with a negative partial focal length.

摘要翻译： 提供了一种相机适配器（19），用于将照相机（21）连接到具有平行光束路径的医用光学观察仪器（1）的接口（13）。 界面（13）位于医用光学观察仪器（1）的平行光路（9a，9b）中。 相机适配器（19）具有用于连接到医用光学观察仪器（1）的接口（13）的仪器连接器部分（41）和用于连接到相机（21）的相机连接器部分（43,43） 。 光束路径（43）沿着线性光轴穿过相机适配器（19）。 相机适配器（19）具有总焦距在40mm和120mm之间的物镜组合（47）。 在物镜组合（47）中在仪器侧具有正部分焦距的透镜，并且在朝向照相机的一侧上由具有负部分焦距的透镜。

公开(公告)号：US20080192359A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：US11911904

申请日：2006-04-26

申请人： Alexander Sohmer ,  Aurelian Dodoc ,  Heiko Feldmann ,  Wilhelm Ulrich ,  Gerhard Furter ,  Rafael Egger ,  Artur Hogele ,  Michael Raum

发明人： Alexander Sohmer ,  Aurelian Dodoc ,  Heiko Feldmann ,  Wilhelm Ulrich ,  Gerhard Furter ,  Rafael Egger ,  Artur Hogele ,  Michael Raum

IPC分类号： G02B27/18

CPC分类号： G03F7/70075 ,  G02B17/0892 ,  G02B27/0043

摘要： An illumination system (12) of a microlithographic exposure apparatus (10) comprises a condenser (601; 602; 603; 604; 605; 606) for transforming a pupil plane (54) into a field plane (62). The condenser has a lens group (L14, L15, L16, L17; L24, L25, L26, L27, L28; L34, L35, L36, L37; L44, L45, L46; L53, L54, L55) that contains a plurality of consecutive lenses. These lenses are arranged such that a light bundle (70) focused by the condenser (601; 602; 603; 604; 605) on an on-axis field point (72) converges within each lens of the lens group. At least one lens (L15, L16, L17; L25, L26; L34, L44, L45; L54) of the lens group has a concave surface. The illumination system may further comprise a field stop objective (66; 666, 666′) that at least partly corrects a residual pupil aberration of the condenser (601; 602; 603; 604; 605; 606).

摘要翻译： 微光刻曝光设备（10）的照明系统（12）包括用于将光瞳平面（54）变换成场平面（62）的冷凝器（601; 602; 603; 604; 605; 606）。 冷凝器具有透镜组（L 14，L 15，L 16，L 17; L 24，L 25，L 26，L 27，L 28; L 34，L 35，L 36，L 37; L 44，L 45，L 46; L 53，L 54，L 55）。 这些透镜被布置为使得在轴上场点（72）上由聚光器（601; 602; 603; 604; 605）聚焦的光束（70）会聚在透镜组的每个透镜内。 透镜组的至少一个透镜（L 15，L 16，L 17; L 25，L 26; L 34，L 44，L 45; L 54）具有凹面。 照明系统还可以包括至少部分校正冷凝器（601; 602; 603; 604; 605; 606）的残余光瞳像差的场停止物镜（66; 666,666'）。