公开(公告)号：US20090184028A1

公开(公告)日：2009-07-23

申请号：US12061216

申请日：2008-04-02

申请人： Yang-Kuao KUO ,  Kuo-Hsing Teng ,  Chen-Chun Lee

发明人： Yang-Kuao KUO ,  Kuo-Hsing Teng ,  Chen-Chun Lee

IPC分类号： B65D85/00

CPC分类号： H01L21/67326

摘要： A wafer cassette. At least one support bar includes a composite curved holding portion. Multiple separation plates are connected to the composite curved holding portion and are parallel to and separated from each other.

摘要翻译： 晶圆盒。 至少一个支撑杆包括复合弯曲保持部分。 多个分离板连接到复合弯曲保持部分并且彼此平行并分离。

公开(公告)号：US06703627B2

公开(公告)日：2004-03-09

申请号：US10202215

申请日：2002-07-24

申请人： Chen-Chun Lee ,  Chih-Chieh Wang ,  Hon-Yi Chang ,  Chun-Huei Fan

发明人： Chen-Chun Lee ,  Chih-Chieh Wang ,  Hon-Yi Chang ,  Chun-Huei Fan

IPC分类号： G21K510

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J2237/304

摘要： A method and apparatus for monitoring an extraction electrode utilized in the implantation of charged particles (i.e., ions) on a semiconductor wafer. A signal may be generated from an encoder associated with the extraction electrode, wherein the signal comprises data indicative of charged particles attracted to and accelerated by the extraction electrode. The signal may then be analyzed either manually or automatically to determine if the extraction electrode is located at a position appropriate to attract and accelerate the charged particles to an acceleration tube for proper implantation thereof upon the semiconductor wafer. A main controller may be linked to the extraction electrode, wherein the main controller controls a location of the extraction electrode in proximity to the charged particles.

摘要翻译： 一种用于监测在半导体晶片上注入带电粒子（即离子）中使用的提取电极的方法和装置。 可以从与提取电极相关联的编码器产生信号，其中该信号包括指示被引出并被提取电极加速的带电粒子的数据。 然后可以手动或自动地分析信号以确定提取电极是否位于适于吸引并加速带电粒子到加速管的位置，以在半导体晶片上正确注入。 主控制器可以连接到提取电极，其中主控制器控制提取电极位于带电粒子附近的位置。