公开(公告)号：US20060279721A1

公开(公告)日：2006-12-14

申请号：US11147465

申请日：2005-06-08

申请人： Marcel Baggen ,  Dirk-Jan Bijvoet ,  Sjoerd Donders ,  Jan Hoogkamp ,  Albert Jansen ,  Jan-Jaap Kuit ,  Peter Schaap ,  Joep Janssen ,  Hubrecht Jasperse ,  Arjan Van Der Wel

发明人： Marcel Baggen ,  Dirk-Jan Bijvoet ,  Sjoerd Donders ,  Jan Hoogkamp ,  Albert Jansen ,  Jan-Jaap Kuit ,  Peter Schaap ,  Joep Janssen ,  Hubrecht Jasperse ,  Arjan Van Der Wel

IPC分类号： G03B27/58

CPC分类号： G03F7/707

摘要： A stage apparatus for displacing an object having a substantially flat surface is described. The apparatus includes an object table for supporting the object and a positioning device for displacing the object table in a first direction. The apparatus further includes a clamping device for clamping the object to the object table by a first clamping force, the first clamping force being controlled by an electronic control unit based upon a state of the object.

摘要翻译： 描述了用于移位具有基本平坦表面的物体的平台装置。 该装置包括用于支撑物体的物体台和用于沿着第一方向移动物体台的定位装置。 该装置还包括用于通过第一夹持力将物体夹持到物体台的夹紧装置，第一夹紧力由电子控制单元基于物体的状态控制。