公开(公告)号：US06881270B1

公开(公告)日：2005-04-19

申请号：US09710769

申请日：2000-11-09

申请人： Thomas Gebele ,  Jurgen Henrich ,  Stefan Bangert ,  Jürgen Honekamp ,  Elisabeth Budke ,  Jürgen Ulrich ,  Helmut Grimm

发明人： Thomas Gebele ,  Jurgen Henrich ,  Stefan Bangert ,  Jürgen Honekamp ,  Elisabeth Budke ,  Jürgen Ulrich ,  Helmut Grimm

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/32 ,  H01J37/32 ,  C23C16/00 ,  H05H1/02

CPC分类号： H01J37/32055 ,  C23C14/325 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/32532

摘要： An electrode arrangement for the plasma-aided coating of a substrate (3) with a layer of material comprising at least one first and a second material component and for the production of a plasma discharge, more especially an arc discharge (35), having an anode arrangement (5), which provides the first material component at an anode material surface (13) for evaporation, and a cathode arrangement (7), which provides the second material component at a cathode material surface (25). The electrode arrangement is characterized in that the cathode material surface (25) is constituted by an evaporation-active part (27) supporting the plasma discharge (35) and an evaporation-inactive part (41) not supporting the plasma discharge. Preferably, a motion-producing means (49) is provided for moving the evaporation-inactive part (41) over the cathode material surface (25) in order to reduce deposit of material due to he first material component on the cathode material surface (25).

摘要翻译： 一种用于衬底（3）的等离子体辅助涂层的电极装置，其具有包括至少一种第一和第二材料组分的材料层，并且用于产生等离子体放电，更特别是电弧放电（35），具有 阳极装置（5），其在用于蒸发的阳极材料表面（13）处提供第一材料部件，以及在阴极材料表面（25）处提供第二材料部件的阴极装置（7）。 电极装置的特征在于，阴极材料表面（25）由支撑等离子体放电（35）的蒸发活性部分（27）和不支持等离子体放电的蒸发非活性部分（41）构成。 优选地，提供运动产生装置（49），用于将蒸发非活性部分（41）移动到阴极材料表面（25）上，以便减少由于第一材料成分在阴极材料表面（25）上沉积的材料 ）。