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    PLANT FOR PRODUCING TRISILYLAMINE IN THE GAS PHASE
    5.
    发明申请
    PLANT FOR PRODUCING TRISILYLAMINE IN THE GAS PHASE 审中-公开
    在气相中生产三甲硅烷的工厂

    公开(公告)号：US20150284250A1

    公开(公告)日：2015-10-08

    申请号：US14744208

    申请日：2015-06-19

    申请人： Jens DOERING ,  Hartwig RAULEDER ,  Ingrid LUNT-RIEG ,  Wilfried UHLICH ,  Udo KNIPPENBERG

    发明人： Jens DOERING ,  Hartwig RAULEDER ,  Ingrid LUNT-RIEG ,  Wilfried UHLICH ,  Udo KNIPPENBERG

    IPC分类号： C01B21/087 ,  B01J19/24

    CPC分类号： C01B21/087 ,  B01J19/24 ,  B01J19/245 ,  B01J2219/0004 ,  B01J2219/00051 ,  B01J2219/24 ,  C07F7/10

    摘要： A plant for preparing trisilylamine in the gas phase is provided. The plant includes a reactor (1) suitable for the reaction of at least the starting materials ammonia and monohalosilane in the gas phase; a precipitation vessel (2) downstream of the reactor (1); and a mixer (3) suitable for producing a homogeneous gas mixture containing at least the starting materials ammonia and monohalosilane upstream of the reactor (1). The mixer (3), reactor (1) and precipitation vessel (2) are connected to one another structurally in such a way that a continuous gas flow through the plant is ensured, with the gas flow optionally being able to be interrupted at one or more suitable points within the plant.

    摘要翻译： 提供了一种在气相中制备三甲胺的设备。 该装置包括适于在气相中至少起始原料氨和一卤硅烷反应的反应器（1）; 反应器（1）下游的沉淀容器（2）; 和适于生产均匀气体混合物的混合器（3），其至少包含反应器（1）上游的原料氨和一卤代硅烷。 混合器（3），反应器（1）和沉淀容器（2）在结构上彼此连接，使得能够确保连续的气体流过设备，气流可任选地在一个或 植物内更适合的点。