公开(公告)号：US20100159132A1

公开(公告)日：2010-06-24

申请号：US12628189

申请日：2009-11-30

申请人： Chad Conroy ,  Scott Wayne Priddy ,  Jacob Allan Dahlstrom ,  Richard Charles Bresnahan ,  David William Gotthold ,  John Charles Patrin

发明人： Chad Conroy ,  Scott Wayne Priddy ,  Jacob Allan Dahlstrom ,  Richard Charles Bresnahan ,  David William Gotthold ,  John Charles Patrin

IPC分类号： C23C16/44 ,  C23C16/00

CPC分类号： C23C14/243 ,  C23C14/26 ,  C23C14/562 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： A deposition source includes a plurality of crucibles that each contains a deposition material. A heat shield provides at least partial thermal isolation for at least one of the plurality of crucibles. A body is included with a plurality of conductance channels. An input of each of the plurality of conductance channels is coupled to an output of a respective one of the plurality of crucibles. A heater increases a temperature of the plurality of crucibles so that each crucible evaporates the deposition material into the plurality of conductance channels. An input of each of a plurality of nozzles is coupled to an output of one of the plurality of conductance channels. Evaporated deposition materials are transported from the crucibles through the conductance channels to the nozzles where the evaporated deposition material is ejected from the plurality of nozzles to form a deposition flux.

摘要翻译： 沉积源包括多个坩埚，每个坩埚均包含沉积材料。 热屏蔽为多个坩埚中的至少一个提供至少部分热隔离。 身体包含多个电导通道。 多个电导通道中的每一个的输入耦合到多个坩埚中的相应一个的输出。 加热器增加多个坩埚的温度，使得每个坩埚将沉积材料蒸发成多个电导通道。 多个喷嘴中的每一个的输入耦合到多个电导通道中的一个的输出。 蒸发的沉积材料从坩埚通过导电通道输送到喷嘴，喷嘴从多个喷嘴喷射蒸发的沉积材料以形成沉积焊剂。