公开(公告)号：US5682455A

公开(公告)日：1997-10-28

申请号：US609930

申请日：1996-02-29

申请人： Stephen J. Kovacic ,  Jugnu J. Ojha

发明人： Stephen J. Kovacic ,  Jugnu J. Ojha

IPC分类号： G02B6/10 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/13 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/18 ,  H01S5/00 ,  H01S5/026

CPC分类号： H01L31/0232 ,  G02B6/10 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/122 ,  H01L31/1812 ,  G02B2006/12061 ,  Y02E10/50

摘要： A channel waveguide structure which can be incorporated into VLSI (very large scale integration) integrated circuits uses a SiGe (silicon germanium) alloy core and Si (silicon) top and bottom cladding layers. The core may consist of only a SiGe alloy layer or it may be formed as a superlattice containing Si layers alternating with SiGe alloy layers. LOCOS (locally oxidized silicon) regions are formed on the top cladding layer at spaced locations thereby defining lateral boundaries of channels in the core.

摘要翻译： 可以结合到VLSI（超大规模集成）集成电路中的沟道波导结构使用SiGe（硅锗）合金芯和Si（硅）顶层和底层。 芯可以仅由SiGe合金层组成，或者可以形成为含有与SiGe合金层交替的Si层的超晶格。 LOCOS（局部氧化硅）区域在间隔的位置形成在顶部包层上，从而限定了芯中通道的横向边界。

公开(公告)号：US5841930A

公开(公告)日：1998-11-24

申请号：US899884

申请日：1997-07-24

申请人： Stephen J. Kovacic ,  Jugnu J. Ojha

发明人： Stephen J. Kovacic ,  Jugnu J. Ojha

IPC分类号： G02B6/10 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/13 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/18 ,  H01S5/00 ,  H01S5/026

CPC分类号： H01L31/0232 ,  G02B6/10 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/122 ,  H01L31/1812 ,  G02B2006/12061 ,  Y02E10/50

摘要： A channel waveguide structure which can be incorporated into VLSI (very large scale integration) integrated circuits uses a SiGe (silicon germanium) alloy core and Si (silicon) top and bottom cladding layers. The core may consist of only a SiGe alloy layer or it may be formed as a superlattice containing Si layers alternating with SiGe alloy layers. LOCOS (locally oxidized silicon) regions are formed on the top cladding layer at spaced locations thereby defining lateral boundaries of channels in the core.

公开(公告)号：US5917981A

公开(公告)日：1999-06-29

申请号：US76320

申请日：1998-05-13

申请人： Stephen J. Kovacic ,  Jugnu J. Ojha

发明人： Stephen J. Kovacic ,  Jugnu J. Ojha

IPC分类号： G02B6/10 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/13 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/18 ,  H01S5/00 ,  H01S5/026

CPC分类号： H01L31/0232 ,  G02B6/10 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/122 ,  H01L31/1812 ,  G02B2006/12061 ,  Y02E10/50

摘要： A channel waveguide structure which can be incorporated into VLSI (very large scale integration) integrated circuits uses a SiGe (silicon germanium) alloy core and Si (silicon) top and bottom cladding layers. The core may consist of only a SiGe alloy layer or it may be formed as a superlattice containing Si layers alternating with SiGe alloy layers. LOCOS (locally oxidized silicon) regions are formed on the top cladding layer at spaced locations thereby defining lateral boundaries of channels in the core.

摘要翻译： 可以结合到VLSI（超大规模集成）集成电路中的沟道波导结构使用SiGe（硅锗）合金芯和Si（硅）顶层和底层。 芯可以仅由SiGe合金层组成，或者可以形成为含有与SiGe合金层交替的Si层的超晶格。 LOCOS（局部氧化硅）区域在间隔的位置形成在顶部包层上，从而限定了芯中通道的横向边界。

公开(公告)号：US5703980A

公开(公告)日：1997-12-30

申请号：US710775

申请日：1996-09-20

申请人： Thomas MacElwee ,  Stephen J. Kovacic ,  Jugnu J. Ojha

发明人： Thomas MacElwee ,  Stephen J. Kovacic ,  Jugnu J. Ojha

IPC分类号： G02B6/255 ,  G02B6/30

CPC分类号： G02B6/30 ,  G02B6/2551

摘要： A method and apparatus are provided for coupling light from a fiber to a waveguide on an OEIC (optoelectronic integrated circuit). The region of the fiber to be connected is made into a D-fiber by removing a portion of its cladding. The flat surface is fused to a silicon dioxide coated portion of the waveguide. The light in the fiber is evanescently coupled into the waveguide on the OEIC which is typically a planar or channel waveguide.

摘要翻译： 提供了一种用于将光从光纤耦合到OEIC（光电子集成电路）上的波导的方法和装置。 要连接的光纤的区域通过去除其包层的一部分而被制成D光纤。 平坦表面与波导的二氧化硅涂覆部分熔合。 光纤中的光消失地耦合到通常为平面或通道波导的OEIC上的波导中。